原子力显微镜测量固体薄膜厚度的方法

（19）中华人民共和国国家知识产权局

	（12）发明专利申请
		（10）申请公布号 CN101329158A（43）申请公布日 2008.12.24

（21）申请号 CN200810136808.7

（22）申请日 2008.07.28

（71）申请人哈尔滨工业大学

地址 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

（72）发明人王铀;洪晓东

（74）专利代理机构哈尔滨市松花江专利商标事务所

代理人毕志铭

（51）Int.CI

G01B7/06;

权利要求说明书说明书幅图

（54）发明名称

原子力显微镜测量固体薄膜厚度的方法

（57）摘要

原子力显微镜测量固体薄膜厚度的方法，它涉及一种测量固体薄膜厚度的方法。本发明解决了现有的光学方法测膜厚存在测量范围有限、薄膜种类受限以及非光学方法存在测量误差较大的问题。方法一：将试样剪成两部分得到待测薄膜的垂直断面；将待测试样插入去离子水中，待待测薄膜漂浮于水面后，再用备用基底将其捞起；待其干燥后用原子力显微镜即可测出待测薄膜的厚度。方法二：将试样放入去离子水中；对所述试样进行超声处理，待待测薄膜插入液面以下部分变为碎屑从基底上脱落，露出基底后停止超声，取出待其干燥后用原子力显微镜直接扫描待测薄膜的断面区域即可测出待测薄膜厚度。本发明方法具有测量结果准确、操作简单、量程大、适用范围广等优点。

法律状态

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2008-12-24	公开	公开
2009-02-18	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-08-04	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回