存储器晶圆测试系统及方法与流程

1.本发明涉及晶圆测试技术领域，尤其涉及一种存储器晶圆测试系统及方法。

背景技术：

2.为了保证存储器的产品性能，在出货前要经过严格的性能测试。性能测试通过测试机自动实现，测试机一般包括主处理器和测试装置。现有的测试流程一般为：主处理器控制测试装置执行第一测试项目，执行完后，测试装置将第一测试项目的不良位元信息反馈给主处理器，主处理器分析第一测试项目的不良位元信息，获取待测存储器对应该测试项目的不良位元数量(fail bit count，fbc)。然后主处理器控制测试装置执行第二测试项目，执行完后，测试装置将第二测试项目的不良位元信息反馈给主处理器，主处理器分析第二测试项目的不良位元信息，获取待测存储器对应该测试项目的不良位元数量。以此类推，后续的各测试项目均按照上述方法依次执行，直至执行完全部测试项目。
3.从上述流程可以看出，现有的存储器晶圆测试方法采用的是一种顺序执行的测试流程，在前后两个测试项目之间主处理器还需要额外消耗时间去分析不良位元信息，获取待测存储器的不良位元数量，严重影响测试效率。

技术实现要素：

4.为解决上述问题，本发明提供了一种存储器晶圆测试系统及方法，能够减少整体测试时间，提高测试效率。
5.第一方面，本发明提供一种存储器晶圆测试系统，所述系统包括：主处理器、第一存储器、第二存储器以及冗余处理器，其中，
6.所述主处理器，用于控制测试装置对待测存储器晶圆依次执行在先的一个测试类型的各测试项目，每次执行完一个测试项目，将待测存储器晶圆对应该测试项目的不良位元信息保存到第一存储器，并将所述不良位元信息从第一存储器拷贝到第二存储器；
7.所述第一存储器，用于存储待测存储器晶圆对应每个测试项目的不良位元信息；
8.所述第二存储器，用于存储从第一存储器拷贝的不良位元信息；
9.所述冗余处理器，用于根据第二存储器中的不良位元信息依次获取待测存储器晶圆对应每个测试项目的不良位元数量。
10.可选地，所述冗余处理器，用于根据在先的一个测试类型的各测试项目对应的总的不良位元数量，执行冗余分析，得到冗余分析结果。
11.可选地，所述主处理器，用于根据所述冗余分析结果控制测试装置是否执行下一个测试类型的各测试项目，若所述冗余分析结果为通过在先的一个测试类型的测试，则控制测试装置执行下一个测试类型的各测试项目，否则结束测试。
12.可选地，所述第一存储器和所述第二存储器为非易失性存储器。
13.可选地，所述待测存储器晶圆为dram、ddr2、ddr3和ddr4中的一种。
14.第二方面，本发明提供一种自动测试机，包括如第一方面提供的存储器晶圆测试
系统。
15.第三方面，本发明提供一种存储器晶圆测试方法，适用于自动测试机的主处理器，所述自动测试机包括主处理器、第一存储器、第二存储器以及冗余处理器，所述方法包括：
16.控制测试装置对待测存储器晶圆依次执行在先的一个测试类型的各测试项目，每次执行完一个测试项目，将待测存储器晶圆对应该测试项目的不良位元信息保存到第一存储器，并将所述不良位元信息从第一存储器拷贝到第二存储器，以便冗余处理器根据第二存储器中的对应每个测试项目的不良位元信息依次获取待测存储器晶圆对应每个测试项目的不良位元数量，并根据在先的一个测试类型的各测试项目的总的不良位元数量执行冗余分析，得到冗余分析结果；
17.根据冗余分析结果控制测试装置是否执行下一个测试类型的各测试项目，若所述冗余分析结果为通过在先的一个测试类型的测试，则控制测试装置执行下一个测试类型的各测试项目，否则结束测试。
18.本发明提供的存储器晶圆测试系统及方法，主处理器只用于控制测试装置执行各测试项目，将每个测试项目对应的不良位元信息从第一存储器拷贝到第二存储器，冗余处理器从第二存储器读取不良位元信息，进而获取不良位元数，因此主处理器不再消耗时间去根据不良位元信息获取不良位元数，只需要消耗一个数据拷贝时间，而且冗余处理器获取不良位元数与主处理器的控制测试流程是并行的，可减少整体测试时间。
附图说明
19.图1为本发明一实施例提供的一种存储器晶圆测试系统的系统框图；
20.图2为本发明一实施例提供的一种存储器晶圆测试方法的主要步骤示意图。
具体实施方式
21.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
22.已知的，以dram为例，dram的测试流程包括了多个测试项目，例如开路/短路测试、直流电性测试等。这些测试项目是有前后顺序的，对待测存储器晶圆按照测试项目的前后顺序依次执行各测试项目。
23.测试项目的执行一般是由测试机来实现，需要的测试时间与测试机的主处理器消耗的时间有关。
24.为了提高存储器晶圆测试的效率，本发明实施例提供一种存储器晶圆测试系统，如图1所示，该系统包括：主处理器101、第一存储器102、第二存储器103以及冗余处理器104，其中，
25.主处理器101用于控制测试装置对待测存储器晶圆依次执行在先的一个测试类型的各测试项目，每次执行完一个测试项目，将待测存储器晶圆对应该测试项目的不良位元信息保存到第一存储器，并将不良位元信息从第一存储器拷贝到第二存储器；
26.第一存储器102用于存储待测存储器晶圆对应每个测试项目的不良位元信息；
27.第二存储器103用于存储从第一存储器拷贝的不良位元信息；
28.冗余处理器104用于根据第二存储器103中的不良位元信息依次获取待测存储器晶圆对应每个测试项目的不良位元数量。
29.其中，冗余处理器104获取的不良位元数量(fbc)会保存在第一存储器102和第二存储器103，主处理器101和冗余处理器104都可以调用。第一存储器102和第二存储器103均为非易失性存储器。本发明实施例中的待测存储器晶圆可以为dram、ddr2、ddr3和ddr4中的任意一种。
30.本发明实施例提供的测试系统，主处理器只用于控制测试装置执行各测试项目，将每个测试项目对应的不良位元信息从第一存储器拷贝到第二存储器，冗余处理器从第二存储器读取不良位元信息，进而获取不良位元数，因此主处理器不再消耗时间去根据不良位元信息获取不良位元数，只需要消耗一个数据拷贝时间，而且冗余处理器获取不良位元数与主处理器的控制测试流程是并行的，可减少整体测试时间。
31.一般测试时，全部测试项目可以划分为多个测试类型，每个测试类型包括多个测试项目，在执行完在先的一个测试类型的全部测试项目后，冗余处理器104还用于根据在先的一个测试类型的各测试项目对应的总的不良位元数量，执行冗余分析(redundancy analysis，ra)，得到冗余分析结果。
32.进一步地，冗余分析结果直接决定是否还继续执行下一个测试类型的各测试项目。主处理器101用于根据冗余分析结果控制测试装置是否执行下一个测试类型的各测试项目，若冗余分析结果为通过在先的一个测试类型的测试，则主处理器101控制测试装置执行下一个测试类型的各测试项目，否则结束测试。
33.另一方面，本发明实施例提供一种自动测试机，该自动测试机包括上述实施例的存储器晶圆测试系统。该测试机可以快速实现存储器晶圆测试流程。
34.另一方面，本发明实施例提供一种存储器晶圆测试方法，适用于自动测试机的主处理器，所述自动测试机包括主处理器、第一存储器、第二存储器以及冗余处理器，该方法包括：
35.控制测试装置对待测存储器晶圆依次执行在先的一个测试类型的各测试项目，每次执行完一个测试项目，将待测存储器晶圆对应该测试项目的不良位元信息保存到第一存储器，并将所述不良位元信息从第一存储器拷贝到第二存储器，以便冗余处理器根据第二存储器中的对应每个测试项目的不良位元信息依次获取待测存储器晶圆对应每个测试项目的不良位元数量，并根据在先的一个测试类型的各测试项目的总的不良位元数量执行冗余分析，得到冗余分析结果；
36.根据冗余分析结果控制测试装置是否执行下一个测试类型的各测试项目，若所述冗余分析结果为通过在先的一个测试类型的测试，则控制测试装置执行下一个测试类型的各测试项目，否则结束测试。
37.为了便于更好地理解技术方案，参考图2，图2示出了测试阶段主处理器和冗余处理器的主要动作。block#1，block#2，block#3，表示不同的测试类型，各自包括5个测试项目。
38.本发明实施例提供的测试方法详细叙述如下：
39.开始存储器晶圆测试流程，主处理器控制测试装置对待测存储器晶圆执行测试项
目1，在测试项目1结束后，将待测存储器晶圆对应测试项目1的不良位元信息保存到第一存储器，并拷贝到第二存储器。
40.然后主处理器控制测试装置对待测存储器晶圆执行测试项目2，在测试项目2结束后，将测试项目2的不良位元信息保存到第一存储器，并拷贝到第二存储器。
41.依此类推，主处理器控制测试装置对待测存储器晶圆执行测试项目3、4和5，每次执行完一个测试项目，将该测试项目的不良位元信息保存到第一存储器，并拷贝到第二存储器。
42.对应上述测试流程，冗余处理器先根据第二存储器中的测试项目1的不良位元信息获取测试项目1的不良位元数，再根据第二存储器中的测试项目2的不良位元信息获取测试项目2的不良位元数，并依次获取测试项目3、4和5的不良位元数。block#1的5个测试项目都结束后，冗余处理器根据block#1的5个测试项目的总的不良位元数执行冗余分析，得到冗余分析结果。因为存储器在设计的时候，一般都会包含备用列和备用行，在进行冗余分析时，会判断待测存储器是否还有多余的备用列和备用行可使用，如果有，则判定待测存储器通过(pass)该测试类型，否则判定为不良(fail)。如果全部的测试项目执行完还有多余的备用列和备用行可使用，那么存储器判定为通过(pass)，反之则判定为不良(fail)。
43.当block#1的冗余分析结果为pass时，主处理器控制测试装置对待测存储器晶圆执行block#2的测试项目6-10，每次执行完一个测试项目，将该测试项目的不良位元信息保存到第一存储器，并拷贝到第二存储器。冗余处理器根据每个测试项目的不良位元信息获取不良位元数，block#2的5个测试项目都结束后，冗余处理器根据block#2的5个测试项目的总的不良位元数执行冗余分析，得到冗余分析结果。
44.当block#2的冗余分析结果为pass时，主处理器控制测试装置对待测存储器晶圆执行block#3的测试项目11-15，每次执行完一个测试项目，将该测试项目的不良位元信息保存到第一存储器，并拷贝到第二存储器。冗余处理器根据每个测试项目的不良位元信息获取不良位元数，block#3的5个测试项目都结束后，冗余处理器根据block#3的5个测试项目的总的不良位元数执行冗余分析，得到冗余分析结果。
45.若冗余分析结果为pass，则待测存储器晶圆合格，否则晶圆不合格。
46.本发明实施例提供的一种存储器晶圆测试方法，主处理器只用于控制测试装置执行各测试项目，不再去获取不良位元数，冗余处理器根据已经得到的不良位元信息获取不良位元数，这样的话，主处理器不再消耗时间去根据不良位元信息获取不良位元数，只需要消耗一个数据拷贝时间，而且冗余处理器获取不良位元数与主处理器的控制测试流程是并行的，可减少整体测试时间。
47.以上所描述的系统实施例仅仅是示意性的，其中所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。本领域普通技术人员在不付出创造性的劳动的情况下，即可以理解并实施。
48.通过以上的实施方式的描述，本领域的技术人员可以清楚地了解到各实施方式可借助软件加必需的通用硬件平台的方式来实现，当然也可以通过硬件。基于这样的理解，上述技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分可以以软件产品的形式体现出来，该
计算机软件产品可以存储在计算机可读存储介质中，如rom/ram、磁碟、光盘等，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行各个实施例或者实施例的某些部分所述的方法。
49.最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

技术特征：

1.一种存储器晶圆测试系统，其特征在于，所述系统包括：主处理器、第一存储器、第二存储器以及冗余处理器，其中，所述主处理器，用于控制测试装置对待测存储器晶圆依次执行在先的一个测试类型的各测试项目，每次执行完一个测试项目，将待测存储器晶圆对应该测试项目的不良位元信息保存到第一存储器，并将所述不良位元信息从第一存储器拷贝到第二存储器；所述第一存储器，用于存储待测存储器晶圆对应每个测试项目的不良位元信息；所述第二存储器，用于存储从第一存储器拷贝的不良位元信息；所述冗余处理器，用于根据第二存储器中的不良位元信息依次获取待测存储器晶圆对应每个测试项目的不良位元数量。2.根据权利要求1所述的存储器晶圆测试系统，其特征在于，所述冗余处理器，用于根据在先的一个测试类型的各测试项目对应的总的不良位元数量，执行冗余分析，得到冗余分析结果。3.根据权利要求2所述的存储器晶圆测试系统，其特征在于，所述主处理器，用于根据所述冗余分析结果控制测试装置是否执行下一个测试类型的各测试项目，若所述冗余分析结果为通过在先的一个测试类型的测试，则控制测试装置执行下一个测试类型的各测试项目，否则结束测试。4.根据权利要求1所述的存储器晶圆测试系统，其特征在于，所述第一存储器和所述第二存储器为非易失性存储器。5.根据权利要求1所述的存储器晶圆测试系统，其特征在于，所述待测存储器晶圆为dram、ddr2、ddr3和ddr4中的一种。6.一种自动测试机，其特征在于，包括如权利要求1至5中任一项所述的存储器晶圆测试系统。7.一种存储器晶圆测试方法，适用于自动测试机的主处理器，所述自动测试机包括主处理器、第一存储器、第二存储器以及冗余处理器，其特征在于，所述方法包括：控制测试装置对待测存储器晶圆依次执行在先的一个测试类型的各测试项目，每次执行完一个测试项目，将待测存储器晶圆对应该测试项目的不良位元信息保存到第一存储器，并将所述不良位元信息从第一存储器拷贝到第二存储器，以便冗余处理器根据第二存储器中的对应每个测试项目的不良位元信息依次获取待测存储器晶圆对应每个测试项目的不良位元数量，并根据在先的一个测试类型的各测试项目的总的不良位元数量执行冗余分析，得到冗余分析结果；根据冗余分析结果控制测试装置是否执行下一个测试类型的各测试项目，若所述冗余分析结果为通过在先的一个测试类型的测试，则控制测试装置执行下一个测试类型的各测试项目，否则结束测试。

技术总结

本发明提供一种存储器晶圆测试系统及方法，该系统包括：主处理器、第一存储器、第二存储器以及冗余处理器，其中，主处理器用于控制测试装置对待测存储器晶圆依次执行在先的一个测试类型的各测试项目，每次执行完一个测试项目，将待测存储器晶圆对应该测试项目的不良位元信息保存到第一存储器，并将不良位元信息从第一存储器拷贝到第二存储器；冗余处理器用于根据第二存储器中的不良位元信息依次获取待测存储器晶圆对应每个测试项目的不良位元数量。本发明能够减少整体测试时间，提高测试效率。效率。效率。