(12)发明专利说明书 | ||
(10)申请公布号 CN102392301B(43)申请公布日 2014.06.25 | ||
权利要求说明书 说明书 幅图 |
本发明公开了一种定向凝固法中籽晶熔化状态判断方法以及引晶控制系统,通过在坩埚底部放置测温探头,并通过计算升温速率的来判断籽晶是否处于半熔化的状态,从而实现了定向凝固法生长硅晶体中的引晶控制,有利于增加硅锭的生产率,提高类单晶硅生长的成功率,提高硅晶体的品质。 | |
法律状态公告日 | 法律状态信息 | 法律状态 |
2012-03-28 | 公开 | 公开 |
2012-03-28 | 公开 | 公开 |
2012-05-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
2012-05-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
2014-06-25 | 授权 | 授权 |
2014-06-25 | 授权 | 授权 |
2015-09-09 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权、专利权的转移 |
2015-09-09 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权、专利权的转移 |
2018-01-05 | 专利权的终止 | 专利权的终止 |
本文发布于:2024-09-20 15:43:50,感谢您对本站的认可!
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