干式螺杆真空泵原理及应用范围

⼲式螺杆真空泵原理及应⽤范围
⼲式螺杆真空泵
⼲式螺杆真空泵,是利⽤⼀对螺杆,在泵壳中作同步⾼速反向旋转⽽产⽣的吸⽓和排⽓作⽤的抽⽓设备。
⼯作原理
螺杆式⼲式真空泵的⼯作过程可分为吸⽓、压缩和排⽓三个过程。随着转⼦的旋转,每对相互啮合的齿相继完成相同的⼯作循环,现在以其中⼀对齿来说明。
吸⽓过程
阳转⼦按逆时针⽅向旋转,阴螺杆按顺时针⽅向旋转。上⽅的转⼦端⾯是吸⽓断⾯,下⽅的端⾯为排⽓端⾯。
压缩过程
转⼦端⾯是排⽓端⾯。在这⾥,阳转⼦沿顺时针⽅向旋转,阴转⼦沿逆时针⽅向旋转。上⽅的转⼦端⾯是吸⽓断⾯,下⽅的端⾯为排⽓端⾯。
溶剂回收排⽓过程
螺杆泵的排⽓过程,齿间容积与排⽓孔⼝连通后,即开始排⽓过程。随着齿间容积的不断缩⼩,具有排⽓压⼒的⽓体逐渐通过排⽓孔⼝被排出。
1特征
•可靠性⾼。螺杆式⼲式真空泵零部件少,没有易损件,因此它运转可靠,寿命长。
•操作维护⽅便。
•动⼒平衡性好。螺杆式⼲式真空泵没有不平衡的惯性⼒,机器可平稳地⾼速运⾏。
•适应性强。螺杆式⼲式真空泵具有强制输⽓的特点,在宽⼴的压⼒范围内能保持较⾼的抽速,排⽓量⼏乎不受排⽓压⼒的影响.
装配自动流水线•多相混输。由于螺杆式⼲式真空泵转⼦齿⾯间留有微⼩间隙,因⽽可抽除腐蚀性、有毒、含有粉尘、可凝性蒸汽等多种⽓体。
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秸秆炭化螺杆式⼲式真空泵⼴泛应⽤于电⼦、核能、化⼯、医药、⾷品⼯业等领域。在半导体⼯业中⽤于⽣产芯⽚、制造液晶显⽰器、蚀刻、⽣产PLASMA的CVD制程。
在核⼯业中⽤于核反应堆及核⼯业真空获得;化⼯上⽤于真空蒸馏及溶剂萃取⾼效回收溶剂,在脂肪酸⽣产中⽤来消除⽔污染,清除喷射器中的阻塞物;医药⼯业中⽤于回收药液及药物中间体,为⼈造器官⽣产提供清洁⽆菌条件,回收⽓体消毒剂;⾷品⼯业中⽤于⾹料、⾹精浓缩,⾷品包装等。
应⽤范围极为⼴泛。具体如下:
氨苄西林颗粒具体应⽤:⼲燥处理、真空蒸馏、分⼦蒸馏、溶剂的回收、油⽓回收、⼯⼚普通真空、电⼦、真空镀膜、航空、核⼯业领域能够抽除普通空⽓,易燃易爆⽓体、腐蚀性⽓体,尤其能满⾜对获得清洁真空要求较⾼的环境。具体应⽤:真空镀膜、真空蒸馏、真空⼲燥、拉单晶、特⽓制造、离⼦刻蚀等。
纺织、冶⾦等⾏业在氨纶、芳纶、纤维、冶⾦等相关⼯艺中应⽤⼲式真空泵,具体应⽤:真空脱泡、VOD真空吹氧脱碳法等。
⼀类是以半导体⾏业为代表,要求真空泵向被抽空间内的返流为零,以保护⼯件免受污染。对半导体⾏业中应⽤的真空系统的要求⼤体分为三个等级。
系统的要求⼤体分为三个等级。
•清洁条件下的抽⽓,只抽⼲空⽓或含少许⽔蒸汽的空⽓。
氟塑料离心泵结构图•中等条件下的抽⽓,抽除⼯艺过程的反应⽓体,但⽆固体颗粒物。
•恶劣条件下的抽⽓,抽除化学反应物(有毒甚⾄致癌)及固体颗粒物。
另⼀类是以⽯化⾏业为代表,要求真空泵能⼤量抽除可凝性⽓体,或腐蚀性⽓体,或有毒⽓体,或含有微尘的⽓体。螺杆式⼲式真空泵⼴泛应⽤于电⼦、核能、化⼯、医药、⾷品⼯业等领域。在半导体⼯业中⽤于⽣产芯⽚、制造液晶显⽰器、蚀刻、⽣产PLASMA的CVD制程。
在核⼯业中⽤于核反应堆及核⼯业真空获得;化⼯上⽤于真空蒸馏及溶剂萃取⾼效回收溶剂,在脂肪酸⽣产中⽤来消除⽔污染,清除喷射器中的阻塞物;医药⼯业中⽤于回收药液及药物中间体,为⼈造器官⽣产提供清洁⽆菌条件,回收⽓体消毒剂;⾷品⼯业中⽤于⾹料、⾹精浓缩,⾷品包装等。

本文发布于:2024-09-23 07:28:43,感谢您对本站的认可!

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