一种新型晶体炉冷却装置的制作方法

1.本实用新型涉及晶体炉技术领域，具体为一种新型晶体炉冷却装置。

背景技术：

2.晶体炉是生产单晶硅、多晶硅、碳化硅的的制造设备，主要由炉体、加热器、计算机控制系统、设备框架、真空抽气系统等部分组成，晶体炉在进行晶体制备工艺的过程中，需要较高的温度，且在晶体制备的过程中会产生大量的热量，而现有技术的晶体炉在完成制备工艺后，晶体炉的内部难以消散，需要静置较长的时间进行冷却，从而耽误后续的晶体制备工艺。

技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种新型晶体炉冷却装置，在晶体炉进行进体制备工艺时，将整个晶体炉放置于晶体炉导热箱体中，并通过外部设备对晶体炉导热箱体进行加热，以便进行工艺的正常进行，而在制备结束后，将晶体炉导热箱体整体转移至冷却外壳中，由输送泵通过输送管和外接口向液体槽中输送冷却液，使晶体炉导热箱体的底部浸泡于冷却液中，同时水冷组件内通入循环水，且空气流通组件内的散热电机驱动散热扇叶转动，从而提高冷却效率，可以解决现有技术中的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
5.一种新型晶体炉冷却装置，包括冷却外壳、晶体炉导热箱体、封闭盖、固定套箍、固定螺栓、透风孔、水冷组件和空气流通组件，所述冷却外壳的内部中心处安装晶体炉导热箱体，所述晶体炉导热箱体的顶部安装封闭盖，所述晶体炉导热箱体的外侧中心处设有固定套箍，所述固定套箍的中心处安装固定螺栓，所述固定套箍的侧面设有透风孔，所述冷却外壳上端的左右两侧分别安装水冷组件，所述冷却外壳左右两端的中心处分别安装空气流通组件。
6.优选的，所述冷却外壳包括主外壳、液体槽、空气流通口、炉体安装槽、水冷安装槽、泵底座、输送泵、嵌插管、复位弹簧、管接口、输送管、外接口和螺纹管口，所述主外壳的内部底端设有液体槽，所述主外壳的左右两侧中心处设有空气流通口，所述主外壳的内部中心处设有炉体安装槽，所述主外壳的上端左右两侧分别设有水冷安装槽，所述主外壳的内部底端左右两侧分别设有泵底座，所述泵底座内安装输送泵，所述输送泵的底部设有嵌插管，所述嵌插管的外侧设有复位弹簧，所述复位弹簧的底部设有管接口，所述管接口上设有输送管，所述输送管的末端设有外接口，所述输送泵的外侧设有螺纹管口。
7.优选的，所述水冷组件包括水冷外壳、螺纹进水口、循环水管、卡扣底座和螺纹出水口，所述水冷外壳的左上侧设有螺纹进水口，所述水冷外壳的内部设有循环水管，所述水冷外壳的右下侧设有卡扣底座，所述卡扣底座上设有螺纹出水口。
8.优选的，所述空气流通组件包括卡扣底板、底板螺栓、内嵌套管、内接杆、电机套管、散热电机和散热扇叶，所述卡扣底板的侧面安装底板螺栓，所述卡扣底板的下侧设有内
嵌套管，所述内嵌套管的内部设有内接杆，所述内接杆的中心处设有电机套管，所述电机套管的内部安装散热电机，所述散热电机上安装散热扇叶。
9.优选的，左侧所述外接口位于液体槽的左下侧，右侧外接口位于液体槽的右上侧。
10.优选的，所述内嵌套管嵌套安装于空气流通口中。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
12.本实用新型新型晶体炉冷却装置，在晶体炉进行进体制备工艺时，将整个晶体炉放置于晶体炉导热箱体中，并通过外部设备对晶体炉导热箱体进行加热，以便进行工艺的正常进行，而在制备结束后，将晶体炉导热箱体整体转移至冷却外壳中，由输送泵通过输送管和外接口向液体槽中输送冷却液，使晶体炉导热箱体的底部浸泡于冷却液中，同时水冷组件内通入循环水，且空气流通组件内的散热电机驱动散热扇叶转动，从而提高冷却效率，有效提高了晶体炉的降温散热速率，以便后续的晶体制备工艺继续进行。
附图说明
13.图1为本实用新型的剖视结构示意图；
14.图2为本实用新型的冷却外壳的剖视结构示意图；
15.图3为本实用新型的冷却外壳的a处的放大结构示意图；
16.图4为本实用新型的水冷组件的剖视结构示意图；
17.图5为本实用新型的空气流通组件的剖视结构示意图。
18.图中：1、冷却外壳；101、主外壳；102、液体槽；103、空气流通口；104、炉体安装槽；105、水冷安装槽；106、泵底座；107、输送泵；108、嵌插管；109、复位弹簧；1010、管接口；1011、输送管；1012、外接口；1013、螺纹管口；2、晶体炉导热箱体；3、封闭盖；4、固定套箍；5、固定螺栓；6、透风孔；7、水冷组件；71、水冷外壳；72、螺纹进水口；73、循环水管；74、卡扣底座；75、螺纹出水口；8、空气流通组件；81、卡扣底板；82、底板螺栓；83、内嵌套管；84、内接杆；85、电机套管；86、散热电机；87、散热扇叶。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.请参阅图1，一种新型晶体炉冷却装置，包括冷却外壳1、晶体炉导热箱体2、封闭盖3、固定套箍4、固定螺栓5、透风孔6、水冷组件7和空气流通组件8，冷却外壳1的内部中心处安装晶体炉导热箱体2，晶体炉导热箱体2的顶部安装封闭盖3，晶体炉导热箱体2的外侧中心处设有固定套箍4，固定套箍4的中心处安装固定螺栓5，固定套箍4的侧面设有透风孔6，冷却外壳1上端的左右两侧分别安装水冷组件7，冷却外壳1左右两端的中心处分别安装空气流通组件8。
21.请参阅图2-图3，冷却外壳1包括主外壳101、液体槽102、空气流通口103、炉体安装槽104、水冷安装槽105、泵底座106、输送泵107、嵌插管108、复位弹簧109、管接口1010、输送管1011、外接口1012和螺纹管口1013，主外壳101的内部底端设有液体槽102，主外壳101的
左右两侧中心处设有空气流通口103，主外壳101的内部中心处设有炉体安装槽104，主外壳101的上端左右两侧分别设有水冷安装槽105，主外壳101的内部底端左右两侧分别设有泵底座106，泵底座106内安装输送泵107，输送泵107的底部设有嵌插管108，嵌插管108的外侧设有复位弹簧109，复位弹簧109的底部设有管接口1010，管接口1010上设有输送管1011，输送管1011的末端设有外接口1012，左侧外接口1012位于液体槽102的左下侧，右侧外接口1012位于液体槽102的右上侧，输送泵107的外侧设有螺纹管口1013。
22.请参阅图4，水冷组件7包括水冷外壳71、螺纹进水口72、循环水管73、卡扣底座74和螺纹出水口75，水冷外壳71的左上侧设有螺纹进水口72，水冷外壳71的内部设有循环水管73，水冷外壳71的右下侧设有卡扣底座74，卡扣底座74上设有螺纹出水口75。
23.请参阅图5，空气流通组件8包括卡扣底板81、底板螺栓82、内嵌套管83、内接杆84、电机套管85、散热电机86和散热扇叶87，卡扣底板81的侧面安装底板螺栓82，卡扣底板81的下侧设有内嵌套管83，内嵌套管83嵌套安装于空气流通口103中，内嵌套管83的内部设有内接杆84，内接杆84的中心处设有电机套管85，电机套管85的内部安装散热电机86，散热电机86上安装散热扇叶87。
24.本实用新型与现有技术的区别：现有技术的晶体炉在完成制备工艺后，晶体炉的内部难以消散，需要静置较长的时间进行冷却，从而耽误后续的晶体制备工艺，本实用新型新型晶体炉冷却装置，在晶体炉进行进体制备工艺时，将整个晶体炉放置于晶体炉导热箱体2中，并通过外部设备对晶体炉导热箱体2进行加热，以便进行工艺的正常进行，而在制备结束后，将晶体炉导热箱体2整体转移至冷却外壳1中，由输送泵107通过输送管1011和外接口1012向液体槽102中输送冷却液，使晶体炉导热箱体2的底部浸泡于冷却液中，同时水冷组件7内通入循环水，且空气流通组件8内的散热电机86驱动散热扇叶87转动，从而提高冷却效率。
25.综上所述：本实用新型新型晶体炉冷却装置，在晶体炉进行进体制备工艺时，将整个晶体炉放置于晶体炉导热箱体2中，并通过外部设备对晶体炉导热箱体2进行加热，以便进行工艺的正常进行，而在制备结束后，将晶体炉导热箱体2整体转移至冷却外壳1中，由输送泵107通过输送管1011和外接口1012向液体槽102中输送冷却液，使晶体炉导热箱体2的底部浸泡于冷却液中，同时水冷组件7内通入循环水，且空气流通组件8内的散热电机86驱动散热扇叶87转动，从而提高冷却效率，本实用新型结构完整合理，有效提高了晶体炉的降温散热速率，以便后续的晶体制备工艺继续进行。
26.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
27.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

1.一种新型晶体炉冷却装置，包括冷却外壳(1)、晶体炉导热箱体(2)、封闭盖(3)、固定套箍(4)、固定螺栓(5)、透风孔(6)、水冷组件(7)和空气流通组件(8)，其特征在于：所述冷却外壳(1)的内部中心处安装晶体炉导热箱体(2)，所述晶体炉导热箱体(2)的顶部安装封闭盖(3)，所述晶体炉导热箱体(2)的外侧中心处设有固定套箍(4)，所述固定套箍(4)的中心处安装固定螺栓(5)，所述固定套箍(4)的侧面设有透风孔(6)，所述冷却外壳(1)上端的左右两侧分别安装水冷组件(7)，所述冷却外壳(1)左右两端的中心处分别安装空气流通组件(8)。2.如权利要求1所述的一种新型晶体炉冷却装置，其特征在于：所述冷却外壳(1)包括主外壳(101)、液体槽(102)、空气流通口(103)、炉体安装槽(104)、水冷安装槽(105)、泵底座(106)、输送泵(107)、嵌插管(108)、复位弹簧(109)、管接口(1010)、输送管(1011)、外接口(1012)和螺纹管口(1013)，所述主外壳(101)的内部底端设有液体槽(102)，所述主外壳(101)的左右两侧中心处设有空气流通口(103)，所述主外壳(101)的内部中心处设有炉体安装槽(104)，所述主外壳(101)的上端左右两侧分别设有水冷安装槽(105)，所述主外壳(101)的内部底端左右两侧分别设有泵底座(106)，所述泵底座(106)内安装输送泵(107)，所述输送泵(107)的底部设有嵌插管(108)，所述嵌插管(108)的外侧设有复位弹簧(109)，所述复位弹簧(109)的底部设有管接口(1010)，所述管接口(1010)上设有输送管(1011)，所述输送管(1011)的末端设有外接口(1012)，所述输送泵(107)的外侧设有螺纹管口(1013)。3.如权利要求1所述的一种新型晶体炉冷却装置，其特征在于：所述水冷组件(7)包括水冷外壳(71)、螺纹进水口(72)、循环水管(73)、卡扣底座(74)和螺纹出水口(75)，所述水冷外壳(71)的左上侧设有螺纹进水口(72)，所述水冷外壳(71)的内部设有循环水管(73)，所述水冷外壳(71)的右下侧设有卡扣底座(74)，所述卡扣底座(74)上设有螺纹出水口(75)。4.如权利要求2所述的一种新型晶体炉冷却装置，其特征在于：所述空气流通组件(8)包括卡扣底板(81)、底板螺栓(82)、内嵌套管(83)、内接杆(84)、电机套管(85)、散热电机(86)和散热扇叶(87)，所述卡扣底板(81)的侧面安装底板螺栓(82)，所述卡扣底板(81)的下侧设有内嵌套管(83)，所述内嵌套管(83)的内部设有内接杆(84)，所述内接杆(84)的中心处设有电机套管(85)，所述电机套管(85)的内部安装散热电机(86)，所述散热电机(86)上安装散热扇叶(87)。5.如权利要求2所述的一种新型晶体炉冷却装置，其特征在于：左侧所述外接口(1012)位于液体槽(102)的左下侧，右侧外接口(1012)位于液体槽(102)的右上侧。6.如权利要求4所述的一种新型晶体炉冷却装置，其特征在于：所述内嵌套管(83)嵌套安装于空气流通口(103)中。

技术总结

本实用新型公开了一种新型晶体炉冷却装置，包括冷却外壳、晶体炉导热箱体、封闭盖、固定套箍、固定螺栓、透风孔、水冷组件和空气流通组件，在晶体炉进行进体制备工艺时，将整个晶体炉放置于晶体炉导热箱体中，并通过外部设备对晶体炉导热箱体进行加热，以便进行工艺的正常进行，而在制备结束后，将晶体炉导热箱体整体转移至冷却外壳中，由输送泵通过输送管和外接口向液体槽中输送冷却液，使晶体炉导热箱体的底部浸泡于冷却液中，同时水冷组件内通入循环水，且空气流通组件内的散热电机驱动散热扇叶转动，有效提高了晶体炉的降温散热速率，以便后续的晶体制备工艺继续进行。便后续的晶体制备工艺继续进行。便后续的晶体制备工艺继续进行。