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一种电子级四氟化碳的纯化系统及方法[发明专利]

专利名称：一种电子级四氟化碳的纯化系统及方法

专利类型：发明专利

发明人：李嘉磊，刘志强，王凤侠，傅钟盛，林百志，曾熙，张朝春申请号：CN201911368122.5

申请日：20191226

公开号：CN111099957A

公开日：

20200505

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明提供了一种电子级四氟化碳的纯化系统，包括洗涤系统、吸附系统和精馏系统，所述洗涤系统包括水洗塔和碱洗塔；所述洗涤系统具体为预洗涤塔、水洗涤塔、碱洗塔、热解塔、碱洗塔；所述吸附系统包括气液分离器、冷冻除水箱、吸附塔，所述吸附塔包括低压吸附塔、高压吸附塔；所述精馏系统包括储存罐、精馏塔、高压隔膜压缩机。本发明还提供了一种采用上述系统纯化电子级四氟化碳的方法，通过水洗、碱洗、热解、碱洗、气液分离、吸附、储存、精馏、充装得到纯度在99.9995％以上的电子级四氟化碳气体。

申请人：福建德尔科技有限公司

地址：364200 福建省龙岩市上杭县蛟洋镇蛟洋工业集中区工业路6号

国籍：CN

代理机构：南昌金轩知识产权代理有限公司

代理人：黄亮亮

本文发布于:2024-09-23 01:18:06，感谢您对本站的认可！

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