首页 > 专利技术

一种用于检测蒸发器蒸发量的晶振探头[发明专利]

专利名称：一种用于检测蒸发器蒸发量的晶振探头专利类型：发明专利

发明人：向勇，孙力，曹德

申请号：CN201710340032.X

申请日：20170515

公开号：CN106990209A

公开日：

20170728

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明公开了一种用于检测蒸发器蒸发量的晶振探头，主要由前端主体(1)，通过连接体(2)连接在前端主体(1)上的后端主体(3)，以及设置在前端主体(1)上的晶振盒组成。本发明的晶振盒在驱动装置的带动下能不断的变换位于检测孔的晶振片，使位于检测孔的晶振片的振荡频率都在基准频率范围内，有效的确保了本发明对蒸发器蒸发量检测的准确性，从而有效的确保了基片镀膜厚度的准确性、均匀度，有效的提高了基片镀膜厚度的质量。

申请人：成都西沃克真空科技有限公司

地址：610091 四川省成都市成都蛟龙工业港双流园区东海路66座

国籍：CN

代理机构：成都新驱科为知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：成实

本文发布于:2024-09-22 01:47:49，感谢您对本站的认可！

本文链接：https://www.17tex.com/tex/3/431226.html

上一篇：一种辐照加速器电子束流的在线扫描参数检测系统[发明专利]

下一篇：一种轻量化桥梁智能检测车及其使用方法[发明专利]