面向下一代高速通信的锆钛酸铅薄膜及其制备方法、应用

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 112723754 A (43)申请公布日 2021.04.30

(21)申请号 CN202110008078.8

(22)申请日 2021.01.05

(71)申请人西湖大学

地址 310024 浙江省杭州市西湖区转塘街道石龙山街18号

(72)发明人邱枫班大赛

(74)专利代理机构 33200 杭州求是专利事务所有限公司

代理人贾玉霞

(51)Int.CI

C03C17/22(20060101)

C03C17/25(20060101)

C03C17/27(20060101)

C04B41/87(20060101)

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

面向下一代高速通信的锆钛酸铅薄膜及其制备方法、应用

(57)摘要

本发明公开一种面向下一代高速通信的锆钛酸铅薄膜及其制备方法、应用，器件的材料是基于镧系硝酸盐晶种层，采用溶胶‑凝胶法制备锆钛酸铅前驱体溶液，经旋涂和退火制得PZT晶体薄膜，可获得结构均匀致密的，具有优势取向的，钙钛矿型PZT单相晶体薄膜。本发明的方法操作简单、能耗低、成本低，且生长的薄膜为纯钙钛矿型单相晶体薄膜，透明度高，耐高温，薄膜厚度和尺寸易于调节，可以满足各种电光调制器件的需求。本发明制备的薄膜锆钛酸铅具有非线性效应，电光效应，压电效应，热电效应等，可以制备集成光子回路中的光波导、光开关、分/合束器、压电调制器、热电调制器与电光调制器等器件。

法律状态

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2021-04-30	公开	公开
2021-05-21	实质审查的生效	实质审查的生效
2022-11-29	专利申请权的转移IPC(主分类):C03C17/22专利申请号:2021100080788登记生效日:20221116变更事项:申请人变更前权利人:西湖大学变更后权利人:聚合电光(杭州)科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:310024 浙江省杭州市西湖区转塘街道石龙山街18号变更后权利人:310024 浙江省杭州市西湖区转塘科技经济区	专利申请权、专利权的转移
2023-01-17	著录事项变更IPC(主分类):C03C17/22专利申请号:2021100080788变更事项:发明人变更前:邱枫班大赛变更后:邱枫	著录事项变更
2023-05-05	授权	发明专利权授予