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一种二极管芯片的玻璃钝化工艺[发明专利]

专利名称：一种二极管芯片的玻璃钝化工艺专利类型：发明专利

发明人：谢晓东

申请号：CN201510867849.3

申请日：20151202

公开号：CN105405758A

公开日：

20160316

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明涉及一种半导体二极管芯片的玻璃钝化工艺，属于半导体器件领域，采用两次刮涂法将玻璃浆填入二极管芯片沟槽内，以此增加二极管芯片沟槽内的玻璃厚度，结合快速烘干方式使二极管芯片沟槽内的玻璃主要分布于沟槽侧壁上，再利用旋涂法将玻璃浆旋涂于二极管芯片凸台并快速烘干，通过光刻方式开出凸台蚀刻窗口，将窗口内玻璃钝化层去除后进行玻璃烧结。本发明具有二极管芯片沟槽底部玻璃薄、侧壁厚，凸台边缘玻璃厚的特点，有利于芯片切割，同时为PN结和凸台边缘尖角提供更好的玻璃钝化层包覆。

申请人：浙江明德微电子股份有限公司

地址：312000 浙江省绍兴市绍兴经济开发区龙山软件园

国籍：CN

代理机构：绍兴市越兴专利事务所(普通合伙)

代理人：蒋卫东

本文发布于:2024-09-22 06:42:49，感谢您对本站的认可！

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