【CN109943849A】一种有机退膜液【专利】

(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910296806.2
(22)申请日 2019.04.14
(71)申请人 广州恒荣电子科技有限公司
地址 511300 广东省广州市增城区新塘镇
南埔村夏埔开发区西区五街3号
(72)发明人 李华 
(74)专利代理机构 北京联瑞联丰知识产权代理
事务所(普通合伙) 11411
代理人 张学府
(51)Int.Cl.
C23F  1/16(2006.01)
(54)发明名称
一种有机退膜液
(57)摘要
本发明公开了一种有机退膜液,包括以下质
量百分比的原料:有机碱30-80%和水20-70%,
所述有机碱为单乙醇胺;将单乙醇胺均匀分散于
水中,即可得有机退膜剂。本发明有机退膜液特
别适合于精细线路干膜的去除,能有效去除夹
膜,保证后续蚀刻的品质;退膜速率快,是传统氢
氧化钠退膜速率的1.5-2倍,特别对二次干膜有
良好的退除速率和效率;不腐蚀钢面、锡面、金
面,不攻击绿油等阻焊膜;膜碎呈细小均匀颗粒
状,过滤容易,不堵塞喷嘴;槽液寿命长,保养周
期7-10天,提升生产效率;废液量少,成本低,更
加环保。权利要求书1页  说明书3页CN 109943849 A 2019.06.28
C N  109943849
A
权 利 要 求 书1/1页CN 109943849 A
1.一种有机退膜液,其特征在于:包括以下质量百分比的原料:有机碱30-80%和水20-70%,所述有机碱为单乙醇胺。
2.根据权利要求1所述的有机退膜液,其特征在于:包括以下质量百分比的原料:单乙醇胺55%和水45%。
3.根据权利要求1所述的有机退膜液,其特征在于:包括以下质量百分比的原料:单乙醇胺30%和水70%。
4.根据权利要求1所述的有机退膜液,其特征在于:包括以下质量百分比的原料:单乙醇胺80%和水20%。
5.根据权利要求1所述的有机退膜液,其特征在于:包括以下质量百分比的原料:氢氧化钠20%、单乙醇胺10%、苯并三氮唑2%和水68%。
2

本文发布于:2024-09-21 18:51:17,感谢您对本站的认可!

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