水析仪
1. 目的:保证静电接地系统的正确接地.真正做到静电防护.
2. 范围:全厂.
空心砌块3. 相关资料:
3.1 ESD静电防护规范(E3-019)
4. 作业程序:
4.1 管理责任:
4.1.1本规范由工程部负责制定,经主管核准后实施双卡通.
4.1.2工程部ESD工程师负责技术指导.
4.1.3静电接线盒处及各单位的主干线由工务课每半年联系供电厂商量测,如工务课根据生产线的需要重架线或架新线,完成后应由工务课采用接地阻抗议对主干线进行接地量测.工程部ES D工程师进行确认并制做report,mail各相关单位.折流板除雾器
4.1.4QA负责对各分支及导电地板,防静电地板每月的量测. 5. 检验项目:对地阻抗.
6. 使用仪器:静电接地电阻仪,阻抗量测器(RT-1000),万用表,静电线.
7.允收标准:对地阻抗<1Ω,导电地板的阻抗<10^6Ω/sq;
抗静电地板的阻抗在10^6~10^12Ω/sq之间
8.检验方法及步骤.
8.1静电接线盒处及各单位的主干线的量测.
8.1.1打开1楼静电接线盒,将两参考极分别引出接至接地电阻仪的’P’,’C’两接线柱上,再将静电接地主线接至接地电阻仪的’E’接线柱上,量测得1楼各接线盒处接地阻值
8.1.2将1楼接线盒内两参考极分别引到2楼,接至接地电阻仪’P’,’C’两接线柱.打开2楼静电接
线盒,并将静电接地主线接至接地电阻仪’E’接线柱,量测得2楼各接线盒处接地阻值
8.1.3将1楼接线盒内两参考极分别引到2楼,接至接地电阻仪的’P’,’C’两接线柱,在工作区静电接地线上任一点引线至接地电阻仪的’E’接线柱,量测得2楼各主干线的阻抗.
8.2导电地板,抗静电地板的量测
8.2.1方法:导电地板采用点对地及点对点量测;
抗静电地板采用点对点量测
8.2.2步骤挤压件:点对地量测时将一个重锤放于干净的导电地板上,同时将阻抗量测器接地,阻抗量测器电压设定10V,压下测试按钮15秒,读取并记录阻抗值.
木纤维袜子点对点量测时将两个重锤放于干净的防静电地板上,相距20CM.阻抗量测器电压设定100V,压下测试按钮15秒,读取并记录阻抗