(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201920385539.1
(22)申请日 2019.03.25
(73)专利权人 昆山基侑电子科技有限公司
地址 215000 江苏省苏州市昆山市周市镇
黄浦江北路333号A-1厂房
(72)发明人 王静强 黄锡钦
(51)Int.Cl.
H05B 3/78(2006.01)
(54)实用新型名称用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器(57)摘要本实用新型提供了一种包括包括外壳、内壳、盘管和加热线圈的用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器，所述内壳安装于外壳中，两者之间填充有保温棉；所述盘管的螺旋管部位于所述内壳中，两根入液管位于所述外壳的外部，所述加热线圈的加热丝位于所述内壳中，电连接部位于所述外壳的外部，盘管延长了化学品被加热的路径以及加热器的同时加热量，提高了加热器的加热速度；所述外壳、内壳、盘管均由316等级的不锈钢制成，所述盘管的内管壁涂布有PFA 涂层。本实用新型中的外壳、内壳和盘管均由316等级的不锈钢焊接制成，盘管内壁涂布PFA涂层，导热性能佳，能实现化学品的快速加热，保证了 化学品的洁净度。权利要求书1页 说明书2页 附图2页CN 209930536 U 2020.01.10
C N 209930536
U
权 利 要 求 书1/1页CN 209930536 U
1.用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器，其特征在于，包括外壳、内壳、盘管和加热线圈；所述内壳安装于外壳中，两者之间填充有保温棉；所述盘管的螺旋管部位于所述内壳中，两根入液管位于所述外壳的外部；所述加热线圈的加热丝位于所述内壳中，电连接部位于所述外壳的外部；所述外壳、内壳、盘管均由316等级的不锈钢制成，所述盘管的内管壁涂布有PFA涂层。
2.根据权利要求1所述的用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器，其特征在于，所述外壳包括壳体和壳盖，所述加热线圈的电连接端固定于所述壳盖中。
3.根据权利要求2所述的用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器，其特征在于，所述内壳中设置有用于支撑所述盘管的支撑柱。
4.根据权利要求3所述的用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器，其特征在于，所述支撑柱的两端均设置有螺牙孔，支撑柱的一端抵接在所述内壳底部并以螺栓固定，另一端抵接在所述壳盖上并以螺栓固定。
5.根据权利要求1所述的用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器，其特征在于，所述内壳的底部设置有螺柱，所述外壳的底部对应所述螺柱处设置有通孔，以一螺栓锁进螺柱中将所述内壳与外壳固连。
6.根据权利要求2所述的用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器，其特征在于，所述盘管的两根入液管均安装于所述壳盖中。
7.根据权利要求6所述的用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器，其特征在于，所述壳盖对应入液管处设置有密封环，所述入液管从所述密封环中穿过。
中长波加热器
2
豫公网安备41160202000603
站长QQ:729038198
关于我们
投诉建议