南京美均电子科技有限公司 |
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1、 目的：
规定公司内部的ESD规范，为公司产品在设计、生产、贮存、包装等各个环节提供明确可靠的ESD技术支持，从整体上提高公司静电防护和控制水平，提高客户的满意度。
2、 适用范围：
适用于本公司的防静电控制。本文中的各项要求适用于防静电敏感区域。当客户的产品有特殊要求时，采用客户要求。 3、 职责:
3.1. 各部门主管负责本部门工作区域静电防护措施的执行。
3.2. 生产部负责生产过程中的静电防护措施的执行。
3.3.质量部负责根据本程序要求实施防静电用具的进料检测和静电线、接地线、静电垫等防静电设施测试和记录以及所有相关记录的保存。
4、 概要：
本文主要从静电控制的五个方面(即人员、设备、物料、方法和环境)来论述ESD规范，贯穿了公司产品设计、制造、贮存、包装等各个环节防静电控制,穿插介绍了防静电设施的技术要求，检测方法和作业指导等内容。
5、目录：
4.1. 静电敏感区域的界定。
4.2. 静电敏感区域的工程环境防静电规范。
4.3. 静电敏感区域的人员防静电规范。
玻璃丝包线4.4. 静电敏感区域的防静电操作方法规范。
4.5. 静电敏感区域的工装,设备,仪器以及防静电器材的防静电规范。
4.6. 常用的检测方法 。
4.7. 静电防护作业管理指导。
4.8. 附录A ------- ESD相关术语。
4.9. 附录B -------常用的防静电标志。
4.10. 附录C-------部分静电敏感器件的静电敏感电压。 4.11. 附录D------ 引用的标准及参考文献。
4.12. 附录E------相关记录。
4.13. 双向节流阀附录F------版本修订历史记录。
5、 静电敏感区域的界定：
5.1. 静电敏感区域确定：
5.1.1. ESD敏感器件的生产区域------生产线等。
5.1.2. ESD敏感器件的前加工区域------前加工房。
5.1.3. ESD敏感器件的贮存区域------库房和在线库。
5.1.4. ESD敏感器件的返修区域------返修区及返修工位。
5.1.5. ESD敏感器件的老化区域------老化房。
5.2. 公司的静电敏感器件：
5.2.1. MOS器件、MOS管及MOS集成电路。
5.2.2. FET器件、包括场效应管和集成电路。
5.2.3. TTL器件、包括各种逻辑门数字集成电路。
5.2.4. AMP放大器、比较器、调节器等模拟集成电路。
5.2.5. X-ROM存储体器件和记忆体器件、包括PROM、EPROM、SRAM、DRAM、FLASH等集成电路。
5.2.6. CPU微处理器及各种BGA器件。
5.2.7. 各种二极管、三极管。
5.2.8. 各种半导体开关元件。
5.2.9. 各种厚膜和薄膜电阻。
5.2.10. 钽电解电容。
5.2.11. SAW—声表面波器件。
5.2.12. 石英、晶振体器件。
5.2.13. 以上元器件组装的PCBA板。
5.3. 静电敏感区域的标识：
5.3.1. 静电敏感区的区域界限应该用黄黑相间的斜条纹来标识,线条宽度为5~10CM这两种斜条 纹是专门用来标识静电敏感区的区域界限的,不可作为其它标识用。
5.3.2. 从静电敏感区域的入口处开始, 在明显处还应贴上静电敏感区的警示标志,该标志应符合GJB1649的规定。如图A:
5.3.3. 防静电容器(防静电周转箱,防静电元件盒等),元件架和运输车等器材上应有防静电标志,标志应置于明显且不易受到磨损的地方。如图B:
5.3.4. 经过防静电液处理的物品和场所也应有防静电标志。如图C:
5.3.5. 含有ESSD的图纸资料,应有ESSD标志。
5.3.6. 设备的外部端口标志应符合GJB1649中第5.8.3条要求。
5.3.7. 整机包装标志应符合GJB1649中第5.10条要求。
5.3.8. 交付文件标志应符合GJB1649中第5.9.1条要求。
6、 静电敏感区域的工程环境防静电规范
6.1. 防静电工程环境的设计原则：
荧光寿命测试
设计防静电工程环境时,为达到静电防护的要求应遵循以下原则:
6.1.1. 抑制静电荷的积累和静电压的产生
6.1.2. 安全、迅速、有效的消除已产生的静电荷
6.1.3. 防静电工作区应按电子元器件静电敏感度确定防护所应达到的级别和程度。一般的要求静电防护区内静电电压绝对值应小于100V。
6.1.4. 防静电区域应标明区域界限并在明显处悬挂警示标志。
6.1.5. 肉模在防静电工作区内禁止使用易产生静电荷的电荷源。表一为常见的电荷源:
表一
类别 | 电荷源 |
工作台表面 | 油漆或浸漆表面、普通塑料帖面、普通乙烯及树脂表面 |
地板 | 塑料及普通地板革、抛光打蜡木地板、普通乙烯树脂 |
工作鞋、帽、鞋 | 普通涤纶、合成纤维及尼龙面料、塑料及普通胶第鞋 |
操作工具及设备 | 普通塑料盒、架、瓶、盘用品及纸制品、普通泡沫及一般电动工具、压缩机、喷射设备、蒸发设备等 |
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6.2. 防静电工程环境的要求：
6.2.1. 环境的温度和湿度要求：温度应在15℃至30℃之间,湿度应在45%至75%之间,环境内应配备温度计和湿度计,并按要求做好点检记录。如果环境内的空气过于干燥，应使用加湿器或其它办法来满足湿度要求，但应以不对产品造成有害影响为前提。如果湿度高了应该开空调或抽湿机来使其满足要求。温度计和湿度计使用要求:
6.2.1.1. 对温度、湿度做监测的石英温湿度仪,必须放置在水平稳定的平面上。
6.2.1.2. 有温湿度测量仪的场所应由专人定期检查石英温、湿度自动仪测试状况,并记录该时间段的最高和最低值。
6.2.1.3. 遇有休息、节假日等特殊情况,在上班后的第一时间内要检查石英温、湿度自动记录仪的记录情况。
6.2.1.4. 发现温度、湿度有超标应立即采取有效措施予以改善,并确认超标情况是否有对产品或材料造成损坏,采取的改善措施应予以记录。
6.2.1.5. 每月的温湿度仪记录的测试结果由测试部归类保存。
6.2.2. 地表二
6.3. 静电敏感区域的防静电保护接地技术要求:
防静电系统必须有独立可靠的接地装置,主要技术要求如下:
6.3.1. 接地线：也称为地线母线，防静电地线专供静电工程器具和人体泄漏静电荷使用，不得接在电源零线上，不得与防雷地线共用。
6.3.2. 接地主干线的截面积应不小于100mm2，支干线的截面积应不小于6 mm2 ，设备和工作台的接地线采用截面积应不小于1.25mm2 的敷朔导线，并以黄绿为宜。
6.3.3. 防静电设备的连接端子应确保接触可靠，易装拆，允许使用各种夹式连接器，如鳄鱼夹，插头座等。
6.3.4. 接地电阻：指接地体与大地之间的接触电阻，静电保护接地电阻应小于4Ω。
6.3.5. 地线的埋设：
埋设地线的原则是埋设地点的土壤电阻系数愈小愈好接地体与土壤的接触面积要大，接触密度要高，接触要紧。
6.3.6. 接地线的定期检查：
6.3.6.1. 检查对象：所有的接地线及接地端口。
6.3.6.2. 检查仪器：万用表和接地电阻测试仪。
6.3.6.3. 检查参数：泄漏电阻(接地电阻)。
6.3.6.4. 检查频率：
6.3.6.4.1. 每条生产线的主接地线对通用接地点的接地性能和设备，工装及工作台等设施对生产线主接地线的接地性能应每周检查一次。
6.3.6.4.2. ESD桌垫、ESD地垫、周转车、周转架和防静电环等设施的防静电连接线应每月检查一次。
6.3.6.4.3. 每个通用接地点对地的接地性能每6个月检查一次。
6.3.6.5. 检查标准：
6.3.6.5.1. 每周检查的标准：小于4欧。
6.3.6.5.2. 每月检查的标准：0.9×106Ω ~1.1×106 Ω。
6.3.6.5.3. 每6个月的检查标准：小于4欧。
6.3.7. 接地线的定期维护：
6.3.7.1. 对于检查不过关的接地线必须采取措施及时解决。
6.3.7.2. 确保接地线有效接地。
6.3.7.3. 对于生锈的或接触不好的接地线要及时更换。
6.3.7.4. 对于松动的接地线要重新连接。
6.3.7.5. 按接地线相关规定进行维护。
6.4. 人体静电防护系统：
6.4.1. 防静电工作鞋：
6.4.1.1. 在生产半导体和集成电路的洁净室和超洁净室,以及高精密电子产品的装配间等对防静电要求较高的场合,作业人员必须穿防静电鞋,经过测试合格后,方可进入静电敏感区域工作。测试步骤如下:
6.4.1.1.1. 将转换开关拔到左边“FOOT WEAR”档,双脚站在白不锈钢脚板区域,如下图一。按住“PRESS TO TEST”键,此时,左边(LEFT)指示即为左脚穿上鞋后的对地电阻,右边(RIGHT)指示为右脚穿上鞋后的对地电阻,如下图二。如绿灯亮则表示电阻合格。
6.4.1.2. 防静电工作鞋每半年应做一次防静电特性检测,对于检测不过关的防静电工作鞋应停止使用,更换新的。
6.4.1.3. 检测指标：体积电阻率和摩擦静电压。
6.4.1.4. 检测标准：0.5*105—1*108 Ω预绞丝 和0.10kv。
6.4.1.5. 检测仪器：体积电阻率—该边兆欧表 ,摩擦静电压—静电电压表。
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