(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201920259150.2
(22)申请日 2019.03.01
(73)专利权人 许世鹏
地址 735099 甘肃省酒泉市肃州区西环北
路10号2号1栋342号
(72)发明人 许世鹏 陈维铅 李玉宏
(74)专利代理机构 成都拓荒者知识产权代理有
限公司 51254
代理人 李静
(51)Int.Cl.
C23C 14/35(2006.01)
C23C 14/06(2006.01)
(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
(54)实用新型名称
一种应用于掺杂类金刚石薄膜制备设备的
(57)摘要
本实用新型公开了一种应用于掺杂类金刚
石薄膜制备设备的电极，包括安装在真空腔室顶
端的阳极，及安装在真空腔室底端的阴极；所述
阴极设置为样品台，且与脉冲偏压电源电连接。
本实用新型利用螺旋电极作为电极阳极，样品台
作为电极阴极，能够与中频磁控溅射技术良好结
合，具有结构简单、基材温升低、膜基结合好、成
膜均匀，工艺可重复性好，易于精确控制镀层厚
度，
易于控制元素掺杂量等优点。权利要求书1页 说明书3页 附图2页CN 209923422 U 2020.01.10
C N 209923422
U
权 利 要 求 书1/1页CN 209923422 U
1.一种应用于掺杂类金刚石薄膜制备设备的电极，其特征在于，包括用于安装在真空腔室(1)顶端的阳极，以及用于安装在真空腔室(1)底端的阴极；所述阳极设置为螺旋电极(2)，且与射频电源电连接；所述阴极设置为样品台(3)，且附加有脉冲负偏压。 2.如权利要求1所述的应用于掺杂类金刚石薄膜制备设备的电极，其特征在于，所述螺旋电极(2)具体设置为蚊香状平面螺旋电极结构。
3.如权利要求2所述的应用于掺杂类金刚石薄膜制备设备的电极，其特征在于，所述蚊香状平面螺旋电极的高度设置为30cm，直径设置为10cm。
4.如权利要求1所述的应用于掺杂类金刚石薄膜制备设备的电极，其特征在于，所述螺旋电极(2)具体设置为双螺旋电极结构。
5.如权利要求4所述的应用于掺杂类金刚石薄膜制备设备的电极，其特征在于，所述双螺旋电极的高度设置为40cm，直径设置为6cm。
6.如权利要求3或5所述的应用于掺杂类金刚石薄膜制备设备的电极，其特征在于，所述螺旋电极(2)采用不锈钢或铜材质。
7.如权利要求1所述的应用于掺杂类金刚石薄膜制备设备的电极，其特征在于，所述样品台(3)设置为圆形结构。
8.如权利要求7所述的应用于掺杂类金刚石薄膜制备设备的电极，其特征在于，所述样品台(3)包括样本托(5)、样品台体(6)及驱动组件(12)，所述样本托(5)安装在样品台体(6)顶端，所述驱动组件(12)通过同步齿轮带(11)和同步带轮(10)驱动所述样品台体(6)转动。
9.如权利要求8所述的应用于掺杂类金刚石薄膜制备设备的电极，其特征在于，所述样品台体(6)底部还设置有水冷磁流体(4)。
10.如权利要求9所述的应用于掺杂类金刚石薄膜制备设备的电极，其特征在于，所述样品台体(6)与水冷磁流体(4)之间还依次层叠有瓷垫(7)、尼龙绝缘环(8)及尼龙垫压环(9)。
2
豫公网安备41160202000603
站长QQ:729038198
关于我们
投诉建议