(1)洁净室
半导体、平面液晶显示器、光电子和生物医药都需要洁净的生产车间， 通常洁净室是指空间空气悬浮粒子浓渡被控制在规定界限内的房间 或限定空间，这尘埃粒子的粒径越小和被限定的粒数越小，洁净度便 越高。
(2)洁净室的静电
由于洁净室的洁净度要求，室内使用
1大量的高绝缘介质装饰材料、地面、墙、门、顶棚、隔断、工作台、 椅子等等，这些材料摩擦容易起电带电，不易泄漏释放。 光刻间塑料地面500V~1000V，扩散间塑料地面500V~1500V，瓷砖 地面也有500V~1500V，塑料墙纸700V，塑料顶棚OV~1000V，金 属活动皮芏椅面500V~3000V。
2人穿洁净工作服、鞋、步行或工作时，与不同物质设备器材摩擦要 产生静电，人、衣服、
鞋都会带电。
人穿尼龙衣、着塑料胶底鞋缓慢地在清洁的地板上走动，人身上带 7000V-8000V静电压。在乙烯基地板上行走可带1200V
(10%~20%RH)、250V( 65%~90%RH)，在地毯上行走可带 35000V
(10%~20%RH)、1500V (65%~90%RH)，晶片装配线，人穿的 工作服可达10KV。 3空调气流经过初效过滤器，中效过滤器，高效过滤器，净化出口气 流是带静电的。
铝板送风口、回风口 500~1000V。
4汽车脚垫制造设备大量的绝缘器材、装备和工具，也是重要的静电电荷源。晶片装配 生产线：晶片装料盒35KV，有机玻璃盖8KV，石英制品1.5KV，晶 片托盘6KV，丙烯酸脂盖20KV，台桌面10KV，塑料存贮柜30KV， 玻璃纤维晶体载料盒滑过聚丙烯桌面带10KV。
总之：洁净室的洁净度要求越高，静电带电便越严重。
2洁净室静电的危害
(1)静电库仑力
吸上粉尘、污物带给无器件，增大泄漏或造成短路，使性能受损，成 品率和可靠性大大下降。如粉尘粒径＞100Mm，铝线宽度约100pm， 氧化膜厚度在50pm时，最易使产品报废，现在线径更细，氧化膜很 薄，很小粒径尘粒子就会损害元器件，这种情形多发生在腐蚀清洗、 光刻、点焊和封装等工艺过程中。 (2)静电放电ESD
1元器件的绝缘氧化膜被击穿，引线被烧断或线间融短。若人体带 上10KV（100PF）的静电荷，触摸器件脚时发生ESD，其向大地瞬 间形成脉冲放电电流峰值可达20A电动雕刻刀（10~100s），不要说高密度，细 线径，薄Sio2膜的Lsi、Vlsi、就是一般ICrc延时电路、MOS都会遭受损坏。
一般说器件绝缘栅Sio2薄膜的耐压场强是E=毛细管数>剪式举升机（5-10）x106V/cm， 如果器件Sio2膜厚度取1000，其器件输入脚施加50V-100V以上的 静电压就将会被击穿，而人带静电超过50V、100V是极平常的。
2造成噪声、发射电磁波干扰
ESD引起EMI其电磁波的前后峰较尖，信号强，相当与电路中几伏 的能量，频率跨越几MH2甚几百MH2的强大噪声，可能引起元器 件损坏，设备和传感器不正常工作，甚至引起设备死机。
ESD引起的EMI还会引发错误信号的输入，或发生锁存现象。如无 尘室中，将晶园片的EMIF箱放在钢的手推车上，晶园片的ESD会 通过电感传给手推车，车轮是绝缘的，则EMI的扩散会引起园晶片 处理机死机。
3电击人体
人的ESD或对人的ESD当超过人体电击极限电流5mA以上时，人 都会有各种伤害感觉，造成工作人员的情绪不安，操作错误。
半导体，平面显示器，光电子等洁净室，尽管做了很多工作，但洁净 室的静电问题仍然影响着生产安全和产品产量，影响着制造成本和效 益，影响产品的质量和可靠性。有报导国外工业专家估计，美国由于 静电造成产品的损失平均在8-33%，见表3静电损耗报告。
还有人估计美国每年静电对电子工业毁损价值达100亿美元，日本 80年代曾对报废的电子产品进行分析，由ESD引起的损失占1/3。 我国半导体，平面液晶显示，光电子等都起步较晚，但静电危害也累 有发生，成品率较低。如北京一公司，SMT车间冬季4个月，常因 ESD造成上百万元损失。上海一家外资企业办公电脑几千台却因 ESD人员叫苦连天，电脑工作不正常。一家研究设计院指挥调度200m2多的 电脑房，ESD严重，无法正常工作。无锡一家外资企业，曾一度由 于ESD，产品质量一直不稳定。而银行、证券公司、机要数据库、 监控中心，电力调度室等等。如出现ESD就很容易引起干扰，数据 遗失，情形就更严重了。
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