(19)中华人民共和国国家知识产权局
(10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 202020129699.2
(22)申请日 2020.01.20
(73)专利权人 南京畅鸿新材料有限公司
地址 210000 江苏省南京市高淳区经济开
发区古檀大道3号
(72)发明人 周英龙
(74)专利代理机构 南京常青藤知识产权代理有
限公司 32286
代理人 黄胡生
制卡机
(51)Int.Cl.
C30B 25/12(2006.01)
C30B 23/02(2006.01)
(54)实用新型名称
(57)摘要
本实用新型提供一种SIC涂层高纯石墨盘，
涉及石墨盘技术领域，包括第一石墨盘与第二石
墨盘，所述第一石墨盘设在所述第二石墨盘的下
槽与内边缘圆柱槽，所述第二石墨盘的底部设有
凹槽，所述第一石墨盘的顶部设有通气孔，所述
通气孔之间的所述第一石墨盘上设有凸块，所述
凸块与所述第一石墨盘相连，所述凸块的顶部设
有转头，所述凸块与所述第二石墨盘通过所述转
数字式水表
柴油脱剂头与所述凹槽匹配相连。本实用新型稳定，外延
片的均一性好。权利要求书1页 说明书2页 附图1页CN 211713250 U 2020.10.20
C N 211713250
U
1.一种SIC涂层高纯石墨盘，其特征在于：包括第一石墨盘与第二石墨盘，所述第一石墨盘设在所述第二石墨盘的下方，所述第二石墨盘的顶部分别设有外边缘圆柱槽与内边缘圆柱槽，所述第二石墨盘的底部设有凹槽，所述第一石墨盘的顶部设有通气孔，所述通气孔之间的所述第一石墨盘上设有凸块，所述凸块与所述第一石墨盘相连，所述凸块的顶部设有转头，所述凸块与所述第二石墨盘通过所述转头与所述凹槽匹配相连。
2.根据权利要求1所述的一种SIC涂层高纯石墨盘，其特征在于：所述外边缘圆柱槽有十个，且设在所述第二石墨盘的外圈面上；所述内边缘圆柱槽有四个，且设在所述第二石墨盘的内圈面上。
3.根据权利要求1所述的一种SIC涂层高纯石墨盘，其特征在于：所述第一石墨盘的底部设有导热板，所述导热板的底部两侧设有支架，所述支架的底部设有加热器，所述导热板通过所述支架与所述加热器相连。
FOSY
4.根据权利要求1所述的一种SIC涂层高纯石墨盘，其特征在于：所述第一石墨盘的底部设有散热孔。
5.根据权利要求3所述的一种SIC涂层高纯石墨盘，其特征在于：所述加热器的底部设有散热板。
权 利 要 求 书1/1页CN 211713250 U
一种SIC涂层高纯石墨盘
技术领域
[0001]本实用新型属于机器人技术领域，具体涉及一种SIC涂层高纯石墨盘。
背景技术
聚醚类消泡剂
[0002]目前大部分的石墨盘都是由大石墨盘和小石墨盘组成，且小石墨盘放在大石墨盘的上方，小石墨盘通过大石墨盘上的气体转动，通过加热大石墨盘使小石墨盘温度升高，而小石墨盘的中心温度会高于边缘的温度，这样会导致中心的波长比边缘短，同时高度高于边缘温度，导致中心波长比边缘短，温度不均匀造成小石墨盘内部外延片均一性不好。
实用新型内容
[0003]为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种SIC涂层高纯石墨盘。[0004]本实用新型提供了如下的技术方案：
[0005]一种SIC涂层高纯石墨盘，包括第一石墨盘与第二石墨盘，所述第一石墨盘设在所述第二石墨盘的下方，所述第二石墨盘的顶部分别设有外边缘圆柱槽与内边缘圆柱槽，所述第二石墨盘的底部设有凹槽，所述第一石墨盘的顶部设有通气孔，所述通气孔之间的所述第一石墨盘上设有凸块，所述凸块与所述第一石墨盘相连，所述凸块的顶部设有转头，所述凸块与所述第二石墨盘通过所述转头与所述凹槽匹配相连。
[0006]优选地，所述外边缘圆柱槽有十个，且设在所述第二石墨盘的外圈面上；所述内边缘圆柱槽有四个，且设在所述第二石墨盘的内圈面上。
[0007]优选地，所述第一石墨盘的底部设有导热板，所述导热板的底部两侧设有支架，所述支架的底部设有加热器，所述导热板通过所述支架与所述加热器相连。
[0008]优选地，所述第一石墨盘的底部设有散热孔。
[0009]优选地，所述加热器的底部设有散热板。
[0010]本实用新型的有益效果是：本实用新型设计结构合理，通过使用凸块与第一石墨盘连接，在凸块上设置转头，第二石墨盘底部设置凹槽可以降低第二石墨盘中心与边缘的差异，又可以与转头连接，通过通气孔使第二石墨盘绕着转头转动，设置外圈环绕内圈圆柱，可以降低第二石墨盘中心与边缘热量的差异，有利于获得均匀性很好的外延片。
附图说明
[0011]附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：[0012]图1是本实用新型结构示意图；
[0013]图2是本实用新型9处放大结构示意图。
[0014]图中标记为：1.第一石墨盘，2.导热板，3.支架，4.加热器，5.通气孔，6.凹槽，7.外边缘圆柱槽，8.内边缘圆柱槽，9.第二石墨盘，10.转头，11.凸块，12.散热孔，13.散热板。
具体实施方式
[0015]如图1所示，为本实用新型一种SIC涂层高纯石墨盘，包括第一石墨盘1与第二石墨盘9，所述第一石墨盘1设在所述第二石墨盘9的下方，所述第二石墨盘9的顶部分别设有外边缘圆柱槽7与内边缘圆柱槽8，所述第二石墨盘9的底部设有凹槽6，所述第一石墨盘1的顶部设有通气孔5，所述通气孔5之间的所述第一石墨盘1上设有凸块11，所述凸块11与所述第一石墨盘1相连，所述凸块11的顶部设有转头10，所述凸块11与所述第二石墨盘9通过所述转头10与所述凹槽6匹配相连。
[0016]具体的，如图1所示，本实用新型包括包括第一石墨盘1与第二石墨盘9，第一石墨盘1设在第二石墨盘9的下方，第二石墨盘9的顶部分别设有外边缘圆柱槽7与内边缘圆柱槽8，第二石墨盘9的底部设有凹槽6，第一石墨盘1的顶部设有通气孔5，通气孔5之间设有凸块11，凸块11与第一石墨盘1相连，凸块11的顶部设有转头10，凸块11与第二石墨盘9通过转头10与凹槽6匹配相连，当载气通过第一石墨盘上1的通气孔5吹起第二石墨盘9，此时第二石墨盘9可以绕着凸块11顶部的转头10转动；第一石墨盘1的底部设有导热板2，导热板2的底部两侧设有支架3，支架3的底部设有加热器4，导热板2通过支架3与加热器4相连，加热器4工作，热量通过导热板2传递到第一石墨盘1上；外边缘圆柱7槽有十个，
且设在第二石墨盘2的外圈面上；内边缘圆柱槽8有四个，且设在第二石墨盘9的内圈面上，通过载气把热量传到第二石墨盘9的底部，由于设置了内边缘圆柱槽8和外边缘圆柱槽7，内边缘圆柱槽8有四个，外边缘圆柱槽7有十个，利用外圈环绕内圈圆柱，可以降低第二石墨盘9中心与边缘热量的差异，有利于获得均匀性很好的外延片；第一石墨盘1的底部设有散热孔12，散热孔12主要是起到散热作用，加热器4的底部设有散热板13，散热板13对加热器4进行散热。
[0017]本实用新型的工作原理是：本实用新型包括第一石墨盘1与第二石墨盘9，当载气通过第一石墨盘上1的通气孔5吹起第二石墨盘9，此时第二石墨盘9可以绕着凸块11顶部的转头10转动；第一石墨盘1的底部设有导热板2，导热板2的底部两侧设有支架3，支架3的底部设有加热器4，导热板2通过支架3与加热器4相连，加热器4工作，热量通过导热板2传递到第一石墨盘1上；通过载气把热量传到第二石墨盘9的底部，由于设置了内边缘圆柱槽8和外边缘圆柱槽7，内边缘圆柱槽8有四个，外边缘圆柱槽7有十个，利用外圈环绕内圈圆柱，可以降低第二石墨盘9中心与边缘热量的差异，有利于获得均匀性很好的外延片；第一石墨盘1的底部设有散热孔12，散热孔12主要是起到散热作用，加热器4的底部设有散热板13，散热板13对加热器4进行散热。
[0018]综上所述，本实用新型设计结构合理，通过使用凸块与第一石墨盘连接，在凸块上设置转头，第二石墨盘底部设置凹槽可以降低第二石墨盘中心与边缘的差异，又可以与转头连接，通过通气孔使第二石墨盘绕着转头转动，设置外圈环绕内圈圆柱，可以降低第二石墨盘中心与边缘热量的差异，有
利于获得均匀性很好的外延片。
[0019]以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
图1
射击标靶图2
豫公网安备41160202000603
站长QQ:729038198
关于我们
投诉建议