[19]
中华人民共和国国家知识产权局
[12]发明专利申请公布说明书
[11]公开号CN 101206728A [43]公开日2008年6月25日
[21]申请号200610147432.0[22]申请日2006.12.18
[21]申请号200610147432.0
限公司
地址201203上海市浦东新区张江路18号
[72]发明人马海 周宇 苏远志 [74]专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人逯长明
[51]Int.CI.G06Q 10/00 (2006.01)G06Q 50/00 (2006.01)
权利要求书 3 页 说明书 14 页 附图 2 页
[54]发明名称
半导体制造的派工管理系统及方法
[57]摘要
一种半导体制造的派工管理方法，包括：根据
所述设备和在制品的扩展信息，并将所述扩展信息
存储至信息管理单元；以所述派工处理单元，由信
息管理单元读取设备和在制品的基本信息及扩展信
息；并且，以所述派工处理单元，由规则管理单元
读取对应所述基本信息及扩展信息的派工标准及派
工基准；利用所述派工处理单元根据所述信息管理
单元提供的基本信息及扩展信息及所述规则管理单
元提供的对应所述基本信息及扩展信息的派工标准
及派工基准对所述设备和在制品进行派工操作，并
提供派工清单。应用本发明方法，可根据在制品交
期、设备负荷、制程时间限制以及在制品及设备的
运行状况等因素的任意组合灵活地实现派工控制。
200610147432.0权 利 要 求 书第1/3页 1.一种半导体制造的派工管理方法，包括：
根据设备和在制品的基本信息，以一派工处理单元计算所述设备和在制品的扩展信息，并将所述扩展信息存储至信息管理单元；
以所述派工处理单元，由信息管理单元读取设备和在制品的基本信息及扩展信息；并且，以所述派工处理单元，由规则管理单元读取对应所述基本信息及扩展信息的派工标准及派工基准；
利用所述派工处理单元根据所述信息管理单元提供的基本信息及扩展信息及所述规则管理单元提供的对应所述基本信息及扩展信息的派工标准及派工基准对所述设备和在制品进行派工操作，并提供派工清单。
2.根据权利要求1所述的派工管理方法，其特征在于：执行所述派工操作包括利用扩展单元计算所述设备及在制品的扩展信息以及选取所述基本信息及扩展信息后利用重组单元将所述WIP按所述顺序排列。
3.根据权利要求2所述的派工管理方法，其特征在于：执行所述派工操作还包括利用过滤单元保留能在当前设备上运行的WIP。
4.根据权利要求3所述的派工管理方法，其特征在于：执行所述派工操作还包括利用分组单元根据将所述W I P分为真值组和假值组。
5.根据权利要求4所述的派工管理方法，其特征在于：执行所述派工操作还包括利用批处理单元对瓶颈设备前的WIP进行批处理。
6.根据权利要求5所述的派工管理方法，其特征在于：执行所述派工操作还包括利用修饰单元隐藏运算过程中产生的中间数据。
7.根据权利要求1所述的派工管理方法，其特征在于：所述派工管理方法还包括利用监控单元监控所述派工操作的执行情况。
8.根据权利要求7所述的派工管理方法，其特征在于：利用所述监控单元对所述派工操作的执行情况进
行监控的方法包括：
利用记录单元获得设备加工在制品后第一派工清单；
利用激活判别单元确定所述第一派工清单内被激活的在制品数/在制品批数；
利用派工评估单元确定所述第一派工清单内存在被激活的在制品时，则利用标准判别单元检查被激活的在制品是否满足派工基准，若满足派工基准，则判定为派工成功；若不满足派工基准，则获得设备加工在制品前第二派工
清单，并利用激活判别单元确定所述第二派工清单内被激活的在制品数/在制品批数，当所述被激活的在制品满足派工基准，则判定为派工成功；若不满足派工基准，则判定为派工失败；
利用派工评估单元确定所述第一派工清单内不存在被激活的在制品时，则获得设备加工在制品前第二派工清单，若被禁止的在制品数/在制品批数为零，则判定所述派工无效；若被禁止的在制品数/在制品批数不为零，则判定所述派工失败。所述派工无效包括对生产线内非瓶颈设备进行派工操作。所述被禁止的在制品包含不满足至少一个派工标准的在制品。
9.一种半导体制造的派工管理系统，包括：
信息管理单元，用以存储所述设备及在制品的基本信息及扩展信息； 规则管理单元，用以存放并解析对应所述基本信息及扩展信息的派工标准及派工基准；
派工处理单元，用以根据所述信息管理单元提供的基本信息及扩展信息及所述规则管理单元提供的对应所述基本信息及扩展信息的派工标准及派工基准对确定设备的在制品进行派工操作，并提供派工清单。
10.根据权利要求9所述的派工管理系统，其特征在于：所述派工处理单元包括扩展单元和重组单元；所述扩展单元用以计算设备及在制品的扩展信息；所述重组单元用以在选取所述基本信息及扩展信息后将所述WIP按顺序排列。
11.根据权利要求10所述的派工管理系统，其特征在于：所述派工处理单元还包括过滤单元，所述过滤单元用以保留能在当前设备上运行的WIP。
12.根据权利要求11所述的派工管理系统，其特征在于：所述派工处理单元还包括分组单元，所述分组单元用以将所述WIP分为真值组和假值组。
13.根据权利要求12所述的派工管理系统，其特征在于：所述派工处理单元还包括批处理单元，所述批处理单元用以对瓶颈设备前的WIP进行批处理。
14.根据权利要求13所述的派工管理系统，其特征在于：所述派工处理单元还包括利修饰单元，所述修饰单元用以隐藏运算过程中产生的中间数据。
15.根据权利要求9所述的派工管理系统，其特征在于：所述派工管理系统还包括监控单元。
16.根据权利要求15所述的派工管理系统，其特征在于：所述监控单元包括：
记录单元，用以获得设备加工在制品的派工清单，包括第一派工清单及第二派工清单；
激活判别单元，用以确定所述派工清单内的在制品处于被激活态或非激活态；
标准判别单元，用以确定派工清单内处于被激活态的在制品满足或不满足派工标准；
派工评估单元，根据所述第一派工清单，确定派工清单内存在被激活的在制品，且满足派工标准，判定为派工成功；根据所述第一派工清单，确定派工清单内存在被激活的在制品，但不满足派工标准时，则获得设备加工在制品前第二派工清单；根据所述第二派工清单，所述被激活的在制品满足派工标准时，则判定为派工成功；根据所述第二派工清单，所述被激活的在制品不满足派工标准时，则判定为派工失败；若派工清单内不存在被激活的在制品，则获得设备加工在制品前第二派工清单；根据第二派工清单，确定被禁止的在制品数为零时，则判定所述派工无效；根据第二派工清单，确定被禁止的在制品数不为零时，则判定所述派工失败。
200610147432.0说 明 书第1/14页
半导体制造的派工管理系统及方法
技术领域
本发明涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种半导体制造的派工管理系统及方法。
背景技术
对于当前半导体工厂中广泛应用的制造执行系统(MES)，如国际商业机器(1BM)公司的SIVIEW，提供的派工管理机制无法保证准时交货率，即利用此派工管理机制实施的派工管理无法体现在制品交期、设备负荷、制程时间限制以及在制品及设备的运行状况等因素。由于制造执行系统缺乏有效的派工管理机制，制程工程师在处理需考虑上述因素的批货情况时必须以纸本记录等人工方式在设备机台上指定制程程序编号且使用手动模式处理，使得制造程序拖延，违反厂区自动化的趋势。
如何提供一种可保证准时交货率的派工管理方法成为本领域技术人员亟待解决的问题。
专利号为“ZL 200310103814.X”的中国专利中提供了一种半导体制程等待时间限制下的派工控制方法，其实施于一具有输入单元及运算单元的电子计算机及一运送系统，用以决定多个晶圆产品中哪一
种能送进制造系统。应用该方法进行派工控制的步骤包括：首先，由该输入单元接收每一种晶圆产品的相对产量及等待时间限制。接着，由该计算单元计算每一晶圆产品的多制造过程加工需求时间以及每一晶圆产品的总等待时间限制。由该计算单元根据该加工需求时间以及总等待时间限制的比较结果，决定哪一种晶圆产品可被送入该制造系统，当一晶圆产品的多制造过程加上需求时间小于总等待时间限制，批次晶圆可被送入制造系统中处理或者在既定的机台中进一步处理该晶圆产品，再依据该派工结果，将该选定的晶圆严品运送至该制造系统。 显然，应用该方法进行派工控制时，仅通过制程等待时间限制保证准时交货率，而无法根据在制品交期、设备负荷、制程时间限制以及在制品及设备的运行状况等因素的任意组合灵活地实现派工控制。
发明内容
本发明提供了一种半导体制造的派工管理方法及系统，可根据在制品交期、设备负荷、制程时间限制以及在制品及设备的运行状况等因素的任意组
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