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荧光显微镜及包含其的基板检查装置[发明专利]

专利名称：荧光显微镜及包含其的基板检查装置专利类型：发明专利

发明人：鱼庆湖，李允贞

申请号：CN201711216616.2

申请日：20171128

公开号：CN108121061A

公开日：

20180605

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：基板检查装置包括用于支撑其上形成有检查图案的显示基板的台模块，和用于捕获检查图案以获取检查图像的荧光显微镜。荧光显微镜包括用于向检查图案提供照明光的照明单元、包括用于将照明光导向检查图案的分束器的透镜单元，和用于从检测图案反射的光获取检查图像的照相机单元。特别地，照明单元包括其上安装有多个照明灯的照明基板，和用于调节照明基板的位置以有选择地使用照明灯中任何一个的位置调节单元。

申请人：细美事有限公司

地址：韩国忠清南道天安市西北区稷山邑四产团五77

国籍：KR

代理机构：上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：余文娟

本文发布于:2024-09-22 15:49:52，感谢您对本站的认可！

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