等离子增强化学气相沉积的方法及系统[发明专利]

专利名称:等离子增强化学气相沉积的方法及系统专利类型:发明专利
发明人:范振华
申请号:CN200980101398.5
申请日:20090104
公开号:CN101965417A
公开日:
20110202
专利内容由知识产权出版社提供
摘要:一种处理基片或工件(108)的装置,其中,基片或者工件(108)用于制造太阳能电池板。所述装置包括多个细长电极(103)以及具有多个孔的喷射板(104)。每个孔对应一个细长电极(103),并在所述孔与所述细长电极(103)之间留有空隙(112)。因此,当给所述电极(103)和喷射板(104)施加射频源时,化学物质可通过所述空隙(112)喷射。
申请人:东莞宏威数码机械有限公司
地址:523081 中国广东省东莞市南城区石鼓村大龙路6号
国籍:CN
代理机构:广州三环专利代理有限公司

本文发布于:2024-09-20 14:45:05,感谢您对本站的认可!

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