一种具有超高硬度的多元纳米复合结构涂层及其制备方法

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 112921280 A (43)申请公布日 2021.06.08

(21)申请号 CN202110104500.X

(22)申请日 2021.01.26

(71)申请人科汇纳米技术(深圳)有限公司

地址 518000 广东省深圳市宝安区福永街道桥头社区重庆路2号第2栋第二层厂房

(72)发明人郭丰铭郭裕竹郭光宇

(74)专利代理机构

代理人

(51)Int.CI

C23C14/32(20060101)

C23C14/06(20060101)

C23C14/16(20060101)

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种具有超高硬度的多元纳米复合结构涂层及其制备方法

(57)摘要

本发明公开的一种具有超高硬度的多元纳米复合结构涂层及其制备方法，包括以下步骤：第一步，首先将Substrate材料依次在粗、细氮化硼上进行打磨，打磨至Substrate上没有划痕，然后在抛光布上进行抛光处理，第二步，接着将Substrate放入超声波清洗机，依次用丙酮、无水乙醇和去离子水分别进行超声波清洗。本发明所述的一种具有超高硬度的多元纳米复合结构涂层及其制备方法，通过在TiAlN与AlTiN薄膜系列中分别添加Si元素制备而成的多元纳米复合超硬强韧涂层材料可以使切削刀具基体保持原有较高的强度与与韧性，而镀在刀具表面的涂层可提供超硬、强韧与耐磨的特性，赋予加工刀具具备高硬度、耐高温等特性，从而大大提升切削刀具于加工过程中的耐用度和适应性。

法律状态

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2021-06-25	实质审查的生效	实质审查的生效
2023-04-11	发明专利申请公布后的驳回IPC(主分类):C23C14/32专利申请号:202110104500X申请公布日:20210608	发明专利申请公布后的驳回