阳光下可视液晶屏【摘 要】本文概述了ZnO基透明导电薄膜在硅基薄膜太阳电池中的应用前景及其最新研究进展。介绍了利用透明导电薄膜绒面结构提高薄膜太阳电池效率的方法，并对绒面ZnO基透明导电薄膜的制备方法和研究进展做了详细的阐述，重点讨论了近期关于制备工艺和薄膜绒面结构、电学及光学特性关系的研究结果。互动教学系统
【关键词】ZnO；透明导电薄膜；薄膜太阳电池
随着全球经济的迅速发展和人口的不断增加，以石油、天然气和煤炭等为主的化石能源正逐步消耗,能源危机成为世界各国共同面临的课题。近年来，随着材料制备技术的进步，太阳能电池中的硅基薄膜太阳电池具有低成本优势，成为可再生能源的重要发展方向[1]，其市场份额不断提高。透明导电薄膜是硅基薄膜太阳电池中不可缺少的部件之一。目前太阳电池中常用的透明导电薄膜有掺氟的二氧化锡（FTO）薄膜、掺锡的氧化铟锡（ITO）薄膜、掺铝氧化锌（AZO）和掺硼氧化锌（BZO）薄膜等。目前，ITO薄膜是应用最为广泛的透明导电薄膜，但近年来ZnO薄膜在太阳能薄膜电池中的应用越来越广泛，并有替代ITO燃油调压阀薄膜的趋势。这是因为：①铟有剧毒且非常稀有昂贵，而锌则没有这些缺点，ZnO基透明
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导电薄膜具有低毒和在所有现有透明导电薄膜中最为廉价的优点；②在硅基薄膜太阳电池的制备过程中，透明导电薄膜必须要浸入富氢等离子体环境，计数继电器ZnO基透明导电膜相比ITO膜不容易受氢等离子体的还原作用；③ZnO基透明导电膜比ITO膜易于刻蚀[2]，因此更易形成提高薄膜太阳电池效率所需的绒面结构。
基于ZnO基透明导电薄膜的上述众多优点以及薄膜太阳能电池工业对透明导电薄膜品质的要求提高和需求增加，ZnO基薄膜近年来吸引了众多科研人员的兴趣。本文就ZnO基薄膜在薄膜太阳能电池中的应用、制备方法及特性研究方面做一综述。
1 透明导电薄膜的绒面结构及其作用
数码彩扩硅基太阳能电池的一个重要优点是硅的带隙较小，常用的氢化非晶硅(a-Si:H)太阳电池的带隙约为1.8 eV，氢化微晶硅(μc-Si:H)太阳电池的带隙约为1.1 eV。较小的带隙使得硅基太阳能电池可以吸收的光线最长波长可达近红外区域，几乎可利用整个太阳光谱的光能。然而，由于硅材料是间接带隙半导体材料，其光吸收效率较低。必须要有数微米的光程，入射光才能被硅材料完全吸收。
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