VOC污染控制方案

难点分析

（1 ） LTPS工艺产生的VOC污染物

LTPS工艺的FAB生产洁净车间的湿刻、HF清洗、显影、光刻、剥离、掺杂等工序产生的酸（、二氧化硫等）、碱（氨气等）、重金属（硼等）、有机物等化学污染物。

（2）VOC污染物对工艺的影响

酸：使曝光机镜头不透明，造成曝光量变化。腐蚀设备，造成环境中的颗粒污染。

碱：使曝光机镜头不透明，造成曝光量变化。造成显影缺陷。

有机物：沉积在产品的表面，成膜不均匀，降低绝缘电阻值。有机物在产品表面形成碳化硅

掺杂类：影响掺杂的准确性，影响电压漂移。

解决措施

洁净室材料选用不产生或者低VOC污染的材质；

1）环氧地坪、华夫板盖板、彩钢板、FFU龙骨、各类吊挂系统的型钢等其材质及其表面处理应不产生含VOC的污染物；

特别是环氧应选用不含硅等化学污染物的材质，且有相关权威部门检测的报告证明书。本项目环氧自流坪、华夫板环氧涂装、柱面的环氧涂装选用符合要求的环氧材料。

2）污染区高效过滤器的滤芯材质应选用PTFE ，防止选用普通材质的滤芯在高湿或环境下产生重金属硼的污染；

青冈栎3）特殊区域密封胶选用中性的低硅胶；

选用加装化学过滤器有效去除产生的化学污染物；

由于生产车间内的工艺设备、建筑材料、生产人员、室外新风等不可避免的产生一些化学污染物，故必须在VOC控制区域（重点区域如光刻区、STK区、OHS等）进行加装化学过滤器进行有效处理；

1）根据化学污染物浓度的控制要求选用化学过滤器，选用化学过滤器时应注意：选用的化学过滤器应对VOC具有针对性的去除效率，在实际使用中不会产生二次污染，

在使用前应出厂的检验报告并有预估的寿命或更换周期。其数量应根据控制浓度要求、去除效率、寿命周期等技术要求进行计算。

2）加装化学过滤器后，吊顶的载荷会增大，应对钢构吊挂系统进行载荷计算以确保结构的安全；

MAU的新风处理应满足对VOC的控制要求；

甘汞电极本项目的MAU加设了水洗的功能段和预留了加设化学过滤器的预留段；

由于室外环境中汽车尾气、工厂对大气的燃烧排放物等，易致使空气中含有二氧化硫等化学污染物，MAU新风的取风位置也会对新风的化学污染物的浓度产生影响。

低voc

（1）水洗功能段去除溶于水的化学污染物；

（2）不溶于水的化学污染物则通过加装化学过滤器进行过滤处理；

便携式存储VOC控制区域采用独立回风，隔墙气密性保证严实；

如STK区、OHS、光刻区等重要区域必须做好气密，各独立封闭区域必须

密封严实，避免窜气、泄漏造成VOC的污染，采用中性低硅胶；

1）金属壁板板缝拼装采用中字铝，板缝和结合部位应进行双面打胶，且密封胶HDPE多孔加筋缠绕波纹管

应密封饱满、严实；

2）下夹层DCC安装后，DCC形成的隔墙必须与华夫板，柱，穿越管线密封严

实，保证无泄漏；

3）生产区独立隔墙安装工序采用先安装隔墙板，再安装吊顶和地板的方式，这

样不但可以保证隔墙的整体性强度，而且很好的避免了吊顶龙骨与吊顶内隔墙板间隙（约70mm）的密封不严密问题。

4）下夹层，上夹层工艺管线和空调、排烟风管等机电管线穿越独立隔墙的位

制作候车亭置，提前做好空间管理，确定标高。隔墙材料订购和壁板安装时做好洞预留及洞加

固，改善后期机电管线施工直接在隔断上开洞，由于管线的自重及振动造成隔墙的气

密性受到较大影响。

本文发布于:2024-09-23 23:32:38，感谢您对本站的认可！

标签：化学过滤器选用污染物

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