360°旋转铌管靶[实用新型专利]

专利名称:360°旋转铌管靶专利类型:实用新型专利
发明人:戚成伟
申请号:CN201320256701.2申请日:20130513
公开号:CN203333747U
公开日:
20131211
专利内容由知识产权出版社提供
摘要:本实用新型涉及机械领域,尤其涉及360°旋转铌管靶。包含铌管靶,其为空心圆柱形,其直径为φ146mm,其为无缝管。所述铌管靶的长度为686mm。所述铌管靶两侧有安装槽。还包含可无缝套装在铌管靶上的外铌管靶。所述外铌管靶与铌管靶可分离安装。采用如上技术方案的本实用新型,相对于现有技术有如下有益效果:靶材可绕固定的条状磁铁组件旋转,因而360°靶面可被均匀刻蚀,利用率高达80%。铌的熔点范围为1580-1630摄氏度。这种Nb靶材组织内部的Nb的含量总和大于99.17%,晶粒度经过固溶处理后达到100μm左右的水平。
申请人:陕西华创稀有金属科技有限公司
地址:710000 陕西省西安市未央区未央路雅荷花园中环大厦A座21302号
国籍:CN

本文发布于:2024-09-23 15:18:23,感谢您对本站的认可!

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标签:专利   实用新型   靶材   荷花   涉及   管靶   刻蚀   处理
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