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在涂覆形成的夹层绝缘膜上具有透明导电膜的液晶显示器[发明专利]

专利名称：在涂覆形成的夹层绝缘膜上具有透明导电膜的液晶显示器

专利类型：发明专利

发明人：木村茂，前田明寿，土居悟史，石野隆行

申请号：CN02130565.X

申请日：20020816

公开号：CN1475852A

公开日：

20040218

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：制作一种液晶显示器，该液晶显示器具有以栅格形的方式设置的总线、与总线耦合的开关元件、在涂覆形成的夹层绝缘膜上设置的象素电极，象素电极与开关元件耦合。在制作液晶显示器中，当在涂覆形成的夹层绝缘膜上形成透明导电膜时，基片温度控制为100℃－170℃。另一方面，当在非加热状态下在夹层绝缘膜上形成透明导电膜时，将氧流速比设置为1％或更低，在形成膜之后进行退火。从而，当在夹层绝缘膜上刻蚀ITO膜时，不产生腐蚀残渣。此外，能一致地减少在ITO膜和下层金属之间的接触电阻，并避免显示缺限。

申请人：NEC液晶技术株式会社

地址：日本神奈川县

国籍：JP

代理机构：中科专利商标代理有限责任公司

代理人：龚海军

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