单晶硅棒技术检验要求

发文单位：浙江昱辉阳光能源有限公司页码：1/3

供应商名称

版本

发行日期

五神光电

20100312

2010-03-20

单晶硅圆棒质量技术规格书

签署栏干墙

发行方

供应商

发文单位：浙江昱辉阳光能源有限公司

1戒烟牙膏范围

本规格书规定了单晶硅圆棒的技术要求、检验规范以及包装。

本规格书适用于直接外购单晶硅6吋，6.5吋，8吋圆棒。

本规格书作为供方与昱辉阳光能源有限公司之间釆购合同的技术标准，经双方签署后生效。

本规格书可由昱辉阳光能源有限公司根据产品需求进行变更，双方进行签暑后生效；同时旧版规格书及时作废。

2、规范性引用文件：

浙江晃辉阳光能源有限公司单晶事业部《单晶硅圆棒检验内控标准》。

3、术语及定义

长度：单晶硅圆棒两个端面之间的最短距离。

直径：整根圆棒最细处的直径。

缺口：晶棒表面局部缺损，其尺吋由纵向长度和径向深度给出。

裂纹：由晶棒上任意一点向其它位置延伸的贯穿或未贯穿晶棒的裂痕。

发文单位：浙江昱辉阳光能源有限公司页码：2/3

4、技术要求：

特性						反应计划
项目	产品/过程规范/公差	评价测量技术	样本		控制方法
项目	产品/过程规范/公差	评价测量技术	容量	频率	控制方法
外观	无孪晶、无空洞、无断棱、无硬伤、无裂纹、缺口弧长≤硅棒3mm深度≤1.5mm	目测	100%全检	每根	单晶硅棒检验标准	不合格处切除推进式搅拌桨
直径	155mm≥6吋直径≥153mm 172mm≥6.5吋直径≥168mm 206mm≥8吋直径≥203mm	游标卡尺精度0.02mm	100%全检	每根	单晶硅棒检验标准	不合格处切除
无位错长度	去掉位错和直径偏小后圆棒长度大于300mm	卷尺精度1mm	100%全检	每根	单晶硅棒检验标准	不合格处切除，小于100mm报废
电阻率	表皮电阻率：1.2-2.8Ω.cm	四探针电阻率测试仪（BD-86）	100%	每根	单晶硅棒检验标准	电阻率
C、O含量	C含量小于5ppma、O含量小于20ppma（ASTM88）	Nicolet6700傅叶变换红外光谱仪	100%	每根	单晶硅棒检验标准	不合格反切
少子寿命	少子寿命大于10us	WT-2000少子寿命测试仪	100%	每根	单晶硅棒检验标准	不合格反切
掺杂类型	掺硼	供方质量保证书	/	/	/	/
极性	P型	半导体极性仪	100%	每根	单晶硅棒检验标准	不合格拒绝接收

发文单位：浙江昱辉阳光能源有限公司风扇网罩页码：3/3

5、检验规范：

⑴检查与验收：

产品由需方过程检验部门负责检验并填写品质检验单，并交质量管理部进行审核。

⑵检验项目

每根圆棒按照上表中的检验项目和要求进行检验。

⑶检验结果判定

当所有检验项目均合格时，则判定圆棒合格。若有一项不合格测向天线,则该晶棒不合格做退回供方处理。

6、标志、包装、运输、储存：

⑴供方在来料时需用聚苯烯(泡沫)进行逐个包装,并附供方品质检验单,经包装的晶棒装入包装箱,并装满填充物,晶棒不能有松动现象。

⑵包装箱外注明“移动轻放”、“易碎”等标识，附装箱清单并标明需方公司名称、地点、产品名称、产品件数、规格及重量等信息。

⑶每批产品要随货附产品装箱明细，明细中显示晶体编号、长度、重量、尺寸等信息，并附供方的检验结果和结论。

⑷产品在运输过程中要轻装轻卸，不得挤压、碰撞，每托圆棒堆放高度不能超过三层。储存在安全,干燥的环境。

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