一种PECVD反应室电极杆的制作方法

一种pecvd反应室电极杆
技术领域
1.本发明主要涉及pecvd设备技术领域，具体涉及一种pecvd反应室电极杆。

背景技术：

2.pecvd是等离子体增强化学气相沉积设备，主要用于电池片表面沉积钝化薄膜，为了改善薄膜物理性能及光学性能，需在石墨舟上引入电场。因此，电极杆作为pecvd反应室重要部件，在实施工艺过程中的作用至关重要。
3.目前本专利申请人所设计的pecvd反应室电极杆结构如图1所示，其具体包括部件：接线杆1、防护罩2、螺钉3、压紧套4、内绝缘座5、绝缘帽6、螺母7、锁紧筒8、外绝缘座9、电极法兰10、电极头连接杆11和不同规格的密封圈。在进行安装时，首先接线杆1与电极头连接杆11连接；然后依次装入密封圈、外绝缘座9、密封圈、内绝缘座5、密封圈、电极法兰10和锁紧筒8；装入压紧套4后用螺钉3将其固定在电极法兰10上，接着将两个螺母7装到接线杆上；最后，依次将防护罩2和绝缘帽6装到接线杆1上。
4.从上述结构的应用情况来看，其存在以下缺点和不足：在pecvd设备工艺过程中，反应室内部温度达600
°
以上，由于受热胀冷缩影响，电极杆螺母7极易松动，引起接线杆1径向旋转，存在电极杆接触不良隐患，进而严重影响pecvd工艺结果。

技术实现要素：

5.本发明要解决的技术问题就在于：针对现有技术存在的技术问题，本发明提供一种连接可靠、提高放电可靠性的pecvd反应室电极杆。
6.为解决上述技术问题，本发明提出的技术方案为：
7.一种pecvd反应室电极杆，包括接线杆、连接杆、内绝缘座、外绝缘座、锁紧筒、压紧组件和电极法兰；所述接线杆的一端与所述接线杆的一端螺纹连接，所述内绝缘座套设在所述连接杆上，所述外绝缘座套设于接线杆上轴环与内绝缘座之间的连接杆上，所述锁紧筒套设于所述接线杆和外绝缘座上，所述锁紧筒的一端内侧与接线杆上的轴环外侧相抵，所述锁紧筒的另一端通过压紧组件压紧在外绝缘座上，所述连接杆的一端设置有与螺纹孔相连通的第一限位槽，所述第一限位槽内设置有限位板，所述接线杆的一端设置有第二限位槽，当所述接线杆的一端螺纹连接至所述连接杆的螺纹孔后，所述限位板卡设于第一限位槽和第二限位槽内，以对接线杆与连接杆之间的轴向运动进行限位；所述锁紧筒中间为方形孔，所述接线杆于轴环的一侧设置有方形轴肩，所述轴肩穿设在所述锁紧筒的方形孔内。
8.作为上述技术方案的进一步改进：
9.所述外绝缘座的一端与轴环内侧相抵，所述外绝缘座另一端的环形挡部与内绝缘座一端的环形挡部相抵，所述外绝缘座和内绝缘座的环形挡部均位于锁紧筒与电极法兰之间，所述内绝缘座的另一端则穿过所述电极法兰的法兰孔。
10.所述锁紧筒的另一端设置有环形挡部，所述锁紧筒的环形挡部内侧与外绝缘座的
环形挡部相抵。
11.所述压紧组件包括环形的压紧套和螺钉，所述压紧套的截面呈l形，所述压紧套的一边与锁紧筒的环形挡部的外侧相抵，所述螺钉穿过压紧套的一边后与电极法兰螺纹连接。
12.所述锁紧筒的环形挡部的圆周方向上开设有多个缺口，各所述缺口与所述螺钉一一对应，所述螺钉则位于所述缺口内。
13.所述限位板的形状为弓形。
14.所述第二限位槽为环形槽。
15.所述外绝缘座与轴环之间设置有第一密封件。
16.所述内绝缘座的环形挡部与电极法兰之间设置有第二密封件。
17.所述外绝缘座的环形挡部与内绝缘座的环形挡部和连接杆之间设置有第三密封件。
18.与现有技术相比，本发明的优点在于：
19.本发明的pecvd反应室电极杆，通过限位板卡设于连接杆的第一限位槽和接线杆的第二限位槽内，从而对接线杆与连接杆之间的轴向运动进行限位，在此基础上，通过锁紧筒的方形孔对接线杆的方形轴肩进行径向限位；通过上述的轴向限位和径向限位，进而保证连线杆与连接杆之间连接的可靠性，防止连线杆与连接杆松动，提高电极杆放电可靠性。
20.本发明在锁紧筒的环形挡部的圆周方向上开设有多个缺口，各缺口与螺钉一一对应，螺钉则位于缺口内，进一步实现对锁紧筒径向方向的限位；故通过上述的压紧组件与缺口的配合，一方面可以对连线杆在轴向方向的限位，另一方面也可以实现其径向方向的限位。
附图说明
21.图1为现有技术中的电极杆结构剖视图。
22.图2为本发明的电极杆在实施例的剖视图。
23.图3为图2的a-a视图。
24.图4为图3的局部视图。
25.图5为本发明中的连接杆在实施例的结构示意图。
26.图6为本发明中的限位板在实施例的结构示意图。
27.图7为本发明中的锁紧筒在实施例的结构示意图。
28.图8为本发明中的接线杆在实施例的结构示意图。
29.图例说明：1、接线杆；101、第二限位槽；102、轴环；103、轴肩；2、防护罩；3、螺钉；4、压紧套；5、内绝缘座；6、绝缘帽；7、螺母；8、锁紧筒；801、方形孔；802、缺口；9、外绝缘座；10、电极法兰；11、连接杆；1101、第一限位槽；12、限位板；13、第一密封件；14、第二密封件；15、第三密封件。
具体实施方式
30.以下结合说明书附图和具体实施例对本发明作进一步描述。
31.如图2所示，本发明实施例的pecvd反应室电极杆，包括接线杆1、连接杆11、内绝缘
座5、外绝缘座9、锁紧筒8、压紧组件和电极法兰10；接线杆1的一端与接线杆1的一端螺纹连接，接线杆1的另一端则设有绝缘帽6；其中内绝缘座5套设在连接杆11上，外绝缘座9套设于接线杆1上轴环102与内绝缘座5之间的连接杆11上，即外绝缘座9的一端与轴环102内侧相抵，外绝缘座9的另一端则与内绝缘座5的一端相抵，内绝缘座5的另一端则穿过电极法兰10的法兰孔；连接杆11的一端设置有与螺纹孔相连通的第一限位槽1101(如图5所示)，第一限位槽1101内设置有限位板12，接线杆1的一端设置有第二限位槽101(如图8所示)，当接线杆1的一端螺纹连接至连接杆11的螺纹孔后，限位板12卡设于第一限位槽1101和第二限位槽101内，以对接线杆1与连接杆11之间的轴向运动进行限位；锁紧筒8套设于接线杆1和外绝缘座9上，锁紧筒8的一端内侧与接线杆1上的轴环102外侧相抵，锁紧筒8的另一端通过压紧组件压紧在外绝缘座9上，进而将外绝缘座9和内绝缘座5均压设在电极法兰10上；其中锁紧筒8中间为方形孔801(如图7所示)，接线杆1于轴环102的一侧设置有方形轴肩103(如图8所示)，方形轴肩103穿设在锁紧筒8的方形孔801内。
32.本发明的pecvd反应室电极杆，通过限位板12卡设于连接杆11的第一限位槽1101和接线杆1的第二限位槽101内，从而对接线杆1与连接杆11之间的轴向运动进行限位，在此基础上，通过锁紧筒8的方形孔801对接线杆1的方形轴肩103进行径向限位；通过上述的轴向限位和径向限位，进而保证接线杆1与连接杆11之间连接的可靠性，防止接线杆1与连接杆11松动，提高电极杆放电可靠性。
33.在一具体实施例中，外绝缘座9另一端的环形挡部与内绝缘座5一端的环形挡部相抵，外绝缘座9和内绝缘座5的环形挡部均位于锁紧筒8与电极法兰10之间，锁紧筒8的另一端设置有环形挡部，锁紧筒8的环形挡部的内侧与外绝缘座9的环形挡部相抵。上述锁紧筒8、外绝缘座9和内绝缘座5的环形挡部则通过压紧组件压紧在电极法兰10上。具体地，压紧组件包括环形的压紧套4和螺钉3(或者螺栓等)，压紧套4的截面呈l形，压紧套4的一边与锁紧筒8的环形挡部的外侧相抵，螺钉3穿过压紧套4的一边后与电极法兰10螺纹连接，从而将锁紧筒8、外绝缘座9和内绝缘座5均压紧在电极法兰10上。上述压紧组件的结构简单且安装简便。
34.进一步地，在锁紧筒8的环形挡部的圆周方向上开设有多个缺口802(如四个，如图7所示)，各缺口802与螺钉3(或螺栓)一一对应，螺钉3则位于缺口802内，进一步实现对锁紧筒8径向方向的限位。故通过上述的压紧组件与缺口802的配合，一方面可以对接线杆1在轴向方向的限位，另一方面也可以实现其径向方向的限位。
35.在一具体实施例中，限位板12的形状为弓形(小于半圆形)，第一限位槽1101则为相对应的弧形，第二限位槽101则为环形槽，通过位于第一限位槽1101和第二限位槽101内的弓形限位板12来对接线杆1与连接杆11之间的轴向运动进行限位。当然，在其它实施例中，也可以将连接杆11上的第二限位槽101设置为弓形，且弓形第二限位槽101的位置与第一限位槽1101的位置相对应，从而使得弓形限位板12位于第一限位槽1101和第二限位槽101内时，不仅可以实现接线杆1与连接杆11之间轴向方向上的限位，也可以对接线杆1与连接杆11之间的径向方向进行限位，保证连接的可靠性。
36.在一具体实施例中，外绝缘座9与轴环102之间设置有第一密封件13，内绝缘座5的环形挡部与电极法兰10之间设置有第二密封件14，外绝缘座9的环形挡部与内绝缘座5的环形挡部和连接杆11之间设置有第三密封件15。通过各密封件的密封，保证各部件之间的密
封配合连接。
37.本发明的接线杆1与连接杆11螺纹连接后，通过限位板12进行轴向限位，然后将接线杆1的方形轴肩103穿过锁紧筒8的方形孔801，由压紧套4压紧，固定压紧套4的螺钉3穿过锁紧筒8上的缺口802锁紧锁紧筒8。在本发明中，除了接线杆1、锁紧筒8、连接杆11和限位板12外，其余零件均和现有方案中的零件相同，其装配方法也和现有电极杆装配方法一致。对于现有pecvd反应室电极杆，各部件可以直接替换，保证更换的简便性，即便于改造。
38.如本公开和权利要求书中所示，除非上下文明确提示例外情形，“一”、“一个”、“一种”和/或“该”等词并非特指单数，也可包括复数。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。
39.以上仅是本发明的优选实施方式，本发明的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本发明思路下的技术方案均属于本发明的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理前提下的若干改进和润饰，应视为本发明的保护范围。

技术特征：

1.一种pecvd反应室电极杆，其特征在于，包括接线杆(1)、连接杆(11)、内绝缘座(5)、外绝缘座(9)、锁紧筒(8)、压紧组件和电极法兰(10)；所述接线杆(1)的一端与所述接线杆(1)的一端螺纹连接，所述内绝缘座(5)套设在所述连接杆(11)上，所述外绝缘座(9)套设于接线杆(1)上轴环(102)与内绝缘座(5)之间的连接杆(11)上，所述锁紧筒(8)套设于所述接线杆(1)和外绝缘座(9)上，所述锁紧筒(8)的一端内侧与接线杆(1)上的轴环(102)外侧相抵，所述锁紧筒(8)的另一端通过压紧组件压紧在外绝缘座(9)上，所述连接杆(11)的一端设置有与螺纹孔相连通的第一限位槽(1101)，所述第一限位槽(1101)内设置有限位板(12)，所述接线杆(1)的一端设置有第二限位槽(101)，当所述接线杆(1)的一端螺纹连接至所述连接杆(11)的螺纹孔后，所述限位板(12)卡设于第一限位槽(1101)和第二限位槽(101)内，以对接线杆(1)与连接杆(11)之间的轴向运动进行限位；所述锁紧筒(8)中间为方形孔(801)，所述接线杆(1)于轴环(102)的一侧设置有方形轴肩(103)，所述轴肩(103)穿设在所述锁紧筒(8)的方形孔(801)内。2.根据权利要求1所述的pecvd反应室电极杆，其特征在于，所述外绝缘座(9)的一端与轴环(102)内侧相抵，所述外绝缘座(9)另一端的环形挡部与内绝缘座(5)一端的环形挡部相抵，所述外绝缘座(9)和内绝缘座(5)的环形挡部均位于锁紧筒(8)与电极法兰(10)之间，所述内绝缘座(5)的另一端则穿过所述电极法兰(10)的法兰孔。3.根据权利要求2所述的pecvd反应室电极杆，其特征在于，所述锁紧筒(8)的另一端设置有环形挡部，所述锁紧筒(8)的环形挡部内侧与外绝缘座(9)的环形挡部相抵。4.根据权利要求3所述的pecvd反应室电极杆，其特征在于，所述压紧组件包括环形的压紧套(4)和螺钉(3)，所述压紧套(4)的截面呈l形，所述压紧套(4)的一边与锁紧筒(8)的环形挡部的外侧相抵，所述螺钉(3)穿过压紧套(4)的一边后与电极法兰(10)螺纹连接。5.根据权利要求4所述的pecvd反应室电极杆，其特征在于，所述锁紧筒(8)的环形挡部的圆周方向上开设有多个缺口(802)，各所述缺口(802)与所述螺钉(3)一一对应，所述螺钉(3)则位于所述缺口(802)内。6.根据权利要求1～5中任意一项所述的pecvd反应室电极杆，其特征在于，所述限位板(12)的形状为弓形。7.根据权利要求1～5中任意一项所述的pecvd反应室电极杆，其特征在于，所述第二限位槽(101)为环形槽。8.根据权利要求1～5中任意一项所述的pecvd反应室电极杆，其特征在于，所述外绝缘座(9)与轴环(102)之间设置有第一密封件(13)。9.根据权利要求2～5中任意一项所述的pecvd反应室电极杆，其特征在于，所述内绝缘座(5)的环形挡部与电极法兰(10)之间设置有第二密封件(14)。10.根据权利要求2～5中任意一项所述的pecvd反应室电极杆，其特征在于，所述外绝缘座(9)的环形挡部与内绝缘座(5)的环形挡部和连接杆(11)之间设置有第三密封件(15)。

技术总结

本发明公开了一种PECVD反应室电极杆，包括接线杆、连接杆、内绝缘座、外绝缘座、锁紧筒、压紧组件和电极法兰；内绝缘座和外绝缘座套设在连接杆上，外锁紧筒套设于接线杆和外绝缘座上，锁紧筒与轴环外侧相抵，锁紧筒的另一端通过压紧组件压紧在外绝缘座上，连接杆的一端设置有与螺纹孔相连通的第一限位槽，第一限位槽内设置有限位板，接线杆的一端设置有第二限位槽，当接线杆的一端螺纹连接至连接杆的螺纹孔后，限位板卡设于第一限位槽和第二限位槽内，以对接线杆与连接杆之间的轴向运动进行限位；锁紧筒中间为方形孔，接线杆于轴环的一侧设置有方形轴肩，轴肩穿设在锁紧筒的方形孔内。本发明具有结构简单、改造简便、连接可靠等优点。连接可靠等优点。连接可靠等优点。