一种超净高纯化学品充装系统的制作方法

1.本实用新型涉及化学品充装技术领域，尤其涉及一种超净高纯化学品充装系统，主要适用于提高适用范围与可靠性。

背景技术：

2.超净高纯少量应用的电子级特殊化学品，比如gecl4、tma、teos等，达不到建站供应的需求量，一般采用原料周转罐进行不间断供料的供应模式，广泛应用于光纤、太阳能电池、半导体制造工艺中。由于以上化学品不仅有危化品的特点：易燃易爆、腐蚀、有毒，而且有超高纯洁净要求，所以对设备的制造有着极高的要求。超净高纯化学品充装装置，是将化学品生产企业产品线或储存容器内的合格产品，进行不同规格料罐的充装及转运销售，如50kg、250kg、1500kg等。
3.现有化学品充装装置存在如下缺陷：首先，无法根据生产使用需求，同时对不同种类、不同规格的化学品原料罐进行充装，使得充装装置适用范围较窄；其次，对原料罐充装时，并未对原料罐连接管路内残留物进行吹扫，也未对充装装置内部气密性进行检测，从而使得充装装置的可靠性较低。

技术实现要素：

4.本实用新型的目的是克服现有技术中存在的适用范围窄、可靠性低的缺陷与问题，提供一种适用范围广、可靠性高的超净高纯化学品充装系统。
5.为实现以上目的，本实用新型的技术解决方案是：一种超净高纯化学品充装系统，包括柜体及其内设置的控制箱、多个原料罐；
6.所述控制箱内设置有进料阀组、吹扫阀组与真空发生器；
7.所述进料阀组包括多个一号气动阀，多个一号气动阀的一端分别与多个化学品输入接口连通，多个一号气动阀的另一端分别与多个液相连接接口连通；
8.所述吹扫阀组包括一号单向阀、一号气动微漏阀与二号气动阀，所述一号单向阀的一端与吹扫气接口连通，一号单向阀的另一端经一号气动微漏阀后与二号气动阀的一端连通，二号气动阀的另一端通过多个三号气动阀与多个液相连接接口连通，二号气动阀的另一端通过多个五号气动阀与多个气相连接接口连通；
9.所述真空发生器的进气口与驱动气输入接口连通，真空发生器的出气口与尾气排放接口连通，真空发生器的吸气口与四号气动阀的一端连通，四号气动阀的另一端通过多个三号气动阀与多个液相连接接口连通，四号气动阀的另一端通过多个五号气动阀与多个气相连接接口连通，四号气动阀的另一端与二号气动阀的另一端连通；
10.多个所述液相连接接口通过多根液相连接管路分别与多个原料罐的液相接口连通，多个所述气相连接接口通过多根气相连接管路分别与多个原料罐的气相接口连通。
11.所述真空发生器包括文丘里发生器、二号单向阀与二号气动微漏阀，所述文丘里发生器的进气口依次经二号单向阀、二号气动微漏阀后与驱动气输入接口连通，文丘里发
生器的出气口与尾气排放接口连通，文丘里发生器的吸气口与四号气动阀连通。
12.所述一号单向阀经减压阀后与吹扫气接口连通，一号单向阀与减压阀之间的管路上设置有一号压力传感器。
13.所述减压阀经过滤器后与吹扫气接口连通。
14.所述四号气动阀与三号气动阀、五号气动阀之间的管路上设置有二号压力传感器，且二号压力传感器位于四号气动阀与二号气动阀之间的管路上。
15.所述一号气动阀与液相连接接口之间的管路上设置有三号压力传感器。
16.所述充装系统还包括取样容器、六号气动阀与七号气动阀，所述取样容器的液相接口依次经一号取样接口、六号气动阀、液相连接接口后与原料罐的液相接口连通，取样容器的气相接口依次经二号取样接口、七号气动阀、四号气动阀后与真空发生器连通，所述二号气动阀依次经三号气动阀、六号气动阀后与一号取样接口连通，二号气动阀依次经七号气动阀后与二号取样接口连通。
17.所述柜体上设置有抽风风阀。
18.所述充装系统还包括磅秤，所述磅秤设置在原料罐的底部。
19.与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：
20.1、本实用新型一种超净高纯化学品充装系统中，根据生产使用需求，化学品输入接口可连接同种化学品，也可以连接不同种类、不同规格化学品；原料罐充装前，利用吹扫阀组与真空发生器配合完成真空发生器功能自检；利用吹扫阀组与真空发生器，对原料罐连接管路内部残留物进行快速吹扫，以达到符合要求的洁净度，同时，对充装系统内连接管路进行气密性测试。因此，本实用新型适用范围广、可靠性高。
21.2、本实用新型一种超净高纯化学品充装系统中，真空发生器包括文丘里发生器、二号单向阀与二号气动微漏阀，文丘里发生器的进气口依次经二号单向阀、二号气动微漏阀后与驱动气输入接口连通，文丘里发生器的出气口与尾气排放接口连通，文丘里发生器的吸气口与四号气动阀连通；采用上述结构的三合一气动真空发生器，不仅操作简便，而且使得真空发生器的工作可靠性高。因此，本实用新型操作简便、可靠性高。
22.3、本实用新型一种超净高纯化学品充装系统中，一号单向阀经减压阀后与吹扫气接口连通，一号单向阀与减压阀之间的管路上设置有一号压力传感器，通过减压阀与一号压力传感器配合来调节吹扫气压力，以使吹扫气压力满足工艺需求；减压阀经过滤器后与吹扫气接口连通，增设过滤器，以除掉吹扫气中的杂质。因此，本实用新型操作简便、可靠性高。
23.4、本实用新型一种超净高纯化学品充装系统中，四号气动阀与五号气动阀之间的管路上设置有二号压力传感器，且二号压力传感器位于四号气动阀与二号气动阀之间的管路上，一号气动阀与液相连接接口之间的管路上设置有三号压力传感器，通过二号压力传感器与三号压力传感器来检测管路内压力并进行相应操作，使得操作简便可靠。因此，本实用新型操作简便可靠。
24.5、本实用新型一种超净高纯化学品充装系统中，取样容器的液相接口依次经一号取样接口、六号气动阀、液相连接接口后与原料罐的液相接口连通，取样容器的气相接口依次经二号取样接口、七号气动阀、四号气动阀后与真空发生器连通；当原料罐需要取样检测时，开启四号气动阀、六号气动阀、七号气动阀，化学品通过原料罐内自身压力进入取样器，
同时取样容器内的气体经四号气动阀排出，不仅操作简便，而且可对原料罐充装进行在线检测，也可对原料罐进行出厂前抽样检测，以降低产品质量事故风险。因此，本实用新型不仅操作简便，而且降低了产品质量事故风险。
25.6、本实用新型一种超净高纯化学品充装系统中，柜体上设置有抽风风阀，以实现化学品泄漏时控制抽风风阀抽出泄露源防止泄漏外扩；磅秤设置在原料罐的底部，通过磅秤来获取原料罐内充入化学品的重量，当充入化学品的重量达到预设值时停止充装，使得操作简便。因此，本实用新型安全性高、操作简便。
附图说明
26.图1是本实用新型的结构示意图。
27.图2是图1中控制箱的结构示意图。
28.图中：柜体1、控制箱2、原料罐3、一号气动阀4、化学品输入接口5、液相连接接口6、一号单向阀7、一号气动微漏阀8、二号气动阀9、吹扫气接口10、三号气动阀11、驱动气输入接口12、尾气排放接口13、四号气动阀14、五号气动阀15、气相连接接口16、液相连接管路17、气相连接管路18、文丘里发生器19、二号气动微漏阀20、二号单向阀21、减压阀22、一号压力传感器23、过滤器24、二号压力传感器25、三号压力传感器26、取样容器27、六号气动阀28、七号气动阀29、一号取样接口30、二号取样接口31、抽风风阀32、磅秤33。
具体实施方式
29.以下结合附图说明和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
30.参见图1、图2，一种超净高纯化学品充装系统，包括柜体1及其内设置的控制箱2、多个原料罐3；
31.所述控制箱2内设置有进料阀组、吹扫阀组与真空发生器；
32.所述进料阀组包括多个一号气动阀4，多个一号气动阀4的一端分别与多个化学品输入接口5连通，多个一号气动阀4的另一端分别与多个液相连接接口6连通；
33.所述吹扫阀组包括一号单向阀7、一号气动微漏阀8与二号气动阀9，所述一号单向阀7的一端与吹扫气接口10连通，一号单向阀7的另一端经一号气动微漏阀8后与二号气动阀9的一端连通，二号气动阀9的另一端通过多个三号气动阀11与多个液相连接接口6连通，二号气动阀9的另一端通过多个五号气动阀15与多个气相连接接口16连通；
34.所述真空发生器的进气口与驱动气输入接口12连通，真空发生器的出气口与尾气排放接口13连通，真空发生器的吸气口与四号气动阀14的一端连通，四号气动阀14的另一端通过多个三号气动阀11与多个液相连接接口6连通，四号气动阀14的另一端通过多个五号气动阀15与多个气相连接接口16连通，四号气动阀14的另一端与二号气动阀9的另一端连通；
35.多个所述液相连接接口6通过多根液相连接管路17分别与多个原料罐3的液相接口连通，多个所述气相连接接口16通过多根气相连接管路18分别与多个原料罐3的气相接口连通。
36.所述真空发生器包括文丘里发生器19、二号单向阀21与二号气动微漏阀20，所述文丘里发生器19的进气口依次经二号单向阀21、二号气动微漏阀20后与驱动气输入接口12
连通，文丘里发生器19的出气口与尾气排放接口13连通，文丘里发生器19的吸气口与四号气动阀14连通。
37.所述一号单向阀7经减压阀22后与吹扫气接口10连通，一号单向阀7与减压阀22之间的管路上设置有一号压力传感器23。
38.所述减压阀22经过滤器24后与吹扫气接口10连通。
39.所述四号气动阀14与三号气动阀11、五号气动阀15之间的管路上设置有二号压力传感器25，且二号压力传感器25位于四号气动阀14与二号气动阀9之间的管路上。
40.所述一号气动阀4与液相连接接口6之间的管路上设置有三号压力传感器26。
41.所述充装系统还包括取样容器27、六号气动阀28与七号气动阀29，所述取样容器27的液相接口依次经一号取样接口30、六号气动阀28、液相连接接口6后与原料罐3的液相接口连通，取样容器27的气相接口依次经二号取样接口31、七号气动阀29、四号气动阀14后与真空发生器连通，所述二号气动阀9依次经三号气动阀11、六号气动阀28后与一号取样接口30连通，二号气动阀9依次经七号气动阀29后与二号取样接口31连通。
42.所述柜体1上设置有抽风风阀32。
43.所述充装系统还包括磅秤33，所述磅秤33设置在原料罐3的底部。
44.本实用新型的原理说明如下：
45.开启一号气动微漏阀、二号气动阀，将吹扫气充入充装系统管路，达到预设压力后关闭吹扫气（通过压力传感器检测管路内压力），开启真空发生器，通过检测管路内压力来判断真空发生器功能是否正常。
46.原料罐连接至气液相连接接口（若有取样，还包括取样容器）时，开启二号气动阀，将吹扫气充入待充装的原料罐气液相连接接口（若有取样，还包括取样容器气液相接口）及管路；一号气动微漏阀此时为关闭状态，该状态下阀门会有微流量氮气流通，以防止连接原料罐或取样容器时外界气体进入管路污染系统。
47.开启一号气动微漏阀、二号气动阀，将吹扫气充入待充装原料罐气液相连接管路，达到预设压力后关闭吹扫气，进行充装原料罐气液相连接管路气密性测试，目的在于保证接头连接安全可靠，充装过程无泄漏风险。
48.开启一号气动微漏阀、二号气动阀，将吹扫气充入原料罐连接管路，达到预设压力后关闭吹扫气，开启真空发生器、四号气动阀，抽出管路内气体，目的是让管路内达到超高纯洁净度要求。
49.打开原料罐气液相阀门，开启一号气动阀，化学品进入原料罐开始充装，通过磅秤检测原料罐内充入的化学品重量，当化学品重量达到预设值后关闭一号气动阀停止充装；充装的过程中，通过压力传感器检测原料罐内压力，超过预设值时，将压力从尾气排放接口排出，防止充装压损过低、速度缓慢，以保证化学品充装能够正常进行。
50.原料罐需要取样检测时，开启六号气动阀与七号气动阀，化学品通过原料罐内自身压力进入取样容器。
51.实施例1：
52.参见图1、图2，一种超净高纯化学品充装系统，包括柜体1及其内设置的控制箱2、多个原料罐3；所述控制箱2内设置有进料阀组、吹扫阀组与真空发生器；所述进料阀组包括多个一号气动阀4，多个一号气动阀4的一端分别与多个化学品输入接口5连通，多个一号气
动阀4的另一端分别与多个液相连接接口6连通；所述吹扫阀组包括一号单向阀7、一号气动微漏阀8与二号气动阀9，所述一号单向阀7的一端与吹扫气接口10连通，一号单向阀7的另一端经一号气动微漏阀8后与二号气动阀9的一端连通，二号气动阀9的另一端通过多个三号气动阀11与多个液相连接接口6连通，二号气动阀9的另一端通过多个五号气动阀15与多个气相连接接口16连通；所述真空发生器的进气口与驱动气输入接口12连通，真空发生器的出气口与尾气排放接口13连通，真空发生器的吸气口与四号气动阀14的一端连通，四号气动阀14的另一端通过多个三号气动阀11与多个液相连接接口6连通，四号气动阀14的另一端通过多个五号气动阀15与多个气相连接接口16连通，四号气动阀14的另一端与二号气动阀9的另一端连通；多个所述液相连接接口6通过多根液相连接管路17分别与多个原料罐3的液相接口连通，多个所述气相连接接口16通过多根气相连接管路18分别与多个原料罐3的气相接口连通。
53.实施例2：
54.基本内容同实施例1，不同之处在于：
55.所述真空发生器包括文丘里发生器19、二号单向阀21与二号气动微漏阀20，所述文丘里发生器19的进气口依次经二号单向阀21、二号气动微漏阀20后与驱动气输入接口12连通，文丘里发生器19的出气口与尾气排放接口13连通，文丘里发生器19的吸气口与四号气动阀14连通。
56.实施例3：
57.基本内容同实施例1，不同之处在于：
58.所述一号单向阀7经减压阀22后与吹扫气接口10连通，一号单向阀7与减压阀22之间的管路上设置有一号压力传感器23；所述减压阀22经过滤器24后与吹扫气接口10连通。
59.实施例4：
60.基本内容同实施例1，不同之处在于：
61.所述四号气动阀14与三号气动阀11、五号气动阀15之间的管路上设置有二号压力传感器25，且二号压力传感器25位于四号气动阀14与二号气动阀9之间的管路上；所述一号气动阀4与液相连接接口6之间的管路上设置有三号压力传感器26。
62.实施例5：
63.基本内容同实施例1，不同之处在于：
64.所述充装系统还包括取样容器27、六号气动阀28与七号气动阀29，所述取样容器27的液相接口依次经一号取样接口30、六号气动阀28、液相连接接口6后与原料罐3的液相接口连通，取样容器27的气相接口依次经二号取样接口31、七号气动阀29、四号气动阀14后与真空发生器连通，所述二号气动阀9依次经三号气动阀11、六号气动阀28后与一号取样接口30连通，二号气动阀9依次经七号气动阀29后与二号取样接口31连通。
65.实施例6：
66.基本内容同实施例1，不同之处在于：
67.所述柜体1上设置有抽风风阀32；所述充装系统还包括磅秤33，所述磅秤33设置在原料罐3的底部。

技术特征：

1.一种超净高纯化学品充装系统，包括柜体(1)及其内设置的控制箱(2)、多个原料罐(3)，其特征在于：所述控制箱(2)内设置有进料阀组、吹扫阀组与真空发生器；所述进料阀组包括多个一号气动阀(4)，多个一号气动阀(4)的一端分别与多个化学品输入接口(5)连通，多个一号气动阀(4)的另一端分别与多个液相连接接口(6)连通；所述吹扫阀组包括一号单向阀(7)、一号气动微漏阀(8)与二号气动阀(9)，所述一号单向阀(7)的一端与吹扫气接口(10)连通，一号单向阀(7)的另一端经一号气动微漏阀(8)后与二号气动阀(9)的一端连通，二号气动阀(9)的另一端通过多个三号气动阀(11)与多个液相连接接口(6)连通，二号气动阀(9)的另一端通过多个五号气动阀(15)与多个气相连接接口(16)连通；所述真空发生器的进气口与驱动气输入接口(12)连通，真空发生器的出气口与尾气排放接口(13)连通，真空发生器的吸气口与四号气动阀(14)的一端连通，四号气动阀(14)的另一端通过多个三号气动阀(11)与多个液相连接接口(6)连通，四号气动阀(14)的另一端通过多个五号气动阀(15)与多个气相连接接口(16)连通，四号气动阀(14)的另一端与二号气动阀(9)的另一端连通；多个所述液相连接接口(6)通过多根液相连接管路(17)分别与多个原料罐(3)的液相接口连通，多个所述气相连接接口(16)通过多根气相连接管路(18)分别与多个原料罐(3)的气相接口连通。2.根据权利要求1所述的一种超净高纯化学品充装系统，其特征在于：所述真空发生器包括文丘里发生器(19)、二号单向阀(21)与二号气动微漏阀(20)，所述文丘里发生器(19)的进气口依次经二号单向阀(21)、二号气动微漏阀(20)后与驱动气输入接口(12)连通，文丘里发生器(19)的出气口与尾气排放接口(13)连通，文丘里发生器(19)的吸气口与四号气动阀(14)连通。3.根据权利要求1所述的一种超净高纯化学品充装系统，其特征在于：所述一号单向阀(7)经减压阀(22)后与吹扫气接口(10)连通，一号单向阀(7)与减压阀(22)之间的管路上设置有一号压力传感器(23)。4.根据权利要求3所述的一种超净高纯化学品充装系统，其特征在于：所述减压阀(22)经过滤器(24)后与吹扫气接口(10)连通。5.根据权利要求1所述的一种超净高纯化学品充装系统，其特征在于：所述四号气动阀(14)与三号气动阀(11)、五号气动阀(15)之间的管路上设置有二号压力传感器(25)，且二号压力传感器(25)位于四号气动阀(14)与二号气动阀(9)之间的管路上。6.根据权利要求1所述的一种超净高纯化学品充装系统，其特征在于：所述一号气动阀(4)与液相连接接口(6)之间的管路上设置有三号压力传感器(26)。7.根据权利要求1所述的一种超净高纯化学品充装系统，其特征在于：所述充装系统还包括取样容器(27)、六号气动阀(28)与七号气动阀(29)，所述取样容器(27)的液相接口依次经一号取样接口(30)、六号气动阀(28)、液相连接接口(6)后与原料罐(3)的液相接口连通，取样容器(27)的气相接口依次经二号取样接口(31)、七号气动阀(29)、四号气动阀(14)后与真空发生器连通，所述二号气动阀(9)依次经三号气动阀(11)、六号气动阀(28)后与一号取样接口(30)连通，二号气动阀(9)依次经七号气动阀(29)后与二号取样接口(31)连通。
8.根据权利要求1所述的一种超净高纯化学品充装系统，其特征在于：所述柜体(1)上设置有抽风风阀(32)。9.根据权利要求1所述的一种超净高纯化学品充装系统，其特征在于：所述充装系统还包括磅秤(33)，所述磅秤(33)设置在原料罐(3)的底部。

技术总结

一种超净高纯化学品充装系统，包括控制箱与多个原料罐，控制箱内设置有进料阀组、吹扫阀组与真空发生器，进料阀组包括一号气动阀，化学品输入接口依次经一号气动阀、液相连接接口后与原料罐液相接口连通，吹扫阀组包括一号单向阀、一号气动微漏阀与二号气动阀，吹扫气接口依次经一号单向阀、一号气动微漏阀后与二号气动阀的一端连通，二号气动阀的另一端通过三号气动阀与液相连接接口连通，二号气动阀的另一端依次经五号气动阀、气相连接接口后与原料罐气相接口连通，真空发生器经四号气动阀后分别与三号气动阀、五号气动阀连通，四号气动阀与二号气动阀连通。本设计不仅适用范围广，而且可靠性高。而且可靠性高。而且可靠性高。