发明人：曲道奎，李学威，赵嘉博，陈雷，何元一，柴源
申请号：CN201310451911.1
申请日：20130928
公开号：CN104517879A
公开日：
20150415
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明涉及机械手技术领域，提供了一种手指间距可调的搬运机械手及其晶圆搬运装置。其中机械手包括：设有机械手指（11）的手指单元（10）；固定设置有轴承的连杆（20）；其中一个轴承与一个手指单元（10）固定连接，其余的手指单元（10）的后端一侧开设有沿机械手指方向的槽（40），轴承嵌入槽（40）内并可移动组成曲柄滑块机构；手指单元（10）的后端另一侧设有导轨（60），导轨（60）沿竖直方向设置，手指单元（10）通过滑块（50）沿导轨（60）运动；其中一个手指单元（10）沿竖直方向运动，带动连杆（20）绕与一个手指单元（10）固定连接的轴承转动，带动其他手指单元（10）沿导轨（60）做上下运动。本发明实现了对机械手指间距的有效调节。
申请人：沈阳新松机器人自动化股份有限公司
地址：110168 辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号
国籍：CN
代理机构：沈阳科苑专利商标代理有限公司
代理人：许宗富
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