晶圆运输机械手吊篮支撑杆生产方法及得到的产品与流程

1.本技术属于晶圆清洗设备技术领域，尤其是涉及一种晶圆运输机械手吊篮支撑杆生产方法及得到的产品。

背景技术：

2.晶圆清洗设备传输机构需要用到机械手来对晶圆篮进行抓取，由于晶圆清洗要用到各种腐蚀性液体，比如中国专利申请号为cn202110132615.x的一种晶圆清洗设备传输机构的定位装置及定位方法，其中的机械手的支撑杆就需要在圆杆的基础上加工过为u形。由于在抓取晶圆篮过程中，机械手要被清洗液所浸没，因此在机械手上要喷涂ptfe材料以防腐蚀，但是仅ptfe材料在机械手抓取晶圆盒的过程中必然与晶圆盒发生摩擦，导致ptfe材料被磨损，导致防腐蚀性能下降。

技术实现要素：

3.本发明要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种防腐蚀能力强的晶圆运输机械手吊篮支撑杆生产方法及得到的产品。
4.本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：
5.一种晶圆运输机械手吊篮支撑杆生产方法，包括以下步骤：
6.s1：取一根直不锈钢管按照所需尺寸截断，表面喷涂ptfe材料；
7.s2：将喷涂有ptfe材料的不锈钢钢管外套pfa管形成预制直管；
8.s3：将预制直管进行两次弯折成u形。
9.优选地，本发明的晶圆运输机械手吊篮支撑杆生产方法，在预制直管进行弯折前对预制直管进行加热。
10.优选地，本发明的晶圆运输机械手吊篮支撑杆生产方法，加热通过感应加热实现，通过感应加热不锈钢管，再通过热传递到pfa管，使pfa管温度达到120-150摄氏度。
11.优选地，本发明的晶圆运输机械手吊篮支撑杆生产方法，弯折部分的圆角直径为5-10mm。
12.优选地，本发明的晶圆运输机械手吊篮支撑杆生产方法，弯折时，对预制直管进行包裹固定。
13.优选地，本发明的晶圆运输机械手吊篮支撑杆生产方法，所述折弯过程通过弯管机实现，所述弯管机，包括工作台，所述工作台底部固定连接有支撑脚，所述工作台顶部开设有安装槽和滑槽，所述工作台顶部设置有用于输送钢管的驱动机构和用于配合所述驱动机构对钢管输送的从动调节机构，所述驱动机构上设置有弯管机构，所述工作台顶部后端固定连接有用于支撑钢管的钢管导轨，所述工作台顶部并位于所述从动调节机构和所述钢管导轨之间设置有加热机构；
14.所述驱动机构包括第一电机，所述第一电机固定连接在所述工作台的所述安装槽内，所述第一电机的输出轴顶部固定连接有转轴，所述转轴顶部固定连接有主动导轮。
15.优选地，本发明的晶圆运输机械手吊篮支撑杆生产方法，所述从动调节机构包括滑块，所述滑块滑动连接于所述工作台的所述滑槽内，所述滑块顶部固定连接有支轴，所述支轴顶部通过轴承连接有从动导轮，所述滑块内通过螺纹连接有丝杆，所述丝杆远离所述驱动机构的一端从所述滑槽内伸出并固定连接有把手；所述从动导轮与所述主动导轮左右对称设置，所述丝杆与所述工作台通过轴承连接。
16.优选地，本发明的晶圆运输机械手吊篮支撑杆生产方法，所述折弯块的长度与钢管弯折部分长度接近；
17.所述折弯块为半圆柱面，与钢管的直径相匹配，还设置有与折弯块相同的抵靠块，所述抵靠块通过螺钉与所述折弯块固定在一起，并且所述抵靠块与所述折弯块固定后容纳钢管的圆柱形容纳腔。
18.本发明还提供一种晶圆运输机械手吊篮支撑杆，由上述的晶圆运输机械手吊篮支撑杆生产方法生产得到。
19.本发明的有益效果是：
20.本发明的晶圆运输机械手吊篮支撑杆生产方法生产得到的支撑杆，由不锈钢管、外喷涂的ptfe层和外套的pfa管构成，具有耐腐蚀、耐磨损的优点。
附图说明
21.附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：
22.图1是本发明实施例中所述弯管机的立体图；
23.图2是本发明实施例中所述弯管机的前视图；
24.图3是本发明实施例中所述弯管机的左视图；
25.图4是本发明实施例中所述弯管机的俯视图；
26.图5是本发明实施例中所述弯管机的a处结构放大图；
27.图6是本发明实施例中所述弯管机的套管内部结构左视图；
28.图7是本发明实施例中所述弯管机的加热机构立体图；
29.图8是本发明实施例中所述弯管机的从动调节机构立体图。
30.附图标记说明如下：1、工作台；101、支撑脚；102、安装槽；103、滑槽；2、驱动机构；201、第一电机；202、转轴；203、主动导轮；3、从动调节机构；301、滑块；302、支轴；303、从动导轮； 304、丝杆；305、把手；4、弯管机构；401、转动座；402、折弯臂； 403、折弯块；404、套管；405、蜗轮；406、蜗杆；407、第二电机； 5、加热机构；501、支杆；502、加热板；503、感应加热器；6、钢管导轨。
具体实施方式
31.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
32.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以
特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
33.实施例
34.本实施例提供一种晶圆运输机械手吊篮支撑杆生产方法，包括以下步骤：
35.s1：取一根直不锈钢管按照所需尺寸截断，表面喷涂ptfe材料；
36.s2：将喷涂有ptfe材料的不锈钢钢管外套pfa管形成预制直管；
37.s3：将预制直管进行两次弯折成u形。
38.在s3步骤中在预制直管进行弯折前对预制直管进行加热。
39.加热通过感应加热实现，通过感应加热不锈钢管，再通过热传递到pfa管，使pfa管温度达到120-150摄氏度。感应加热，加热部位集中，速度快，且120-150摄氏度的温度，不会对不锈钢管的组织产生影响，加热时仅加热弯折部分，加热完后再将已加热部分往前传输到弯折机构处进行弯折。弯折部分的圆角直径为5-10mm(弯折部分的内侧的直径)，比如5、6、7、8、9、10mm等等。
40.弯折时，对预制直管进行包裹固定，以保证不锈钢管的笔直。
41.使用的弯管机如图1-图8所示，弯管机，包括工作台1，工作台 1底部的支撑脚101，工作台1上开设有安装槽102和滑槽103，工作台1顶部设置有用于输送钢管的驱动机构2和用于配合驱动机构2 对钢管输送的从动调节机构3，驱动机构2上设置有弯管机构4，工作台1顶部后端固定连接有用于支撑钢管的钢管导轨6，工作台1顶部并位于从动调节机构3和钢管导轨6之间设置有加热机构5，加热机构5用于对钢管外部的pfa管进行加热(加热温度约为120-150摄氏度)，使pfa管变软，便于拉伸，防止pfa管折弯时破损。
42.在本实施例中，驱动机构2包括第一电机201，第一电机201通过螺栓固定连接在工作台1的安装槽102内，第一电机201的输出轴顶部通过联轴器固定连接有转轴202，转轴202顶部固定连接有主动导轮203，通过第一电机201驱动转轴202转动，使主动导轮203输送钢管，进过的主要步骤为：放置-输送-加热-输送-弯折-输送-加热
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弯折。
43.在本实施例中，从动调节机构3包括滑块301，滑块301滑动连接于工作台1的滑槽103内，滑块301顶部固定焊接有支轴302，支轴302顶部通过轴承连接有从动导轮303，滑块301内通过螺纹连接有丝杆304，丝杆304远离驱动机构2的一端从滑槽103内伸出并固定连接有把手305，通过把手305转动丝杆304，丝杆304驱动滑块 301移动，从而调节从动导轮303的位置，以便于适用不同直径的钢管。
44.在本实施例中，从动导轮303与主动导轮203左右对称设置，丝杆304与工作台1通过轴承连接，主动导轮203直径为5-10mm。
45.在本实施例中，弯管机构4包括转动座401，转动座401通过轴承连接于转轴202上，转动座401前侧固定焊接有折弯臂402，折弯臂402顶端固定焊接有折弯块403，转动座401顶部固定焊接有套管 404，套管404顶部固定连接有蜗轮405，工作台1顶部通过螺栓固定连接有第二电机407，第二电机407的输出轴前端通过联轴器固定连接有蜗杆406，蜗杆406与蜗轮405相啮合，通过第二电机407驱动蜗杆406转动，蜗杆406驱动蜗轮405转动，实现减速增加的作用，蜗轮405带动套管404和转动座401转动，从而使折弯臂402和折弯块403转动对钢管进行折弯。
46.在本实施例中，转轴202从套管404和蜗轮405中穿过，避免转轴202驱动套管404和蜗轮405转动，蜗轮405位于主动导轮203下方，折弯块403位于主动导轮203和从动导轮303
前方。
47.在本实施例中，加热机构5包括支杆501，支杆501固定连接于工作台1顶部，支杆501靠近钢管的一侧固定连接有加热板502，加热板502内设置有若干感应加热器503，感应加热器503通电加热，当钢管从加热板502一侧通过时，感应加热器503对钢管加热(钢管热量传导到表面的pfa)，使钢管外部的pfa(少量全氟丙基全氟乙烯基醚与聚四氟乙烯的共聚物)管受热变软。为了提高安全性，可以在加热机构5外设置罩体，罩住加热机构5和加热的钢管部分。此外，加热完后，要将钢管往前送，使加热部分到达从动导轮303与主动导轮203处，感应加热的加热温度快，无需与加热器接触。
48.工作原理：使用时，将预制直钢管放置在钢管导轨6上并送入主动导轮203和从动导轮303之间，通过第一电机201驱动转轴202转动，转轴202驱动主动导轮203转动对钢管进行输送，同时将加热板 502内的感应加热器503通电，感应加热器503对钢管进行加热，使钢管外部的pfa管变软，当钢管输送到合适长度后，启动第二电机 407，第二电机407驱动蜗杆406转动，蜗杆406驱动蜗轮405转动，蜗轮405带动套管404转动，套管404带动转动座401转动，转动座 401带动折弯臂402和折弯块403转动，折弯块403对钢管进行折弯，由于pfa管通过加热后变软，使得在折弯时pfa管具有一定的延伸性，从而避免pfa管破损，对不同直径的钢管进行折弯时，通过把手305 转动丝杆304，丝杆304驱动滑块301移动，从而调节从动导轮303 和主动导轮203之前的距离，方便钢管取下。
49.为了防止弯折后钢管弯曲(钢管的自身形变的特性，中间会略微凸起)，折弯块403的长度与钢管弯折部分长度接近，从而使整个弯管受力均匀，折弯块403为半圆柱面，与钢管的直径相匹配，更进一步地，还设置有与折弯块403相同的抵靠块，所述抵靠块通过螺钉与所述折弯块403固定在一起，并且所述抵靠块与所述折弯块403固定后容纳钢管的圆柱形容纳腔。
50.以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护的范围由所附的权利要求书及其效物界定。

技术特征：

1.一种晶圆运输机械手吊篮支撑杆生产方法，其特征在于，包括以下步骤：s1：取一根直不锈钢管按照所需尺寸截断，表面喷涂ptfe材料；s2：将喷涂有ptfe材料的不锈钢钢管外套pfa管形成预制直管；s3：将预制直管进行两次弯折成u形。2.根据权利要求1所述的晶圆运输机械手吊篮支撑杆生产方法，其特征在于，在预制直管进行弯折前对预制直管进行加热。3.根据权利要求2所述的晶圆运输机械手吊篮支撑杆生产方法，其特征在于，加热通过感应加热实现，通过感应加热不锈钢管，再通过热传递到pfa管，使pfa管温度达到120-150摄氏度。4.根据权利要求1所述的晶圆运输机械手吊篮支撑杆生产方法，其特征在于，弯折部分的圆角直径为5-10mm。5.根据权利要求1所述的晶圆运输机械手吊篮支撑杆生产方法，其特征在于，弯折时，对预制直管进行包裹固定。6.根据权利要求2所述的晶圆运输机械手吊篮支撑杆生产方法，其特征在于，所述折弯过程通过弯管机实现，所述弯管机，包括工作台(1)，所述工作台(1)底部固定连接有支撑脚(101)，所述工作台(1)顶部开设有安装槽(102)和滑槽(103)，所述工作台(1)顶部设置有用于输送钢管的驱动机构(2)和用于配合所述驱动机构(2)对钢管输送的从动调节机构(3)，所述驱动机构(2)上设置有弯管机构(4)，所述工作台(1)顶部后端固定连接有用于支撑钢管的钢管导轨(6)，所述工作台(1)顶部并位于所述从动调节机构(3) 和所述钢管导轨(6)之间设置有加热机构(5)；所述驱动机构(2)包括第一电机(201)，所述第一电机(201)固定连接在所述工作台(1)的所述安装槽(102)内，所述第一电机(201)的输出轴顶部固定连接有转轴(202)，所述转轴(202)顶部固定连接有主动导轮(203)。7.根据权利要求1所述的晶圆运输机械手吊篮支撑杆生产方法，其特征在于，所述从动调节机构(3)包括滑块(301)，所述滑块(301)滑动连接于所述工作台(1)的所述滑槽(103)内，所述滑块(301)顶部固定连接有支轴(302)，所述支轴(302)顶部通过轴承连接有从动导轮(303)，所述滑块(301)内通过螺纹连接有丝杆(304)，所述丝杆(304)远离所述驱动机构(2)的一端从所述滑槽(103)内伸出并固定连接有把手(305)；所述从动导轮(303)与所述主动导轮(203)左右对称设置，所述丝杆(304)与所述工作台(1)通过轴承连接。8.根据权利要求1所述的晶圆运输机械手吊篮支撑杆生产方法，其特征在于，所述折弯块(403)的长度与钢管弯折部分长度接近；所述折弯块(403)为半圆柱面，与钢管的直径相匹配，还设置有与折弯块(403)相同的抵靠块，所述抵靠块通过螺钉与所述折弯块(403)固定在一起，并且所述抵靠块与所述折弯块(403)固定后容纳钢管的圆柱形容纳腔。9.一种晶圆运输机械手吊篮支撑杆，其特征在于，由权利要求1-8任一项所述的晶圆运输机械手吊篮支撑杆生产方法生产得到。

技术总结

本申请涉及一种晶圆运输机械手吊篮支撑杆生产方法及得到的产品，由不锈钢管、外喷涂的ptfe层和外套的PFA管构成，具有耐腐蚀、耐磨损的优点。此外，通过感应加热不锈钢管，再通过热传递到PFA管，使PFA管温度达到120-150摄氏度，使PFA管变软，防止弯折时PFA管发生断裂，提高产品的质量。高产品的质量。高产品的质量。