[摘 要]以实例分析介绍了内热式真空电阻炉的结构特点和加热系统的设计计算。
干涉光刻 [关键词]真空 电阻炉 隔热屏
中图分类号：TG155 文献标识码：霞石粉A 文章编号：1009-914X（2019）03-0154-01
当电源接在导体上的时候，导体中就有电流通过，并因导体有电阻而发热。一般在电流相同情况下，导体的电阻越大，产生的热量就越多，这种利用热量的电热装置称为电阻炉。加热时炉内被抽成真空状态，称为真空电阻炉。 1.真空电阻炉特点与分类
1.1.真空电阻炉特点：
真空电阻炉与保护气体电阻炉相比较
（1）除了同样能使工件不氧化、不脱碳、不渗碳以外，还有除气的效果。
（医用热熔胶2）相应简化操作和改善工作条件。
切削工具（3）由于热传导方式为辐射传热，低温阶段（400℃以下）冷却的速度比较慢。
1.2.真空电阻炉的分类
1.2.1按加热方式分：间接加热式和直接加热式。
1.2.2按加热体在真空容器内外分：外热式和内热式。
1.2.3kawd-445按炉子的结构形式分：立式和卧式。
1.2.4按加热体材料分：
☆金属加热体：钽、钨、钼、镍铬合金等金属材料丝（带）。
☆非金属加热体：石墨、硅碳棒、二硅化钼等。
1.2.5按工作方式分：周期式和连续式或半连续式。
档案管理方法
1.2.6按温度分：低温炉（700℃以下）、中温炉（700～1200℃）和高温炉（1200℃以上）。
1.2.7按真空度分：
☆低真空炉：真空度在1.33X10-1Pa以下。
☆高真空炉：真空度在1.33X10-1Pa～1.33X10-5Pa。
豫公网安备41160202000603
站长QQ:729038198
关于我们
投诉建议