一种激光辅助OSP微蚀方法与流程

一种激光辅助osp微蚀方法
技术领域
1.本发明涉及线路板制作技术领域，具体为一种激光辅助osp微蚀方法。

背景技术：

2.目前很多市场上的微蚀剂为了降低成本，采用以氨氮类为主的添加剂，这种添加剂虽然可以提高整体微蚀速率，但是大多数微蚀效果不佳，主要体现在微蚀不均匀，且微蚀量大，因而在osp上膜的时候，容易出现发彩，发黑，膜厚不够等，从而导致使用寿命下降，过多微蚀量不仅造成铜的损失，药水使用寿命周期下降，不利于生产过程的技术把控。

技术实现要素：

3.本发明提供一种具有有效提高微蚀刻的均匀性以及表面粗糙度，以及局部反应速率提高二至三个数量级的激光辅助osp微蚀方法。
4.为了实现上述目的，通过以下技术方案实现。
5.一种激光辅助osp微蚀方法，包括如下步骤，s1：清洁处理，先对线路板进行酸性除油处理，除油后的线路板进入水洗工序进行水洗处理，最后再通过超声工序对线路板进行超声震荡清洗，得到洁净的线路板；其中除油处理是用于清除线路板表面杂质，去除氧化皮和指纹印，进行除油去除氧化皮和指纹印后，进行水先工序，将除油处理工序停留在线路板表面的氧化皮和指纹印通过水洗工序清洗干净，最后再将线路板经超声工序清洗一次，超声工序采用超声震荡清洗方式对线路板进行清洗，将线路板在除油处理中可能吸附的表面活性剂通过超声震荡的方式去除和分解，经除油处理、水洗处理以及超声震荡清洗后的线路板表面无杂质，洁净度好；s2：微蚀处理，s1步骤处理完成的线路板，进入喷淋装置，所述喷淋装置的蚀刻槽液内设有激光发射器，激光发射器在喷淋装置向线路板喷淋的同时发生激光对线路板进行激光辅助微蚀；激光发射器设置在喷淋装置的蚀刻槽液内，在喷淋装置向线路板喷淋蚀刻液的同时，激光发射器向线路板发射出激光束，用以辅助蚀刻液微蚀，激光辅助微蚀以激光束照射待处理样品表面，造成局部温升和微区搅拌，从而诱发或增强辐照区的化学反应，加之激光的匀速扫描，可极大提高微蚀的均匀性以及表面粗糙度，局部反应速率提高二至三个数量级；s3：上osp膜，线路板经s2步骤微蚀处理后，进入osp膜工序，对线路板表面进行上osp膜处理，其微蚀和上膜均匀，微蚀量少，且膜厚适中。
6.进一步地，s1步骤中所述除油处理的除油温度范围为45℃～55℃，除油时间为3min～5min。除油温度设置在45℃～55℃，能有效清除线路板表面杂质，去除氧化皮和指纹印；除油时间设置为3min～5min，使线路板表面杂质尽可能去除完全。
7.进一步地，s1步骤中所述超声震荡清洗的超声波频率为20khz，超声震荡清洗的温度为60℃～75℃。超声震荡清洗的目的是将除油可能吸附的表面活性剂进行震荡清洗，将声波频率设置为20khz，超声震荡清洗的温度为60℃～75℃，在此范围，表面活性剂在该温
度和震荡条件下能被尽可能地完全清除和分解。
8.进一步地，s2步骤中所述激光发射器以高密度激光束匀速扫描照射待处理样品表面。激光辅助微蚀以高密度激光束照射待处理样品表面，使线路板被激光束照射的位置产生局部温升和微区搅拌，从而诱发或增强辐照区的化学反应，加之激光的匀速扫描，有效提高微蚀均匀性和反应速率。
9.进一步地，s2步骤中所述激光发射器发射的波长范围为100nm～2μm，脉冲频率范围为 1hz～100mhz，脉冲宽度范围为众毫秒到飞秒。适用范围广，可采用不同波长范围、不同脉冲频率以及不同脉冲宽度的激光发射器。
10.进一步地，s2步骤中所述激光发射器的输出功率将焦点处的峰值功率控制在 10w/cm
2 ～ 110w/cm2。将激光发射器的输出功率设置在此范围，既可以提高微蚀效率，实现微蚀液的微蚀速率，不会对基材造成损伤。
11.进一步地，s2步骤中所述激光发射器的激光扫描速度从100nm/s～5cm/s，使激光光束在 10nm～10cm 的范围内移动，提高基材表面微蚀的均匀性。
12.进一步地，s2步骤中所述激光发射器的电源工作频率为 1khz～0.5mhz，工作电压从 0.1v～1kv，电流密度 1ua/cm2～10a/cm2。该电源工作频率可以保证相应能量合适有度，在该电压和电流密度下电阻很小，保证输出功率正常。
13.本发明激光辅助osp微蚀方法与现有技术相比，具有如下有益效果：本发明采用激光辅助微蚀以高密度激光束照射待处理样品表面，造成局部温升和微区搅拌，从而诱发或增强辐照区的化学反应，加之激光的匀速扫描，可极大提高微蚀的均匀性以及表面粗糙度，局部反应速率提高二至三个数量级，大大提升微蚀产品品质和提升生产速度，同时有效降低成本，提升产品市场竞争力。
具体实施方式
14.下面将结合具体实施例对本发明激光辅助osp微蚀方法作进一步详细描述。
15.本发明一非限制实施例，一种激光辅助osp微蚀方法，包括如下步骤，s1：清洁处理，先对线路板进行酸性除油处理，除油后的线路板进入水洗工序进行水洗处理，最后再通过超声工序对线路板进行超声震荡清洗，得到洁净的线路板；其中除油处理是用于清除线路板表面杂质，去除氧化皮和指纹印，进行除油去除氧化皮和指纹印后，进行水先工序，将除油处理工序停留在线路板表面的氧化皮和指纹印通过水洗工序清洗干净，最后再将线路板经超声工序清洗一次，超声工序采用超声震荡清洗方式对线路板进行清洗，将线路板在除油处理中可能吸附的表面活性剂通过超声震荡的方式去除和分解，经除油处理、水洗处理以及超声震荡清洗后的线路板表面无杂质，洁净度好；s2：微蚀处理，s1步骤处理完成的线路板，进入喷淋装置，所述喷淋装置的蚀刻槽液内设有激光发射器，激光发射器在喷淋装置向线路板喷淋的同时发生激光对线路板进行激光辅助微蚀；激光发射器设置在喷淋装置的蚀刻槽液内，在喷淋装置向线路板喷淋蚀刻液的同时，激光发射器向线路板发射出激光束，用以辅助蚀刻液微蚀，激光辅助微蚀以激光束照射待处理样品表面，造成局部温升和微区搅拌，从而诱发或增强辐照区的化学反应，加之激光的匀速扫描，可极大提高微蚀的均匀性以及表面粗糙度，局部反应速率提高二至三个数量级；
s3：上osp膜，线路板经s2步骤微蚀处理后，进入osp膜工序，对线路板表面进行上osp膜处理，其微蚀和上膜均匀，微蚀量少，且膜厚适中。
16.本发明激光辅助osp微蚀方法先对线路板进行清洁处理，使线路板表面无杂质，保持洁净；然后再采用激光辅助微蚀以高密度激光束照射待处理样品表面，造成局部温升和微区搅拌，从而诱发或增强辐照区的化学反应，加之激光的匀速扫描，可极大提高微蚀的均匀性以及表面粗糙度，局部反应速率提高二至三个数量级，大大提升微蚀产品品质和提升生产速度，同时有效降低成本，提升产品市场竞争力。
17.本发明一非限制实施例，s1步骤中所述除油处理的除油温度范围为45℃～55℃，除油时间为3min～5min。除油温度设置在45℃～55℃，能有效清除线路板表面杂质，去除氧化皮和指纹印；除油时间设置为3min～5min，使线路板表面杂质尽可能去除完全。
18.本发明一非限制实施例，s1步骤中所述超声震荡清洗的超声波频率为20khz，超声震荡清洗的温度为60℃～75℃。超声震荡清洗的目的是将除油可能吸附的表面活性剂进行震荡清洗，将声波频率设置为20khz，超声震荡清洗的温度为60℃～75℃，在此范围，表面活性剂在该温度和震荡条件下能被尽可能地完全清除和分解。
19.本发明一非限制实施例，s2步骤中所述激光发射器以高密度激光束匀速扫描照射待处理样品表面。激光辅助微蚀以高密度激光束照射待处理样品表面，使线路板被激光束照射的位置产生局部温升和微区搅拌，从而诱发或增强辐照区的化学反应，加之激光的匀速扫描，有效提高微蚀均匀性和反应速率。
20.本发明一非限制实施例，s2步骤中所述激光发射器发射的波长范围为100nm～2μm，脉冲频率范围为 1hz～100mhz，脉冲宽度范围为众毫秒到飞秒。适用范围广，可采用不同波长范围、不同脉冲频率以及不同脉冲宽度的激光发射器。
21.本发明一非限制实施例，s2步骤中所述激光发射器的输出功率将焦点处的峰值功率控制在 10w/cm
2 ～ 110w/cm2。将激光发射器的输出功率设置在此范围，既可以提高微蚀效率，实现微蚀液的微蚀速率，不会对基材造成损伤。
22.本发明一非限制实施例，s2步骤中所述激光发射器的激光扫描速度从100nm/s～5cm/s，使激光光束在 10nm～10cm 的范围内移动，提高基材表面微蚀的均匀性。
23.本发明一非限制实施例，s2步骤中所述激光发射器的电源工作频率为 1khz～0.5mhz，工作电压从 0.1v～1kv，电流密度 1ua/cm2～10a/cm2。该电源工作频率可以保证相应能量合适有度，在该电压和电流密度下电阻很小，保证输出功率正常。
24.上述实施例仅为本发明的具体实施例，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些显而易见的替换形式均属于本发明的保护范围。

技术特征：

1.一种激光辅助osp微蚀方法，其特征在于：包括如下步骤，s1：清洁处理，先对线路板进行酸性除油处理，除油后的线路板进入水洗工序进行水洗处理，最后再通过超声工序对线路板进行超声震荡清洗，得到洁净的线路板；s2：微蚀处理，s1步骤处理完成的线路板，进入喷淋装置，所述喷淋装置的蚀刻槽液内设有激光发射器，激光发射器在喷淋装置向线路板喷淋的同时发生激光对线路板进行激光辅助微蚀；s3：上osp膜，线路板经s2步骤微蚀处理后，进入osp膜工序，对线路板表面进行上osp膜处理。2.根据权利要求1所述的激光辅助osp微蚀方法，其特征在于，s1步骤中所述除油处理的除油温度范围为45℃～55℃，除油时间为3min～5min。3.根据权利要求2所述的激光辅助osp微蚀方法，其特征在于，s1步骤中所述超声震荡清洗的超声波频率为20khz，超声震荡清洗的温度为60℃～75℃。4.根据权利要求1所述的激光辅助osp微蚀方法，其特征在于，s2步骤中所述激光发射器以高密度激光束匀速扫描照射待处理样品表面。5.根据权利要求1所述的激光辅助osp微蚀方法，其特征在于，s2步骤中所述激光发射器发射的波长范围为100nm～2μm，脉冲频率范围为 1hz～100mhz，脉冲宽度范围为众毫秒到飞秒。6.根据权利要求1所述的激光辅助osp微蚀方法，其特征在于，s2步骤中所述激光发射器的输出功率将焦点处的峰值功率控制在 10w/cm
2 ～ 110w/cm2。7.根据权利要求1所述的激光辅助osp微蚀方法，其特征在于，s2步骤中所述激光发射器的激光扫描速度从100nm/s～5cm/s，使激光光束在 10nm～10cm 的范围内移动。8.根据权利要求1所述的激光辅助osp微蚀方法，其特征在于，s2步骤中所述激光发射器的电源工作频率为 1khz～0.5mhz，工作电压从 0.1v～1kv，电流密度 1ua/cm2～10a/cm2。

技术总结

本发明涉及一种激光辅助OSP微蚀方法，包括如下步骤，S1：清洁处理，先对线路板进行酸性除油处理，除油后的线路板进入水洗工序进行水洗处理，最后再通过超声工序对线路板进行超声震荡清洗，得到洁净的线路板；S2：微蚀处理，S1步骤处理完成的线路板，进入喷淋装置，所述喷淋装置的蚀刻槽液内设有激光发射器，激光发射器在喷淋装置向线路板喷淋的同时发生激光对线路板进行激光辅助微蚀；S3：上OSP膜，线路板经S2步骤微蚀处理后，进入OSP膜工序，对线路板表面进行上OSP膜处理。本发明激光辅助OSP微蚀方法具有极大地提高了微蚀刻的均匀性以及表面粗糙度，局部反应速率提高二至三个数量级等优点。优点。