一种自动出料的方法、装置及系统[发明专利]

专利名称：一种自动出料的方法、装置及系统专利类型：发明专利

发明人：纪幸辰

申请号：CN201810543584.5

申请日：20180530

公开号：CN108677163A

公开日：

20181019

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明提出了一种自动出料的方法，用于含硅薄膜的制备，包括：S1.抓取反应炉中的温度值；S2.至少根据所述的温度值与预设温度一致的指令，开启反应炉的出料口；S3.启动机械手，依次抓取含硅薄膜的成品，并投放在预设位置。本发明还公开了一种自动出料的装置和系统。本发明的技术方案，自动从反应炉中取出含硅薄膜成品，解放了人力，便于自动化及无人生产。

申请人：深圳市硅光半导体科技有限公司

地址：518040 广东省深圳市福田区沙头街道天安社区泰然九路11号海松大厦B座2201C

国籍：CN

代理机构：深圳市深联知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：杨静

本文发布于:2024-09-21 23:20:50，感谢您对本站的认可！

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