一种芯片加工用光刻机外壳的制作方法

1.本实用新型涉及光刻机设备技术领域，具体是指一种芯片加工用光刻机外壳。

背景技术：

2.光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备，它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上，光刻机对工作环境要求较高，对空气中的漂浮颗粒、环境温度等均有严格要求，因此，光刻机外壳需要具有防尘、保温的作用，才能为光刻机提供较好的工作环境。

技术实现要素：

3.本实用新型要解决的技术问题是以上所述的技术问题，提供一种防尘效果好、保温效果好的芯片加工用光刻机外壳。
4.为解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案为：一种芯片加工用光刻机外壳，包括外壳本体，所述的外壳本体的顶端设有透气罩，所述的透气罩铰接在外壳本体的顶端，所述的透气罩上设有拉手，所述的外壳本体的内部上端设有除尘箱，所述的除尘箱与透气罩联通，所述的除尘箱中设有除尘机构，所述的除尘箱的底板中间设有气道，所述的气道与外壳本体的内部联通，所述的气道中设有鼓风机，所述的鼓风机的下方在气道之间设有防尘网a，所述的除尘箱底板的底端设有温度控制机构，所述的外壳本体地内部在侧壁上设有温度传感器，所述的外壳本体上设有滑槽，所述的滑槽中设有箱门，所述的箱门上设有观察窗，所述的外壳本体上在箱门的一侧设有控制屏。
5.作为改进，所述的外壳本体的顶端在与透气罩的接合面设有密封胶条。
6.作为改进，所述的除尘机构包括设置在除尘箱中的静电除尘棒，所述的静电除尘棒平行设置有若干个，所述的除尘箱的底板上在气道的四周设有防尘网安装座，所述的防尘网安装座上设有橡胶垫，所述的橡胶垫的底部及防尘网安装座与橡胶垫的底部相对的两侧设有橡胶压条，所述的橡胶压条之间设有防尘网b。
7.作为改进，所述的外壳本体的内侧壁上设有保温板，所述的保温板上设有吸附材料。
8.作为改进，所述的吸附材料采用活性炭布制作。
9.作为改进，所述的防尘网b上对称设有拉环。
10.本实用新型与现有技术相比的优点在于：通过设置电磁除尘棒、防尘网a及防尘网b多重防尘结构，能有效滤除进入外壳本体内部的气体，使进入内部的气体洁净，为光刻机提供良好的工作环境，通过设置防尘罩，便于进行维护、安装，使用方便，在外壳本体内侧壁上设置保温板，能较好地保持内部的工作温度，设有吸附材料，能对内部空气中的悬浮颗粒进行吸附，增强防尘效果，保证产品质量，便于安装，结构稳定。
附图说明
11.图1是本实用新型一种芯片加工用光刻机外壳的结构示意图。
12.图2是本实用新型一种芯片加工用光刻机外壳a的放大示意图。
13.图3是本实用新型一种芯片加工用光刻机外壳内壁的结构示意图。
14.如图所示：1、外壳本体；2、观察窗；3、温度控制机构；4、控制屏；5、鼓风机；6、防尘网a；7、气道；8、除尘箱；9、静电除尘棒；10、橡胶压条；11、透气罩；12、拉手；13、密封胶条；14、温度传感器；15、保温板；16、吸附材料；17、防尘网安装座；18、橡胶垫；19、防尘网b；20、拉环；21、滑槽；22、箱门。
具体实施方式
15.下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明。
16.结合附图1～3，一种芯片加工用光刻机外壳，包括外壳本体1，所述的外壳本体1的顶端设有透气罩11，所述的透气罩11铰接在外壳本体1的顶端，所述的透气罩11上设有拉手12，所述的外壳本体1的内部上端设有除尘箱8，所述的除尘箱8与透气罩11联通，所述的除尘箱8中设有除尘机构，所述的除尘箱8的底板中间设有气道7，所述的气道7与外壳本体1的内部联通，所述的气道7中设有鼓风机5，所述的鼓风机5的下方在气道7之间设有防尘网a6，所述的除尘箱8底板的底端设有温度控制机构3，所述的外壳本体1地内部在侧壁上设有温度传感器14，所述的外壳本体1上设有滑槽21，所述的滑槽21中设有箱门22，所述的箱门22上设有观察窗2，所述的外壳本体1上在箱门22的一侧设有控制屏4。
17.所述的外壳本体1的顶端在与透气罩11的接合面设有密封胶条13。
18.所述的除尘机构包括设置在除尘箱8中的静电除尘棒9，所述的静电除尘棒9平行设置有若干个，所述的除尘箱8的底板上在气道7的四周设有防尘网安装座17，所述的防尘网安装座17上设有橡胶垫18，所述的橡胶垫18的底部及防尘网安装座17与橡胶垫18的底部相对的两侧设有橡胶压条10，所述的橡胶压条10之间设有防尘网b19。
19.所述的外壳本体1的内侧壁上设有保温板15，所述的保温板15上设有吸附材料16。
20.所述的吸附材料16采用活性炭布制作。
21.所述的防尘网b19上对称设有拉环20。
22.本实用新型的工作原理：当使用时，打开透气罩，将防尘网b卡接在防尘网安装座中，将静电除尘棒依次安装在除尘箱的侧壁上，盖上透气盖，将鼓风机安装在气道中，并在其下方设置防尘网a，在外壳本体内部安装其余设备，安装好后启动设备进行工作，鼓风机将外壳本体外的空气引入除尘箱，经静电除尘棒及防尘网b对空气中的颗粒进行吸附、滤除，空气经防尘网b穿过，经防尘网a再次滤过后进入外壳本体内部，设置在外壳本体内侧壁上的吸附材料再次对漂浮颗粒进行吸附，进一步净化空气，温度传感器对内部环境温度进行监测，并将数据显示在控制屏上，当温度出现异常，则温度控制机构工作，对外壳本体内部温度进行调节，使其适宜光刻机工作。
23.以上对本实用新型及其实施方式进行了描述，这种描述没有限制性，附图中所示的也只是本实用新型的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本实用新型创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本实用新型的保护范围。

技术特征：

1.一种芯片加工用光刻机外壳，包括外壳本体(1)，其特征在于：所述的外壳本体(1)的顶端设有透气罩(11)，所述的透气罩(11)铰接在外壳本体(1)的顶端，所述的透气罩(11)上设有拉手(12)，所述的外壳本体(1)的内部上端设有除尘箱(8)，所述的除尘箱(8)与透气罩(11)联通，所述的除尘箱(8)中设有除尘机构，所述的除尘箱(8)的底板中间设有气道(7)，所述的气道(7)与外壳本体(1)的内部联通，所述的气道(7)中设有鼓风机(5)，所述的鼓风机(5)的下方在气道(7)之间设有防尘网a(6)，所述的除尘箱(8)底板的底端设有温度控制机构(3)，所述的外壳本体(1)地内部在侧壁上设有温度传感器(14)，所述的外壳本体(1)上设有滑槽(21)，所述的滑槽(21)中设有箱门(22)，所述的箱门(22)上设有观察窗(2)，所述的外壳本体(1)上在箱门(22)的一侧设有控制屏(4)。2.根据权利要求1所述的一种芯片加工用光刻机外壳，其特征在于：所述的外壳本体(1)的顶端在与透气罩(11)的接合面设有密封胶条(13)。3.根据权利要求1所述的一种芯片加工用光刻机外壳，其特征在于：所述的除尘机构包括设置在除尘箱(8)中的静电除尘棒(9)，所述的静电除尘棒(9)平行设置有若干个，所述的除尘箱(8)的底板上在气道(7)的四周设有防尘网安装座(17)，所述的防尘网安装座(17)上设有橡胶垫(18)，所述的橡胶垫(18)的底部及防尘网安装座(17)与橡胶垫(18)的底部相对的两侧设有橡胶压条(10)，所述的橡胶压条(10)之间设有防尘网b(19)。4.根据权利要求3所述的一种芯片加工用光刻机外壳，其特征在于：所述的外壳本体(1)的内侧壁上设有保温板(15)，所述的保温板(15)上设有吸附材料(16)。5.根据权利要求4所述的一种芯片加工用光刻机外壳，其特征在于：所述的吸附材料(16)采用活性炭布制作。6.根据权利要求3所述的一种芯片加工用光刻机外壳，其特征在于：所述的防尘网b(19)上对称设有拉环(20)。

技术总结

本实用新型公开了一种芯片加工用光刻机外壳，包括外壳本体，所述的外壳本体的顶端设有透气罩，所述的透气罩铰接在外壳本体的顶端，所述的透气罩上设有拉手，所述的外壳本体的内部上端设有除尘箱，所述的除尘箱与透气罩联通。本实用新型的优点在于：通过设置电磁除尘棒、防尘网A及防尘网B多重防尘结构，能有效滤除进入外壳本体内部的气体，使进入内部的气体洁净，为光刻机提供良好的工作环境，通过设置防尘罩，便于进行维护、安装，使用方便，在外壳本体内侧壁上设置保温板，能较好地保持内部的工作温度，设有吸附材料，能对内部空气中的悬浮颗粒进行吸附，增强防尘效果，保证产品质量，便于安装，结构稳定。结构稳定。结构稳定。