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真空室泄漏空气量在线检测方法及装置[发明专利]

专利名称：真空室泄漏空气量在线检测方法及装置专利类型：发明专利

发明人：饶刚，赵朝霞

申请号：CN201010558595.4

申请日：20101125

公开号：CN102478447A

公开日：

20120530

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明涉及一种真空室泄漏空气量在线检测方法，并涉及用于该方法的一种真空室泄漏空气量在线检测装置，属于结构件密封性测试技术领域。该方法是分别计量、读取并换算送入真空室中惰性气体的流量和排出真空室气体的流量，通过质谱仪实时分析和计算取样的排出气体中的惰性气体成分和占排出气体的体积比；根据公式计算出实时空气泄漏量并输出显示。该装置包括设置于真空室进气管上的第一变送器、设置于真空室排气管上的取样管、设置于真空室排气管上的第二变送器、质谱仪和计算显示装置，取样管的输出端连接质谱仪的输入端，流量变送器和质谱仪的信号输出端连接计算显示装置。该方法及装置为指导真空室生产及检修提供了可靠依据。

申请人：上海梅山钢铁股份有限公司

地址：210039 江苏省南京市雨花区中华门外新建

国籍：CN

代理机构：南京苏科专利代理有限责任公司

本文发布于:2024-09-21 03:29:32，感谢您对本站的认可！

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