光罩板清洗固定治具的制作方法

1.本实用新型涉及光罩板治具技术领域，特别涉及一种光罩板清洗固定治具。

背景技术：

2.光罩板是使用在光刻机中的一种辅助材料，其材质一般为玻璃或石英。光罩板上设有图形，光源通过光罩板时图形区域会被遮挡，没有图形的区域光源通过并照在片源上。光刻机中的光源通过一系列折射反射，通过光罩板在片源上形成图形，再通过后续显影将图形显现出来。
3.由于环境或人为因素易导致光罩板上出现脏污，脏污会导致片源上图形不完整，会影响到后续制程。因此，光罩板在放入光刻机前需要进行清洗。现阶段清洗光罩板的方式，是通过使用丙酮与毛刷配合清洗，清洗过程中，将单片光罩板限位固定，管路喷吐丙酮均匀的润湿光罩板表面，在限位装置高速旋转时再利用细微毛刷对光罩板表面进行清洗。
4.然而，该清洗方式为单片作业，且需要人员在机台旁边频繁上下板，作业效率较低，此外，因使用毛刷进行清洗会对光罩板图形产生一定磨损，并需定期对毛刷进行更换。拉高了生产成本，更换时需要将停机，降低了清洗效率。

技术实现要素：

5.基于此，本实用新型的目的在于提出一种光罩板清洗固定治具，以至少部分解决现有技术存在的问题。
6.本实用新型提供一种光罩板清洗固定治具，具体技术方案如下：
7.所述光罩板清洗固定治具包括两个对立平行设置的夹板以及连接所述夹板的围板，所述围板与两个所述夹板的端部连接，使得所述夹板和所述围板围合形成一容置区，所述夹板的内侧面设有若干等距分布的卡槽。
8.上述光罩板清洗固定治具，通过设置的夹板和围板形成容置区，并且在夹板内侧面开设等距分布的卡槽，使得多片光罩板可等距分布嵌入在容置区内，通过将该光罩板清洗固定治具放入盛有高温酸碱药液的容器中使其浸泡去除光罩板表面脏污，实现了强效去污的同时，还极大的提升了对于光罩板的清洗效率。
9.另外，根据本实用新型提供的光罩板清洗固定治具，还可以具有如下附加的技术特征：
10.进一步的，所述卡槽相对所述围板的内侧面平行设置。
11.进一步的，所述围板沿所述夹板的侧边向上延伸，所述围板上设有横向设置的腰型孔。
12.进一步的，所述腰型孔顶端与所述围板顶端的距离不小于3cm。
13.进一步的，所述夹板于所述卡槽的顶端倒圆角处理。
14.进一步的，所述夹板的外侧面设有朝向箭头，所述朝向箭头向内凹陷设置。
15.进一步的，所述光罩板清洗固定治具还包括一保护板，所述保护板设于所述夹板
的底端，所述夹板底部的内侧面设有纵向的滑槽，所述滑槽用于卡接所述保护板。
16.进一步的，所述保护板设有均匀分布的滤水孔。
17.进一步的，所述光罩板清洗固定治具的材质为铁氟龙。
附图说明
18.图1为本实用新型第一实施例提出的光罩板清洗固定治具的结构示意图。
19.图2为图1中i部分的结构放大示意图；
20.图3为图1中光罩板清洗固定治具另一视角的结构示意图；
21.图4为本实用新型第二实施例提出的光罩板清洗固定治具的结构示意图。
22.主要元件符号说明：
[0023][0024]
具体实施方式
[0025]
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施的限制。
[0026]
需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”、“上”、“下”以及类似的表述只是为了说明的目的，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
[0027]
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0028]
本实用新型各实施例、实施例中的特征之间、实施例和实施例的特征，在没有明显冲突矛盾的前提，可以自由组合。
[0029]
请参阅图1至图3，所示为本实用新型实施例一提出的光罩板清洗固定治具100，该光罩板清洗固定治具100包括两个对立平行设置的夹板10以及两个设于夹板10端部用于连接夹板10的围板20，夹板10和围板20围合形成一容置区，夹板10的内侧面设有若干等距分
布的卡槽11。
[0030]
本实施例上述光罩板清洗固定治具100，通过设置的夹板10和围板20形成容置区，并且在夹板10内侧面开设等距分布的卡槽11，使得多片光罩板可等距分布嵌入在容置区内，通过将该光罩板清洗固定治具100放入盛有高温酸碱药液的容器中使其浸泡去除光罩板表面脏污，实现了强效去污的同时，还极大的提升了对于光罩板的清洗效率。
[0031]
可以理解的。为了避免光罩板的边缘在嵌入卡槽11内时产生磨损，本实施例中，卡槽11的厚度略大于光罩板的厚度，具体的，卡槽11的设置厚度比光罩板的厚度大2mm。以实现光罩板可以较为轻松的嵌入卡槽11的同时不产生晃动。
[0032]
示例而非限定的，本实施例中，所述卡槽11相对所述围板20的内侧面平行设置。以是的插入卡槽11内的光罩板相对围板20平行，进而使得单位空间内容置的光罩板数量最大化。并且，本实施例中，围板20相对夹板10垂直设置，使得光罩板实现竖直固定放置效果，进而使得光罩板的边缘与卡槽11部分的受力最小，极大的降低了两者产生的摩擦力，进一步的降低了光罩板边缘产生划伤的风险。
[0033]
本实施例中，所述围板20沿所述夹板10的侧边向上延伸，所述围板20上设有横向设置的腰型孔21，且所述腰型孔21顶端与所述围板20顶端的距离不小于3cm。通过设置的腰型孔21用于作业人员搬运放置时，手指深入腰型孔21内。且腰型孔21顶端与所述围板20顶端的距离不小于3cm，避免围板20顶端因为设置孔位而影响结构强度。
[0034]
优选的，本实施中，为了确保较好的握持手感，腰型孔21顶端与所述围板20顶端的距离设置为4cm。
[0035]
可以理解的，为了避免光罩板插入卡槽11内时磕碰边角产生损伤，本实施例中，所述夹板10于所述卡槽顶端12倒圆角处理。
[0036]
进一步的，所述夹板10的外侧面设有朝向箭头13，所述朝向箭头13向内凹陷设置。通过设置的箭头标识，用于标定光罩板的放置朝向，以便于作业人员按朝向放置光罩板。
[0037]
进一步的，本实施例中，所述光罩板清洗固定治具100的材质为铁氟龙。通过采用特氟龙材质作为光罩板清洗固定治具100的材料，具有耐用性，耐酸碱性和不易磨损的特性，有效的区别了光罩板清洗固定治具100在清洗溶液中的使用寿命，并且可避免使用时治具产生残渣而导致光罩板脏污。
[0038]
进一步的，请参阅图4，为本实用新型实施例二提出的光罩板清洗固定治具100，其结构特征与实施例一所示的光罩板清洗固定治具100基本相同，区别之处在于：所述光罩板清洗固定治具100还包括一保护板30，所述保护板30设于所述夹板10的底端，所述夹板10底部的内侧面设有纵向的滑槽，所述滑槽用于卡接所述保护板30。通过设置的保护板30用于防止在搬运过程中光罩板底部发送磕碰造成损伤。
[0039]
进一步的，所述保护板30设有均匀分布的滤水孔31，用于实现清洗液向上渗透至光罩板。使得光罩板迅速被清洗液完全浸泡。
[0040]
示例而非限定的，本实用新型实施例中采用保护板30对光罩板底部进行防护仅仅为一种较为优选的实施例，本实用新型的其他实施例中，还可以采用滤网结构等其他防护结构对光罩板底部进行保护，本技术对此不作具体限定。
[0041]
综上，本实用新型上述实施例当中的光罩板清洗固定治具100100，通过设置的夹板10和围板20形成容置区，并且在夹板10内侧面开设等距分布的卡槽11，使得多片光罩板
可等距分布嵌入在容置区内，通过将该光罩板清洗固定治具100放入盛有高温酸碱药液的容器中使其浸泡去除光罩板表面脏污，实现了强效去污的同时，还极大的提升了对于光罩板的清洗效率；通过设置腰型孔21便于作业人员握持搬运；通过设置朝向箭头13便于作业人员按朝向放置光罩板；通过设置保护板30用于防止在搬运过程中光罩板底部发送磕碰造成损伤。
[0042]
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

技术特征：

1.一种光罩板清洗固定治具，其特征在于，所述光罩板清洗固定治具包括两个对立平行设置的夹板以及连接所述夹板的围板，所述围板与两个所述夹板的端部连接，使得所述夹板和所述围板围合形成一容置区，所述夹板的内侧面设有若干等距分布的卡槽。2.根据权利要求1所述的光罩板清洗固定治具，其特征在于，所述卡槽相对所述围板的内侧面平行设置。3.根据权利要求1所述的光罩板清洗固定治具，其特征在于，所述围板沿所述夹板的侧边向上延伸，所述围板上设有横向设置的腰型孔，。4.根据权利要求3所述的光罩板清洗固定治具，其特征在于，所述腰型孔顶端与所述围板顶端的距离不小于3cm。5.根据权利要求1所述的光罩板清洗固定治具，其特征在于，所述夹板于所述卡槽的顶端倒圆角处理。6.根据权利要求1所述的光罩板清洗固定治具，其特征在于，所述夹板的外侧面设有朝向箭头，所述朝向箭头向内凹陷设置。7.根据权利要求1所述的光罩板清洗固定治具，其特征在于，所述光罩板清洗固定治具还包括一保护板，所述保护板设于所述夹板的底端，所述夹板底部的内侧面设有纵向的滑槽，所述滑槽用于卡接所述保护板。8.根据权利要求7所述的光罩板清洗固定治具，其特征在于，所述保护板设有均匀分布的滤水孔。9.根据权利要求1所述的光罩板清洗固定治具，其特征在于，所述光罩板清洗固定治具的材质为铁氟龙。

技术总结

本实用新型提供一种光罩板清洗固定治具，该光罩板清洗固定治具包括两个对立平行设置的夹板以及连接夹板的围板，围板与两个夹板的端部连接，使得夹板和围板围合形成一容置区，夹板的内侧面设有若干等距分布的卡槽。本实用新型提出的光罩板清洗固定治具，通过设置的夹板和围板形成容置区，并且在夹板内侧面开设等距分布的卡槽，使得多片光罩板可等距分布嵌入在容置区内，通过将该光罩板清洗固定治具放入盛有高温酸碱药液的容器中使其浸泡去除光罩板表面脏污，实现了强效去污的同时，还极大的提升了对于光罩板的清洗效率。提升了对于光罩板的清洗效率。提升了对于光罩板的清洗效率。