一种自动化二维材料转移装置

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 113666112 A (43)申请公布日 2021.11.19

(21)申请号 CN202110954685.3

(22)申请日 2021.08.19

(71)申请人单原子微纳米科技(淮安)有限责任公司

地址 223003 江苏省淮安市清江浦区清浦工业园枚皋路7号

(72)发明人严敬杰房鑫洁徐水钢

(74)专利代理机构 32478 江苏长德知识产权代理有限公司

代理人刘传玉

(51)Int.CI

B65G47/91(20060101)

G01K13/00(20210101)

G01N1/44(20060101)

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种自动化二维材料转移装置

(57)摘要

本发明适用于自动化领域，提供了一种自动化二维材料转移装置，包括转移台和样品台；所述样品台包括有样品座、隔热台、真空部件、旋转位移台、第一XY轴位移台和样品台底座；所述转移台包括有转移臂、粗调Z轴位移台、细调Z轴位移台、俯仰偏转位移台、第二XY轴位移台和转移台底座。本发明通过自动化的操作固定样品以及转移用载玻片并自由地控制其位置，从而实现真空超净手套箱中的转移，即实现具备重复性、精确定位性的电控全自动化操作，值得推广。

法律状态

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2021-11-19	公开	公开
2021-12-07	实质审查的生效	实质审查的生效
2022-12-09	著录事项变更IPC(主分类):B65G47/91专利申请号:2021109546853变更事项:发明人变更前:严敬杰房鑫洁徐水钢变更后:严敬杰徐水钢	著录事项变更