一种上蜡机械手的制作方法

1.本实用新型涉及磷化铟衬底晶片上蜡技术领域，特别是一种上蜡机械手。

背景技术：

2.在100ghz以上的带宽水平，使用磷化铟基射频器件在回程网络和点对点通信网络的无线传输方面具有明显优势，未来在6g通信甚至7g通信无线传输网络中，磷化铟衬底将有望成为射频器件的主流衬底材料。
3.目前磷化铟衬底晶片上蜡工序采用人工滴蜡，工作人员先核对晶片信息开启检查设备，完成准备后将选择程序，检查各步骤时间、转速及压力，将晶片放置在真空吸盘上，工作人员再手动把液体蜡滴落至晶片表面。为了把人工上蜡改成自动上蜡，发明人对晶片上蜡装置进行了改造时，发明人在改造时发现现有的机械手不适用于安装多种尺寸大小的滴蜡设备或晶片吸附设备，适用范围窄，使用不方便。
4.如中国专利[公开号：cn107379011b]公开的一种机械手，包括手臂部及抓取部，该专利通过手臂部移动抓取部，通过抓取部上的第一吸盘抓取载玻片，同时由于抓取部上设置了第二吸盘，还能够利用第二吸盘来抓取标签，虽然该专利的机械手可以灵活抓取和移动载玻片，但是该专利的机械手不适用于安装多种尺寸大小的滴蜡设备或晶片吸附设备。又如中国专利[公开号：cn109605361b]公开的一种机械手，包括基座、与所述基座转动相连的机械臂、与所述机械臂的自由端转动相连的机械腕以及与所述机械腕转动相连的机械爪，虽然该专利的机械手能代替工作人员在高危环境中实现夹取转移物料，但是该专利的机械手不适用于安装多种尺寸大小的滴蜡设备或晶片吸附设备。

技术实现要素：

[0005]
本实用新型的目的是：提供一种上蜡机械手，其能够适用于安装多种尺寸大小的滴蜡设备或晶片吸附设备，适用范围广，使用方便。
[0006]
为了实现上述目的，本实用新型一种上蜡机械手，包括底座、固定于所述底座上的手臂部、与所述手臂部连接的抓手部；所述抓手部包括伸缩器、支撑座和支撑杆；所述伸缩器具有第一端和第二端，所述第一端与所述手臂部连接，所述第二端的端面固定有第一夹持部，所述伸缩器具有伸缩杆，所述伸缩杆的延伸端穿过所述第一夹持部；所述支撑座与所述伸缩杆的延伸端连接；所述支撑杆的一端与所述支撑座连接，且所述支撑杆的另一端由所述支撑座向外侧方向延伸，所述支撑杆设有第二夹持部，所述第二夹持部用于与所述第一夹持部进行对应配合以形成夹爪；通过所述伸缩器驱动所述支撑座远离或靠近所述手臂部，可以对应改变所述第一夹持部与所述第二夹持部的相对距离，从而可以通过所述第一夹持部和所述第二夹持部对多种不同尺寸的滴蜡设备或晶片吸附设备进行夹持固定，适用范围广。
[0007]
优选地，所述伸缩器为气缸、液压缸和电缸中的一种。
[0008]
优选地，与所述支撑座连接的所述支撑杆的数量为两个；通过分别设于两个所述
支撑杆上的所述第二夹持部、及设于所述伸缩器端面上的一个所述第一夹持部，可以在夹持固定滴蜡设备或晶片吸附设备时，对该设备形成三点夹持，夹持效果好。
[0009]
优选地，所述支撑座具有通孔，所述通孔由上至下贯穿所述支撑座；所述通孔用于电线、气管、水管等管路的穿过。
[0010]
优选地，所述支撑座的上表面为平面，把所述支撑座的上表面设计为平面，是为了与滴蜡设备的安装盘或晶片吸附设备的基盘相适应。
[0011]
优选地，所述底座包括驱动电机、及固定于所述驱动电机的上端的安装板；所述手臂部固定于所述安装板的上表面，所述驱动电机能够驱动所述安装板绕所述驱动电机的竖直中心轴进行转动；通过所述驱动电机及所述安装板形成旋转台，为所述手臂部提供一个水平转动的自由度。
[0012]
优选地，所述手臂部包括至少三个活动臂，可以提供至少两个自由度。
[0013]
更优地，所述手臂部包括依次相连的第一活动臂、第二活动臂、第三活动臂、第四活动臂和第五活动臂；所述第一活动臂固定于所述底座的顶部，所述第一活动臂与所述第二活动臂之间设有第一上下活动关节，所述第二活动臂与所述第三活动臂之间设有第二上下活动关节，所述第三活动臂与所述第四活动臂之间设有竖直转动关节，所述第四活动臂和所述第五活动臂之间设有水平转动关节。
[0014]
上下转动关节使得与上下转动关节连接的活动臂形成一个上下转动自由度，水平转动关节使得与水平转动关节连接的活动臂形成一个水平转动自由度，竖直转动关节使得与竖直转动关节连接的活动臂形成一个竖直转动自由度；上下转动关节、水平转动关节和竖直转动关节均为现有技术，在此不进行赘述。
[0015]
更优地，所述伸缩器连接于所述第五活动臂的外侧壁上。
[0016]
更优地，与所述第五活动臂的外侧壁上连接的所述抓手部的数量为三个。
[0017]
更优地，三个所述抓手部绕所述第五活动臂的中心轴呈环形阵列分布。
[0018]
本实用新型提供的与现有技术相比，其有益效果在于：通过所述伸缩器驱动所述支撑座远离或靠近所述手臂部，可以对应改变所述第一夹持部与所述第二夹持部的相对距离，从而可以通过所述第一夹持部和所述第二夹持部对多种不同尺寸的滴蜡设备或晶片吸附设备进行夹持固定，因此，本实用新型能够适用于安装多种尺寸大小的滴蜡设备或晶片吸附设备，适用范围广，使用方便。
附图说明
[0019]
图1是本实用新型实施例提供的一种上蜡机械手的结构图；
[0020]
图2为本实用新型实施例提供的第五活动臂与抓手部的连接示意图；
[0021]
图3为本实用新型实施例提供的抓手部；
[0022]
图4为本实用新型实施例提供的上蜡机械手安装有滴蜡设备时的状态图；
[0023]
图5为本实用新型实施例提供的上蜡机械手安装有晶片吸附设备时的状态图。
[0024]
图中，1、底座；11、驱动电机；12、安装板；
[0025]
2、手臂部；21、第一活动臂；22、第二活动臂；23、第三活动臂；24、第四活动臂；25、第五活动臂；
[0026]
3、抓手部；31、伸缩器；32、支撑座；33、支撑杆；311、第一夹持部；312、伸缩杆；331、
第二夹持部；
[0027]
4、滴蜡设备；41、储蜡液瓶；42、滴蜡管；43、安装盘；
[0028]
5、晶片吸附设备；5、基盘；5、真空吸盘。
具体实施方式
[0029]
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
[0030]
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“竖直”、“水平”、等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
[0031]
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0032]
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0033]
如图1-3所示，本实用新型实施例所提供的是一种上蜡机械手，包括底座1、固定于所述底座1上的手臂部2、与所述手臂部2连接的抓手部3。
[0034]
所述抓手部3包括伸缩器31、支撑座32和支撑杆33；所述伸缩器具有第一端和第二端，所述第一端与所述手臂部2连接，所述第二端的端面固定有第一夹持部311，所述伸缩器31具有伸缩杆312，所述伸缩杆312的延伸端穿过所述第一夹持部311；所述支撑座32与所述伸缩杆312的延伸端连接；所述支撑杆33的一端与所述支撑座32连接，且所述支撑杆的另一端由所述支撑座32向外侧方向延伸，所述支撑杆33设有第二夹持部331，所述第二夹持部331用于与所述第一夹持部311进行对应配合以形成夹爪。
[0035]
基于此技术方案，通过所述伸缩器31驱动所述支撑座32远离或靠近所述手臂部2，可以对应改变所述第一夹持部311与所述第二夹持部331的相对距离，从而可以通过所述第一夹持部311和所述第二夹持部331对多种不同尺寸的滴蜡设备或晶片吸附设备进行夹持固定，适用范围广。
[0036]
优选地，所述伸缩器31为电缸。
[0037]
优选地，与所述支撑座32连接的所述支撑杆33的数量为两个。通过分别设于两个所述支撑杆33上的所述第二夹持部331、及设于所述伸缩器31端面上的一个所述第一夹持部311，可以在夹持固定滴蜡设备或晶片吸附设备时，对该设备形成三点夹持，夹持安装效果好。
[0038]
优选地，所述支撑座32具有通孔321，所述通孔321由上至下贯穿所述支撑座32。设计所述通孔321，可以便于电线、气管、水管等管线的穿过。
[0039]
优选地，所述支撑座32的上表面为平面。把所述支撑座32的上表面设计为平面，是为了与滴蜡设备的安装盘或晶片吸附设备的基盘相适应。
[0040]
参见图1，本实用新型实施例所提供的所述底座1包括驱动电机11、及固定于所述驱动电机11的上端的安装板12；所述手臂部2固定于所述安装板12的上表面，所述驱动电机11能够驱动所述安装板12绕所述驱动电机11的竖直中心轴进行转动。通过所述驱动电机11及所述安装板12形成旋转台，为所述手臂部2提供一个水平转动的自由度。
[0041]
参见图1和图2，本实用新型实施例所提供的所述手臂部2包括依次相连的第一活动臂21、第二活动臂22、第三活动臂23、第四活动臂24和第五活动臂25；所述第一活动臂21固定于所述底座1的顶部，所述第一活动臂21与所述第二活动臂22之间设有第一上下活动关节，所述第二活动臂22与所述第三活动臂23之间设有第二上下活动关节，所述第三活动臂23与所述第四活动臂24之间设有竖直转动关节，所述第四活动臂24和所述第五活动臂25之间设有水平转动关节。
[0042]
优选地，所述伸缩器31连接于所述第五活动臂25的外侧壁上。
[0043]
优选地，与所述第五活动臂25的外侧壁上连接的所述抓手部3的数量为三个。三个所述抓手部3绕所述第五活动臂25的中心轴呈环形阵列分布。可以对应夹持固定三种不同尺寸大小的滴蜡设备或晶片吸附设备。
[0044]
为了便于理解，参见图4，本实用新型实施例所提供的上蜡机械手安装滴蜡设备4时的状态，所述滴蜡设备4安装于所述抓手部3上。所述滴蜡设备4包括由上至下依次连接的储蜡液瓶41、滴蜡管42及安装盘43，所述安装盘43设有与所述滴蜡管42一一对应的滴蜡孔，所述安装盘43固定于所述夹爪上。
[0045]
为了便于理解，参见图5，本实用新型实施例所提供的上蜡机械手安装晶片吸附设备时的状态，所述定晶片吸附设备5安装于所述抓手部3上。所述晶片吸附设备5包括基盘51、及安装于所述基盘51上的多个真空吸盘52，所述基盘51固定于所述夹爪上。
[0046]
综上，本实用新型实施例提供一种上蜡机械手，其具有如下有益效果：
[0047]
(1)采用所述伸缩器31、支撑座32和支撑杆33，并分别在所述伸缩器31的端面及支撑杆33的上表面设置第一夹持部311和第二夹持部331，可以通过对应改变所述第一夹持部311与所述第二夹持部331的相对距离，以适应安装多种不同尺寸的滴蜡设备或晶片吸附设备，适用范围广，使用方便。
[0048]
(2)采用两个所述支撑杆33，可以在夹持固定滴蜡设备或晶片吸附设备时，对该设备形成三点夹持，夹持安装效果好。
[0049]
(3)采用所述通孔321，可以便于电线、气管、水管等管线的穿过。
[0050]
(4)采用上表面为平面的所述支撑座32，可以适应所述滴蜡设备4的安装盘43或所述晶片吸附设备5的基盘51。
[0051]
(5)采用所述驱动电机11及所述安装板12形成旋转台，可以为所述手臂部2提供一个水平转动的自由度。
[0052]
(6)采用依次相连的第一活动臂21、第二活动臂22、第三活动臂23、第四活动臂24和第五活动臂25，可以提供四个自由度。
[0053]
(7)在所述第一活动臂21与所述第二活动臂22之间采用第一上下活动关节，可以提供一个上下转动自由度。
[0054]
(8)在所述第二活动臂22与所述第三活动臂23之间采用第二上下活动关节，可以提供一个上下转动自由度。
[0055]
(9)在所述第三活动臂23与所述第四活动臂24之间采用竖直转动关节，可以提供一个竖直转动自由度。
[0056]
(10)在所述第四活动臂24和所述第五活动臂25之间采用有水平转动关节，可以提供一个水平转动自由度。
[0057]
(11)采用三个所述抓手部3连接于所述第五活动臂25的外侧壁上的方式，使得所述上蜡机械手可以同时安装三种不同尺寸大小的滴蜡设备4或晶片吸附设备5。
[0058]
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本实用新型的保护范围。

技术特征：

1.一种上蜡机械手，其特征在于，包括底座、固定于所述底座上的手臂部、与所述手臂部连接的抓手部；所述抓手部包括：伸缩器，所述伸缩器具有第一端和第二端，所述第一端与所述手臂部连接，所述第二端的端面固定有第一夹持部，所述伸缩器具有伸缩杆，所述伸缩杆的延伸端穿过所述第一夹持部；支撑座，所述支撑座与所述伸缩杆的延伸端连接；支撑杆，所述支撑杆的一端与所述支撑座连接，且所述支撑杆的另一端由所述支撑座向外侧方向延伸，所述支撑杆设有第二夹持部，所述第二夹持部用于与所述第一夹持部进行对应配合以形成夹爪。2.根据权利要求1所述的上蜡机械手，其特征在于，与所述支撑座连接的所述支撑杆的数量为两个。3.根据权利要求1所述的上蜡机械手，其特征在于，所述支撑座具有通孔，所述通孔由上至下贯穿所述支撑座。4.根据权利要求1所述的上蜡机械手，其特征在于，所述支撑座的上表面为平面。5.根据权利要求1所述的上蜡机械手，其特征在于，所述底座包括驱动电机、及固定于所述驱动电机的上端的安装板；所述手臂部固定于所述安装板的上表面，所述驱动电机能够驱动所述安装板绕所述驱动电机的竖直中心轴进行转动。6.根据权利要求1或5所述的上蜡机械手，其特征在于，所述手臂部包括至少三个活动臂。7.根据权利要求6所述的上蜡机械手，其特征在于，所述手臂部包括依次相连的第一活动臂、第二活动臂、第三活动臂、第四活动臂和第五活动臂；所述第一活动臂固定于所述底座的顶部，所述第一活动臂与所述第二活动臂之间设有第一上下活动关节，所述第二活动臂与所述第三活动臂之间设有第二上下活动关节，所述第三活动臂与所述第四活动臂之间设有竖直转动关节，所述第四活动臂和所述第五活动臂之间设有水平转动关节。8.根据权利要求7所述的上蜡机械手，其特征在于，所述伸缩器连接于所述第五活动臂的外侧壁上。9.根据权利要求8所述的上蜡机械手，其特征在于，与所述第五活动臂的外侧壁上连接的所述抓手部的数量为三个。

技术总结

本实用新型涉及磷化铟衬底晶片上蜡技术领域，公开了一种上蜡机械手，包括底座、手臂部和抓手部；所述抓手部包括伸缩器、支撑座和支撑杆；所述伸缩器具有第一端和第二端，所述第一端与所述手臂部连接，所述第二端的端面固定有第一夹持部，所述第一伸缩器具有伸缩杆，所述伸缩杆的延伸端穿过所述第一夹持部；所述支撑座与所述伸缩杆的延伸端连接；所述支撑杆的一端与所述支撑座连接，且所述支撑杆的另一端由所述支撑座向外侧方向延伸，所述支撑杆设有第二夹持部，所述第二夹持部用于与所述第一夹持部进行对应配合以形成夹爪；本实用新型能够适用于安装多种尺寸大小的滴蜡设备或晶片吸附设备，适用范围广，使用方便。使用方便。使用方便。