一种实验室光刻热板降温装置的制作方法

1.本实用新型涉及光刻技术领域，具体地说是一种实验室光刻热板降温装置。

背景技术：

2.光刻工艺是半导体芯片制造加工工艺的重要组成部分。匀胶和烘烤是光刻工艺中不可缺少的一道工序，为增加胶层与硅片表面粘附能力，提高在接触式曝光中胶层与掩模版接触时的耐磨性能及稳定胶层的感光灵敏度，通常采用烘箱或热板等加热设备对光刻胶进行干燥。由于热板易于达到在胶的厚度方向快速均匀烘干等要求，目前越来越多地采用热板加热的方式。热板的表面温度均匀性、温度控制精度、温度上升速度等是热板的主要性能指标。实际操作过程中不同产品对温度的要求不同，热板需要频繁的升高或降低温度以满足工艺需求。
3.通常实验室加热设备中的热板降温是通过自然冷却的方式来进行，完成光刻胶的烘干流程后热板直接接触外界空气带走表面的热量进行缓慢的降温，这种方式具有降温速度慢的特点，并且还需要耗费大量的时间，在降温过程中还可以采用风机辅助降温，但是无论是自然冷却还是风机降温，热板中热量向外传导的速度都比较缓慢。

技术实现要素：

4.针对现有技术中存在实验室加热设备中的热板对光刻胶烘干加热完毕后热量向外传导速度缓慢的问题，本实用新型提供一种实验室光刻热板降温装置，可以避免上述问题的发生。
5.本实用新型解决其技术问题所采取的技术方案是：
6.一种实验室光刻热板降温装置，包括加热设备，加热设备包括热板，热板上放置有铝板，铝板上设置有若干鳍片，相邻两个鳍片之间形成有对流区，加热设备的一侧设置有安装架，安装架上设置有风机，风机正对对流区设置。
7.本装置利用热传导将热板热量转移至铝板以及鳍片进而传递到空气中，配合风机达到快速降温的目的，热板中热量向外传导的速度显著提高。
8.在一些实施例中，所述鳍片等距且垂直铝板设置。
9.上述方案中鳍片垂直铝板设置热量对流散失降温效果好。
10.在一些实施例中，所述鳍片倾斜且等距设置在铝板上，鳍片与铝板水平面之间的夹角为60-70度。
11.上述方案中鳍片倾斜铝板设置可以提高对流风与鳍片的接触效果，带走更多的热量降温效果更佳。
12.在一些实施例中，所述鳍片的主体形状为s型且等距设置在铝板上。
13.上述方案中鳍片采用s型设置可以在倾斜设置的基础上进一步提高与对流风的接触面积，进一步提高降温效果。
14.在一些实施例中，所述加热设备上设置有固定板和滑槽，滑槽内滑动配合有活动
板，活动板上设置有固定螺栓，固定螺栓穿过活动板与加热设备螺纹连接，固定板和活动板均与铝板相配合。
15.上述方案中为了避免铝板在降温过程中受到碰撞发生偏移影响热板降温效果，设置固定板配合活动板对铝板进行位置限定，保证对流区正对风机进行对流降温。
16.在一些实施例中，所述加热设备上设置有固定台，固定台上设置有若干流通孔以及转动连接有翻盖，流通孔正对对流区设置。
17.上述方案中利用固定台配合若干流通孔可以实现风的流通。
18.在一些实施例中，相邻两个所述鳍片之间的间距为3-8mm。
19.在一些实施例中，所述铝板的厚度为1-2cm。
20.与现有技术相比，本实用新型的有益效果:
21.1、本装置利用热传导将热板热量转移至铝板以及鳍片上进而传递到空气中，通过设计鳍片安装实施例可以提高对流风与鳍片的对流接触效果，使得对流风经过对流区后可以带走鳍片上更多的热量，配合风机达到快速降温的目的，热板中热量向外传导的速度显著提高，从而降低时间成本，相比于自然降温方式使用本装置大幅度缩短降温时间，加快了热板热量向外散失的速度。
22.2、本装置利用固定板配合活动板可以将铝板的位置进行固定，避免铝板在降温过程中发生碰撞产生偏移从而影响热板的降温效果。
附图说明
23.图1为本实用新型第一实施例铝板以及鳍片连接示意图；
24.图2为本实用新型第二实施例铝板以及鳍片连接示意图；
25.图3为本实用新型第三实施例铝板以及鳍片连接示意图；
26.图4为现有光刻加热设备示意图；
27.图5为本实用新型中的固定板以及活动板配合示意图；
28.图6为本实用新型中的风机安装示意图；
29.附图标记：
30.1、铝板；11、鳍片；12、对流区；2、加热设备；201、翻盖；21、热板；22、固定板；23、活动板；24、滑槽；25、固定螺栓；26、固定台；27、流通孔；3、安装架；31、风机。
具体实施方式
31.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本实用新型及其应用或使用的任何限制。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
32.如图1、图4和图6所示，一种实验室光刻热板降温装置，包括加热设备2，加热设备2包括热板21，光刻热板可以是接触式或接近式热板，可加热温度区间为20-400℃，加热设备2属于现有技术其加热原理不做叙述，将光刻胶放在热板21上即可完成烘干流程，烘干流程后需要对热板21进行降温工序，热板21上放置有铝板1，铝板1上设置有若干鳍片11，相邻两
个鳍片11之间形成有对流区12，加热设备2的一侧设置有安装架3，安装架3上设置有风机31，风机31正对对流区12设置；本装置利用热传导原理将热板21热量传导转移至铝板1以及鳍片11上进而传递到空气中，配合风机31达到快速降温的目的。
33.实施例一：
34.为了保证热板21热量的有效传导散失降温，方案的细化，如图1所示，鳍片11等距且垂直铝板1设置；鳍片11垂直铝板1设置；风机31工作后对流风不断通过对流区12将热量带走，实现降温。
35.实施例二：
36.为了提高鳍片11与对流风的接触效果，方案的进一步优化，如图2所示，鳍片11倾斜且等距设置在铝板1上，鳍片11与铝板1水平面之间的夹角为60-70度；鳍片11倾斜铝板1设置可以提高对流风与鳍片11的接触效果，带走更多的热量降温效果更佳。
37.实施例三：
38.在鳍片11倾斜设置的基础上进一步改进其形状保证鳍片11与对流风有更多的接触面积以实现更佳的降温效果，方案的进一步优化，如图3所示，鳍片11的主体形状为s型且等距设置在铝板1上；s型设置可以在倾斜设置的基础上进一步提高与对流风的接触面积，进一步提高降温效果。
39.为了避免铝板1在降温过程中受到碰撞发生偏移影响热板21的传导降温效果，方案的进一步优化，如图5所示，加热设备2上设置有固定板22和滑槽24，滑槽24内滑动配合有活动板23，活动板23上设置有固定螺栓25，固定螺栓25穿过活动板23与加热设备2螺纹连接，固定板22和活动板23均与铝板1相配合，设置固定板22配合活动板23对铝板1进行位置限定，保证对流区12正对风机31进行对流降温。
40.为了保证风机31对对流区12吹风降温的过程中空气得以顺利流通，方案的进一步优化，如图5和图6所示，加热设备2上设置有固定台26，固定台26上设置有若干流通孔27以及转动连接有翻盖201，流通孔27正对对流区12设置，若干流通孔27可以实现风的流通。
41.本实用新型中的底板以及鳍片选取铝型材，铝具有优良的导热性能，铝板横截面积尺寸选取热板面积占比70-90％大小，型材的表面积越大，散热性能越好。铝板厚度在1-2cm之间，优选为1.5cm，防止局部热量过高。鳍片间隔应在3-8mm范围，
⑴
间隔变小，自然对流减少，降低散热。
⑵
间隔变大，表面积减小。鳍片厚度为2-5mm，鳍片高度为4-6cm,
①
鳍片变薄，传热到顶端能力变弱。
②
鳍片变厚，鳍片数目减少，表面积减小。
③
鳍片增高，传热到顶端能力变弱。
④
鳍片变短，表面积减小。
42.最后应当说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对其限制；尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细的说明，所属领域的普通技术人员应当理解：依然可以对本实用新型的具体实施方式进行修改或者对部分技术特征进行等同替换；而不脱离本实用新型技术方案的精神，其均应涵盖在本实用新型请求保护的技术方案范围当中。

技术特征：

1.一种实验室光刻热板降温装置，包括加热设备(2)，加热设备(2)包括热板(21)，其特征在于，热板(21)上放置有铝板(1)，铝板(1)上设置有若干鳍片(11)，相邻两个鳍片(11)之间形成有对流区(12)，加热设备(2)的一侧设置有安装架(3)，安装架(3)上设置有风机(31)，风机(31)正对对流区(12)设置。2.根据权利要求1所述的一种实验室光刻热板降温装置，其特征在于，所述鳍片(11)等距且垂直铝板(1)设置。3.根据权利要求1所述的一种实验室光刻热板降温装置，其特征在于，所述鳍片(11)倾斜且等距设置在铝板(1)上，鳍片(11)与铝板(1)水平面之间的夹角为60-70度。4.根据权利要求1所述的一种实验室光刻热板降温装置，其特征在于，所述鳍片(11)的主体形状为s型且等距设置在铝板(1)上。5.根据权利要求1所述的一种实验室光刻热板降温装置，其特征在于，所述加热设备(2)上设置有固定板(22)和滑槽(24)，滑槽(24)内滑动配合有活动板(23)，活动板(23)上设置有固定螺栓(25)，固定螺栓(25)穿过活动板(23)与加热设备(2)螺纹连接，固定板(22)和活动板(23)均与铝板(1)相配合。6.根据权利要求1所述的一种实验室光刻热板降温装置，其特征在于，所述加热设备(2)上设置有固定台(26)，固定台(26)上设置有若干流通孔(27)以及转动连接有翻盖(201)，流通孔(27)正对对流区(12)设置。7.根据权利要求1所述的一种实验室光刻热板降温装置，其特征在于，相邻两个所述鳍片(11)之间的间距为3-8mm。8.根据权利要求1所述的一种实验室光刻热板降温装置，其特征在于，所述铝板(1)的厚度为1-2cm。

技术总结

本实用新型提出了一种实验室光刻热板降温装置，涉及光刻技术领域，包括加热设备，加热设备包括热板，热板上放置有铝板，铝板上设置有若干鳍片，相邻两个鳍片之间形成有对流区，加热设备的一侧设置有安装架，安装架上设置有风机，风机正对对流区设置；本装置利用热传导将热板热量转移至铝板以及鳍片进而传递到空气中，配合风机达到快速降温的目的，从而降低时间成本，相比于自然降温方式使用本装置大幅度缩短降温时间。度缩短降温时间。度缩短降温时间。