一种微纳多孔节流气浮球面轴承

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 114251362 A (43)申请公布日 2022.03.29

(21)申请号 CN202011014264.4

(22)申请日 2020.09.24

(71)申请人武汉科技大学

地址 430081 湖北省武汉市青山区和平大道947号

(72)发明人于普良尹先雄徐珲李世泽鲁炅

(74)专利代理机构

代理人

(51)Int.CI

F16C32/06(20060101)

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种微纳多孔节流气浮球面轴承

(57)摘要

本发明公开了一种微纳多孔节流静压气浮球面轴承装置，其特征在于：气浮球面轴承内表面布置一个或者多个微纳多孔节流器，微纳多孔节流器为薄片结构，厚度为0.1‑10mm，直径为1‑100mm，薄片结构上开有微纳多孔，微纳多孔直径为微米级和纳米级尺度，微纳多孔数目在几十到几百万之间，不同直径大小的多孔可以根据设计自由组合（微米级、纳米级或者微米级和纳米级混合多孔组合），然后通过优化进行合理布局。本发明不仅可以显著提高气浮球面轴承的稳定性和力学特性，而且可以有效降低气浮球面轴承的自激振动。此外，按照本发明的微纳多孔节流静压气浮球面轴承具有高速度和高精度等优点，因此尤其适用于超精密半导体设备和微/纳机电系统等领域。

法律状态

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2022-03-29	公开	发明专利申请公布
2022-05-06	实质审查的生效IPC(主分类):F16C32/06专利申请号:2020110142644申请日:20200924	实质审查的生效