(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 202011637174.0
(22)申请日 2020.12.31
(71)申请人 广州禾信仪器股份有限公司
地址 510530 广东省广州市黄埔区开源大
道11号A3栋102室,A3栋301室,A3栋
401室
(72)发明人 乔佳 吴曼曼 陈家新 岑延相
王甫华 黎红玉 黄豆
(74)专利代理机构 广州华进联合专利商标代理
有限公司 44224
代理人 周修文
(51)Int.Cl.
B01F 3/02(2006.01)
B01F 13/10(2006.01)
(54)发明名称动静结合稀释仪及其工作方法(57)摘要本发明涉及一种动静结合稀释仪及其工作方法，动静结合稀释仪包括静态稀释组件、动态稀释组件、气源组件与稀释模式切换组件。当工作于静态稀释模式时，稀释模式切换组件动作，实现第一储存罐与第一进气管连通，以及第二储存罐与第二进气管连通。第一气路控制件控制第一进气管与第一出气管相连通，以将稀释气体通入到苏玛罐内。当工作于动态稀释模式时，稀释模式切换组件动作，实现第一储存罐与第一输气管连通，以及第二储存罐与第二输气管连通，第一输气管上的流量计打开到预设开度，第二输气管上的流量计打开到预设开度，能实现定量的稀释气体与定量的高标气均同步通入到第一混合 腔与排气总管内动态混合得到预标气。权利要求书2页 说明书11页 附图2页CN 112705059 A 2021.04.27
C N 112705059
A
1.一种动静结合稀释仪，其特征在于，所述动静结合稀释仪包括：
静态稀释组件，所述静态稀释组件包括第一气路控制件、第一进气管、第二进气管、第一出气管、压力控制器、压力传感器及苏玛罐，所述第一气路控制件用于控制所述第一进气管与所述第二进气管中的其中一个管道与所述第一出气管相连通，以及用于控制所述第一进气管与所述第二进气管中的其余管道与所述第一出气管相断开，所述压力控制器与所述压力传感器沿着气流方向依次设于所述第一出气管上，所述第一出气管与所述苏玛罐相连通；
动态稀释组件，所述动态稀释组件包括第一输气管、第二输气管、第一混合腔及排气总管，所述第一输气管与所述第二输气管上均设有流量计，所述第一输气管与所述第二输气管均和所述第一混合腔的入口相连通，所述第一混合腔的出口与所述排气总管相连；
气源组件与稀释模式切换组件，所述气源组件包括第一储存罐与第二储存罐，所述第一储存罐用于储存稀释气体，所述第二储存罐用于储存高标气，所述稀释模式切换组件包括第一切换件与第二切换件，所述第一切换件用于控制所述第一储存罐与所述第一进气管或所述第一输气管相连通，所述第二切换件用于控制所述第二储存罐与所述第二进气管或所述第二输气管相连通。
2.根据权利要求1所述的动静结合稀释仪，其特征在于，所述静态稀释组件还包括设于所述第一出气管上的第一三通管，所述压力传感器通过所述第一三通管与所述第一出气管相连通；
或者，所述第二进气管为两个以上；所述第二输气管、所述第二切换件与所述第二储存罐均为两个以上；两个以上所述第二进气管、两个以上所述第二输气管、两个以上所述第二切换件均与两个以上所述第二储存罐一一对应设置；
或者，所述静态稀释组件还包括第三进气管；所述第一气路控制件用于控制第一进气管、第二进气管及第三进气管中的其中一个管道与第一出气管相连通，以及用于控制第一进气管、第二进气管及第三进气管中的其余管道与第一出气管相断开；所述动态稀释组件还包括第三输气管，所述第三输气管上设有流量计，所述第三输气管与所述第一混合腔的入口相连通；所述气源组件还包括第三储存罐，所述第三储存罐用于储存稀释气、再稀释气或空气，所述稀释模式切换组件还包括第三切换件，所述第三切换件用于控制所述第三储存罐与所述第三进气管或第三输气管相连通；
或者，所述第一气路控制件为多位切换多通阀；所述多位切换多通阀设有第一接口、第二接口与出气口，所述第一接口与所述第一进气管相连通，所述第二接口与所述第二进气管相连通，所述出气口与第一出气管相连通；所述多位切换多通阀能用于控制所述第一接口与所述第二接口中的其中一个接口与所述出气口相连通，以及用于控制所述第一接口与所述第二接口中的其余接口与所述出气口相断开。
3.根据权利要求1所述的动静结合稀释仪，其特征在于，所述第二输气管、所述第二切换件与所述第二储存罐均为两个以上；两个以上所述第二输气管、两个以上所述第二切换件均与两个以上所述第二储存罐一一对应设置；
所述动态稀释组件还包括第三输气管，所述第三输气管上设有流量计，所述第三输气管与所述第一混合腔的入口相连通；所述气源组件还包括第三储存罐，所述第三储存罐用于储存稀释气、再稀释气或空气；所述稀释模式切换组件还包括第三切换件，所述第三切换
件用于控制所述第三储存罐与第三进气管或第三输气管相连通。
4.根据权利要求3所述的动静结合稀释仪，其特征在于，所述第一储存罐的出口通过第一通气管与所述第一切换件相连，所述第一通气管上设有第一开关阀；所述第二储存罐的出口通过第二通气管与所述第二切换件相连，所述第二通气管上设有第二开关阀；所述第三储存罐的出口通过第三通气管与所述第三切换件相连，所述第三通气管上设有第三开关阀。
5.根据权利要求3所述的动静结合稀释仪，其特征在于，所述动态稀释组件还包括第一汇总管、第二气路控制件与第二汇总管；所述第一汇总管、所述第三输气管、所述第二汇总管均和所述第二气路控制件相连；两个以上所述第二输气管均与所述第一汇总管相连通；所述第二汇总管还与所述第一混合腔的入口相连通；所述第二气路控制件用于控制所述第一汇总管或所述第三输气管与所述第二汇总管相连通。
6.根据权利要求5所述的动静结合稀释仪，其特征在于，所述动态稀释组件还包括设于所述第二输气管与所述第一汇总管之间的多通管及至少两个第二混合腔；两个以上所述第二输气管分成与至少两个所述第二混合腔一一对应设置的至少两个小组，每个所述小组均包括至少两个所述第二输气管；每个小组的所述第二输气管均与该小组所对应的所述第二混合腔的入口相连通；至少两个所述第二混合腔通过所述多通管与所述第一汇总管相连通。
7.根据权利要求6所述的动静结合稀释仪，其特征在于，所述第二输气管与所述第二混合腔的入口之间设有第三气路控制件，所述第三气路控制件连接有第一排空管，所述第三气路控制件用于控制所述第二输气管与所述第二混合腔的入口相连通或者与所述第一排空管相连通；所述第二混合腔的出口通过连通管与所述多通管相连，所述连通管上设有第四开关阀。
8.根据权利要求5所述的动静结合稀释仪，其特征在于，所述动态稀释组件还包括设于所述第三输气管与所述第一混合腔的入口之间的第四气路控制件，以及与所述第四气路控制件相连的第二排空管；所述第四气路控制件用于控制所述第三输气管与所述第一混合腔的入口相连通或者与所述第二排空管相连通。
9.根据权利要求1所述的动静结合稀释仪，其特征在于，所述动态稀释组件还包括分流管、泄压阀、限流器与第五开关阀；所述排气总管上设有第二三通管，所述第二三通管与所述分流管相连通，所述泄压阀与所述限流器设于所述分流管上，所述第五开关阀设于所述排气总管的出气端。
10.一种如权利要求1至9任意一项所述的动静结合稀释仪的工作方法，其特征在于，包括如下步骤：
当工作于静态稀释模式时，稀释模式切换组件动作，使得第一储存罐与第一进气管连通，以及第二储存罐与第二进气管连通；第一气路控制件控制第一进气管与第一出气管相连通，以将稀释气体通入到苏玛罐内；第一气路控制件还控制第二进气管与第一出气管相连通，以将高标气通入到苏玛罐内；
当工作于动态稀释模式时，稀释模式切换组件动作，使得第一储存罐与第一输气管连通，以及第二储存罐与第二输气管连通，第一输气管上的流量计打开到预设开度，第二输气管上的流量计打开到预设开度。
动静结合稀释仪及其工作方法
技术领域
[0001]本发明涉及稀释仪技术领域，特别是涉及一种动静结合稀释仪及其工作方法。
背景技术
[0002]动态稀释是指已知浓度的原标气与稀释气按照一定的流速比连续不断地进行混合，从而可以连续不断地配置得到一定浓度的标准气并进入后端装置，配气速度快；静态稀释是根据原标气、稀释气以及
苏玛罐的体积或者压力计算稀释比，并依次将原料气和稀释气加入已知体积或压力的苏玛罐中，静态稀释配置出来的是高压气体，易于储存，可以离线使用。然而，常规的稀释仪应用模式较为单一，只有动态稀释模式或者只有静态稀释模式，不能将这两种稀释仪进行自动结合，无法满足更高的使用需求。
发明内容
[0003]基于此，有必要克服现有技术的缺陷，提供一种动静结合稀释仪及其工作方法，它能够兼具动态稀释模式与静态稀释模式，能提升产品性能。
[0004]其技术方案如下：一种动静结合稀释仪，所述动静结合稀释仪包括：静态稀释组件，所述静态稀释组件包括第一气路控制件、第一进气管、第二进气管、第一出气管、压力控制器、压力传感器及苏玛罐，所述第一气路控制件用于控制所述第一进气管与所述第二进气管中的其中一个管道与所述第一出气管相连通，以及用于控制所述第一进气管与所述第二进气管中的其余管道与所述第一出气管相断开，所述压力控制器与所述压力传感器沿着气流方向依次设于所述第一出气管上，所述第一出气管与所述苏玛罐相连通；动态稀释组件，所述动态稀释组件包括第一输气管、第二输气管、第一混合腔及排气总管，所述第一输气管与所述第二输气管上均设有流量计，所述第一输气管与所述第二输气管均和所述第一混合腔的入口相连通，所述第一混合腔的出口与所述排气总管相连；气源组件与稀释模式切换组件，所述气源组件包括第一储存罐与第二储存罐，所述第一储存罐用于储存稀释气体，所述第二储存罐用于储存
高标气，所述稀释模式切换组件包括第一切换件与第二切换件，所述第一切换件用于控制所述第一储存罐与所述第一进气管或所述第一输气管相连通，所述第二切换件用于控制所述第二储存罐与所述第二进气管或所述第二输气管相连通。
[0005]上述的动静结合稀释仪，当工作于静态稀释模式时，稀释模式切换组件动作，实现第一储存罐与第一进气管连通，以及第二储存罐与第二进气管连通。第一气路控制件控制第一进气管与第一出气管相连通，以将稀释气体通入到苏玛罐内。此外，第一气路控制件还控制第二进气管与第一出气管相连通，以将高标气通入到苏玛罐内。在压力控制器与压力传感器的作用下，便可以将定量的稀释气体与定量的高标气均通入到苏玛罐内进行静态混合得到预标气。当工作于动态稀释模式时，稀释模式切换组件动作，实现第一储存罐与第一输气管连通，以及第二储存罐与第二输气管连通，第一输气管上的流量计打开到预设开度，第二输气管上的流量计打开到预设开度，能实现定量的稀释气体与定量的高标气均同步通
入到第一混合腔与排气总管内动态混合得到预标气。如此，动静结合稀释仪兼具动态稀释模式与静态稀释模式，能提升产品性能。
[0006]在其中一个实施例中，所述静态稀释组件还包括设于所述第一出气管上的第一三通管，所述压力传感器通过所述第一三通管与所述第一出气管相连通；
[0007]或者，所述第二进气管为两个以上；所述第二输气管、所述第二切换件与所述第二储存罐均为两个以上；两个以上所述第二进气管、两个以上所述第二输气管、两个以上所述第二切换件均与两个以上所述第二储存罐一一对应设置；
[0008]或者，所述静态稀释组件还包括第三进气管；所述第一气路控制件用于控制第一进气管、第二进气管及第三进气管中的其中一个管道与第一出气管相连通，以及用于控制第一进气管、第二进气管及第三进气管中的其余管道与第一出气管相断开；所述动态稀释组件还包括第三输气管，所述第三输气管上设有流量计，所述第三输气管与所述第一混合腔的入口相连通；所述气源组件还包括第三储存罐，所述第三储存罐用于储存稀释气、再稀释气或空气，所述稀释模式切换组件还包括第三切换件，所述第三切换件用于控制所述第三储存罐与所述第三进气管或第三输气管相连通；
[0009]或者，所述第一气路控制件为多位切换多通阀；所述多位切换多通阀设有第一接口、第二接口与出气口，所述第一接口与所述第一进气管相连通，所述第二接口与所述第二进气管相连通，所述出气口与第一出气管相连通；所述多位切换多通阀能用于控制所述第一接口与所述第二接口中的其中一个接口与所述出气口相连通，以及用于控制所述第一接口与所述第二接口中的其余接口与所述出气口相断开。
[0010]在其中一个实施例中，所述第二输气管、所述第二切换件与所述第二储存罐均为两个以上；两个以上所述第二输气管、两个以上所述第二切换件均与两个以上所述第二储存罐一一对应设置；
[0011]所述动态稀释组件还包括第三输气管，所述第三输气管上设有流量计，所述第三输气管与所述第一混合腔的入口相连通；所述气源组件还包括第三储存罐，所述第三储存罐用于储存稀释气、再稀释气或空气；所述稀释模式切换组件还包括第三切换件，所述第三切换件用于控制所述第三储存罐与第三进气管或第三输气管相连通。
[0012]在其中一个实施例中，所述第一切换件、所述第二切换件与所述第三切换件均为二位三通阀。
[0013]在其中一个实施例中，所述第一储存罐的出口通过第一通气管与所述第一切换件相连，所述第一通气管上设有第一开关阀；所述第二储存罐的出口通过第二通气管与所述第二切换件相连，所述第二通气管上设有第二开关阀；所述第三储存罐的出口通过第三通气管与所述第三切换件相连，所述第三通气管上设有第三开关阀。
[0014]在其中一个实施例中，所述动态稀释组件还包括第一汇总管、第二气路控制件与第二汇总管；所述第一汇总管、所述第三输气管、所述第二汇总管均和所述第二气路控制件相连；两个以上所述第二输气管均与所述第一汇总管相连通；所述第二汇总管还与所述第一混合腔的入口相连通；所述第二气路控制件用于控制所述第一汇总管或所述第三输气管与所述第二汇总管相连通。
[0015]在其中一个实施例中，所述动态稀释组件还包括设于所述第二输气管与所述第一汇总管之间的多通管及至少两个第二混合腔；两个以上所述第二输气管分成与至少两个所
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