定向凝固法中籽晶熔化状态判断方法以及引晶控制系统

(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利说明书
(10)申请公布号 CN102392301B(43)申请公布日 2014.06.25
(21)申请号 CN201110364214.3
(22)申请日 2011.11.16
(71)申请人 浙江碧晶科技有限公司
    地址 312300 浙江省绍兴市上虞市人民西路567号
(72)发明人 李乔;马远;王明德;周晓峰
(74)专利代理机构 杭州天勤知识产权代理有限公司
    代理人 胡红娟
(51)Int.CI
权利要求说明书  说明书  幅图
(54)发明名称
    定向凝固法中籽晶熔化状态判断方法以及引晶控制系统
(57)摘要
    本发明公开了一种定向凝固法中籽晶熔化状态判断方法以及引晶控制系统,通过在坩埚底部放置测温探头,并通过计算升温速率的来判断籽晶是否处于半熔化的状态,从而实现了定向凝固法生长硅晶体中的引晶控制,有利于增加硅锭的生产率,提高类单晶硅生长的成功率,提高硅晶体的品质。
法律状态
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-03-28
公开
公开
2012-03-28
公开
公开
2012-05-09
实质审查的生效
实质审查的生效
2012-05-09
实质审查的生效
实质审查的生效
2014-06-25
授权
授权
2014-06-25
授权
授权
2015-09-09
专利申请权、专利权的转移
专利申请权、专利权的转移
2015-09-09
专利申请权、专利权的转移
专利申请权、专利权的转移
2018-01-05
专利权的终止
专利权的终止
权利要求说明书
定向凝固法中籽晶熔化状态判断方法以及引晶控制系统的权利要求说明书内容是....
说明书
定向凝固法中籽晶熔化状态判断方法以及引晶控制系统的说明书内容是....

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标签:状态   籽晶   判断   引晶   熔化   专利权   方法
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