用于电子束光刻胶PMMA的显影液及其配制方法

（19）中华人民共和国国家知识产权局

	（12）发明专利申请
		（10）申请公布号 CN101776852A（43）申请公布日 2010.07.14

（21）申请号 CN201010101998.6

（22）申请日 2010.01.27

（71）申请人中国科学院半导体研究所

地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号

（72）发明人王秀平;杨晓红;韩勤

（74）专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司

代理人周国城

（51）Int.CI

G03F7/32;

权利要求说明书说明书幅图

（54）发明名称

用于电子束光刻胶PMMA的显影液及其配制方法

（57）摘要

本发明公开了一种用于电子束光刻胶PMMA的显影液，该显影液是异丙醇、甲醇和去离子水的混合液，其中异丙醇、甲醇和去离子水的体积比为7∶2∶1。本发明同时公开了一种用于电子束光刻胶PMMA的显影液的配置方法，该方法包括：将异丙醇、甲醇和去离子水以一定的体积比混合；将异丙醇、甲醇和去离子水的混合液在常温下静置一段时间，使得溶液混合均匀。利用本发明，相比目前通用的定影液IPA，不需要IPA或者其他定影液定影就能很好的控制线条宽度以及粗糙度，能够显著降低成本。

法律状态

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2010-07-14	公开	公开
2010-09-15	实质审查的生效	实质审查的生效
2013-02-06	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回