小型制冷机低温泵是依靠制冷机获取冷量肥皂生产设备, 利用低温表面冷凝和吸附气体 来获得和保持真空的装置 , 它具有清洁无炭氢污染、极限真空度高等优点, 广
泛应用于微电子、材料科学等研究和生产领域。
低温泵的再生是使泵内贮存的气体解析和脱附的过程, 再生的方式有多种,
其所需时间和再生效果也有差别。再生方式的选择、冷头温度测量方法以及再
生起点终点的判断对低温泵系统自动化有着重要意义。目前国外的低温泵生产
厂家都推出了自动化程度很高的低温泵产品, 国内有关研究单位也在积极开展相
关工作。本文从我国国情出发, 讨论了低温泵再生过程中的一些问题, 并提出了
一些个人观点以供低温泵用户参考。亮晶晶眼贴
点钞机电机 从原理上讲, 低温泵捕集的气体可以以固态、气态或液态方式除去, 由于以
固态方式除去冷凝物存在很多技术难题, 目前商品低温泵采用的都是后两种方
式。根据加热方式的不同, 再生方式通常分为:自然加热再生、气体冲洗再生、 电加热再生三类。
自然加热再生是最简单的低温泵再生方法, 它是利用泵壁与周围空气的热交
换来使泵升温的, 在刚开始再生时, 由于泵内真空度较高, 因此主要是依靠泵壁
的热辐射和泵内的热传导使冷板逐渐升温,这个升温过程相当缓慢。当压强升高
到 10-1～ 10Pa 范围后, 对流换热才开始起比较大的作用。自然加热再生需要的
时间很长, 热再生通常需十几个小时。由于自然加热再生通常利用过压保护阀排气, 在
这种情况下,假如泵能够和其环境达到完全平衡, 那么泵内融化的冰水会留在底
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板上, 而且室温下活性炭将吸附高分压的水蒸气, 因而泵在使用过程中需要进行
长时间的初抽, 而且泵的极限压强也会受到影响。自然加热再生通常只用于一些
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