目次
1范围 (1)
2规范性引用文件 (1)
3术语和定义 (2)
4型号编制规则 (4)
易趴网
5要求 (5)
6试验方法 (8)
7检验规则 (14)
I
丝网印刷激光直写曝光机
1范围
本标准规定了丝网印刷激光直写曝光机的术语和定义、型号编制规则、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于丝网印刷激光直写曝光机的制造和检验。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
立式氧化生产线GB/T191包装储运图示标志
GB/T1958产品几何技术规范(GPS)几何公差检测与验证
GB2894安全标志及其使用导则
GB/T3768声学声压法测定噪声源声功率级和声能量级采用反射面上方包络测量面的简易法GB/T5226.1机械电气安全机械电气设备第1部分：通用技术条件 GB/T6388运输包装收发货标志
GB/T8196机械安全防护装置固定式和活动式防护装置的设计与制造一般要求
GB/T9969工业产品使用说明书总则
GB/T12325电能质量供电电压偏差
GB/T13384机电产品包装通用技术条件
GB/T15945电能质量电力系统频率偏差
GB/T16471运输包装件尺寸与质量界限
GB/T17421.2机床检验通则第2部分：数控轴线的定位精度和重复定位精度的确定
JJF1001通用计量术语及定义技术规范
SJT142电子工业专用设备通用规范
ISO230-1Test code for machine tools-Part1:Geometric accuracy of machines operating under no-load or quasi-static conditions.
ISO2631-1Mechanical vibration and shock—Evaluation of human exposure to whole-body vibration—Part1:General requirements
1
SEMI E137Guide for Final Assembly,Packaging,Transportation,Unpacking,and Relocation of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI E31Specification for Electrical Interface
SEMI E70Guide for Tool Accommodation Process
无触点开关
SEMI E72Specification and Guide for Equipment Footprint,Height,and Weight
SEMI S1Safety Guideline for Equipment Safety Labels
SEMI S2Environmental，Health，and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
丝网印刷screen printing
利用丝网印版图文部分网孔透油墨，非图文部分网孔不透墨的基本原理进行印刷方式。
3.2
激光直写曝光机laser direct imaging machine
依据自计算机处理过的图像数据信息，驱动激光在正确位置曝光，利用光固化原理，在涂覆有光刻胶（又称光致抗蚀剂）的网版上形成预设图像的设备。 3.3
拼接误差stitching accuracy
当曝光图形宽度大于激光直写曝光机的光学镜头一次投图的宽度，则需要通过定位平台在X方向和Y方向的移动完成整体图形的曝光，因此曝光图形一般是由光学镜头分多次投图拼接而成，这种衔接处的
误差称为拼接误差，它包括X方向和Y方向的拼接误差。
3.4
曝光能量均匀性exposure energy uniformity
指设备曝光时，待加工产品不同位置受到激光能量的差异。由于激光直写曝光机是采用光固化原理，在负性感光胶上，不同的曝光功率会导致曝光线条的宽度不同，所以可以通过测量曝光后的线宽差异，获得曝光能量的差异。
注：测试曝光成像面内沿X和Y方向20cm×20cm阵列的线宽，如图1所示，选取宽度100μm 的直线测量线宽，再计算其均匀性。计算公式如下：
2
微型电风扇3
UE=[1-（最大值-最小值）/平均值]×100%
式中：UE——曝光能量均匀性。
图1曝光能量均匀性测试示意图
3.5
轴线行程axis travel
在数字控制下运动部件沿轴线移动的最大直线行程。
[来源：GB/T17421.1-2016,2]
3.6
位置偏差position deviation
运动部件从单（两个）方向的最大直线行程或绕轴线回转的最大行程内，沿轴线或绕轴线趋近某一位置，运动部件到达的实际位置减去目标位置之差。
[来源：GB/T17421.1-2016,2，有修改]
3.7
最小线宽minimum linewidth
完成曝光或印刷后，使用精密影像测量仪在曝光基材上测量的最小线纹宽度。
图2最小线宽测量示意图
4最小线距minimum line spacing
完成曝光或印刷后，使用精密影像测量仪在曝光基材上测量的相邻两条线纹之间的最小距离
3.8
。
图3最小线距测量示意图
3.9
挂网线数line per inch
是指印刷品在水平或垂直方向上每英寸的网线数。
继电器延时电路
3.10
整机振动vibration of machine
指设备外壳或在其固有平衡位置附近所作有规律的往复运动。振动的强弱用振动量来衡量，振动量可以是设备外壳的位移、速度或加速度。
3.11
线宽还原度linewidth measurement error
指用影像测量仪测量曝光出来的线宽实测值与源图线宽值的差值。
4型号编制规则多聚
4.1组成
丝网印刷激光直写曝光机应包括丝印网板定位装置、曝光装置、电气控制系统三个部分。丝网印刷激光直写曝光机结构示意图如图4所示。
豫公网安备41160202000603
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