编制单位 | 制造工程部 |
适用范围 | 金百泽科技 |
拟订 | 谢军 |
发行 | 体系与标准化 |
文件状态 | □正本 □副本 |
受控状态 | □受控 □非受控 |
密级设定 | □绝密 □机密 ■秘密 □对外密 |
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文件发行/修订履历
颁发日期 | 版本 | 页次 | 修 订 内 容 | 拟订 | 审核 | 批准 |
2011-07-12 | A.1 | ALL | 正式版 | 向长里 | 陈春 | 邓剑锋 |
2013-10-26 | A.2 | ALL | 氢氧化钠浓度有50g/L降低至35g/L控制 | 朱虎敏 | 王成谷 | 陈春 |
2014-10-10 | A.3 | ALL | | 吴 超 | 王成谷 | 紫花针茅冯映明 |
2015-03-16 | A.4 | ALL | 内层湿膜生产要求 | 朱虎敏 | 樊廷慧 | 王五星 |
2015-09-01 | A.5 | ALL | | 朱虎敏 | 樊廷慧 | 陈 春 |
2016-04-22 | D.0 | ALL | 1、整版格式修订； 2、新增4.1.4.3“生产时高压水洗关闭”及6.7“返蚀刻首检确认”相关要求 3、在6.8条款中增加相关要求。 | 吴 超 | 樊廷慧 | 陈 春 |
2017-11-21 | D.1 | 贴片三极管ALL | 1、修订3.1退膜液参数、3.2.2退膜液开缸参数、3.3药水溶液维护 2、新增6.15锣半槽板停放时间规定 | 刘亚江 | 樊廷慧 | 陈 春 |
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1.目的
规定退膜、碱性蚀刻、退锡线的生产流程及工艺要求，指导作业员正确操作，使生产作业规范化、标准化。
2.适用范围
适用于镀金板、镀锡板、双面板、多层板退膜、碱性蚀刻、退锡生产线。
3.参考文件
无
4.定义
4.1退膜：采用；NaOH碱溶液退除非线路区域的抗蚀或抗电镀油墨，暴露铜面，便于后工序蚀刻药水的腐蚀；
4.2碱性蚀刻：采用碱性CuCL2溶液腐蚀裸露铜面，而被锡/镍/金等抗蚀层保护的线路保留下来，最终形成客户所需要的线路图形；
4.3除钯：采用化学溶液毒化NPTH孔壁残钯,防止在化镍金时非金属化孔上金；
4.4退锡：退除线路图形上的锡抗蚀层，裸露铜层线路，以满足后工序工艺加工的要求；
5.职责
5.1电镀工序负责本规范的培训、正确实施、过程控制、品质保证和机器的保养。
5.2品保部负责对作业实施过程的监督、检查、异常反馈、品质控制和保证。 5.3制造工程部负责本工艺标准书的编写、培训、修改和指导。
5.4动力设备部负责对机器的维护。
6.流程
6.1操作流程图
注：整孔钝化改为手动生产，以确保钝化效果，自动线的整孔段更改为退锡段，整孔后的溢流水洗生产时开启，而加压水洗生产时关闭，防止板面水分带入第二段退锡槽降低药水浓度。
7. 程序
7.1生产工艺参数
7.1.1工艺参数控制
缸名 | 药水名称 | 控制项目 | 控制范围 | 最佳范围 | 控制点 | 调整控制点 | 分析/点检 | 备注 |
退膜缸 | 退膜液 | 浓度 | 11-16% | 12-15% | 13.5% | 14% | 1次/班 | 1-1.5m/min |
温度 | 45-55℃ | 50℃ | 一次/天 | / |
新液洗 | 氨水 | 浓度 | 10-20% | 12-18% | 15% | 17% | 不分析 | / |
蚀刻缸 | 碱性蚀刻液 | Cl-(g/L) | 170-230 g/L | 180-220 g/L | 200 g/L | 210g/L | 1次/班 | 生产参数根据10.1栏控制 |
Cu2+(g/L) | 130-160g/L | 135-155g/L | 145g/L | 148g/L |
PH值 | 8.0-8.8 | 8.1-8.6 | 8.4 | 8.5 |
温度 | 47-53℃ | 50℃ | 一次/天 | / |
氨水洗 | 氨水 | 浓度 | 10-20% | 12-18% | 15% | 17% | 不分析 | / |
整孔 | 钯灭活剂ST807M | 浓度 | 20-30 g/L | 22-28 g/L | 25 g/L | 27g | 1次/班 | 浸泡5min |
温度 | 38-42℃ | 40℃ | 一次/天 |
退锡 | 退锡水 | 温度 | 20-30℃ | 250C | 一次/天 | 1.2-2.0m/min |
酸度 | 4.0-6.0N | 4.5-6.0N | / | / | 1次/班 | 分析控制第一段，第二段不做管控 |
比重 | 1.1-1.3 | 1.1-1.25 | / | / |
烘干段 | / | 温度 | 80-90℃ | 850C | 一次/天 | 目视 |
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7.1.2各药水缸开缸步骤
7.1.2.1自动添加槽
7.1.2.1.1清洗干净槽体；
7.1.2.1.1加添加桶内的氢氧化钠溶液至标注液位，添加桶内配缸每次添加25kg氢氧化钠；
7.1.2.2 退膜缸
7.1.2.2.1清洗干净槽体；
7.1.2.2.2加100KG的退膜溶液然后加水至标注液位，每生产100平方米，添加10L；
7.1.2.3蚀刻缸
7.1.2.3.1加入准备好的蚀刻母液；
7.1.2.3.2开启循环过滤及加热到50℃后，取样分析；
7.1.2.3.3跟据分析结果补加蚀刻子液、氨水等；
7.1.2.3.4开启自动添加系统；
7.1.2.4氨水洗缸
7.1.2.4.1 加入2/3缸体积之自来水；
7.1.2.4.2 加入25L 20%氨水(工业级)，搅拌均匀；
7.1.2.4.3 补加自来水至正确液位后，开启过滤及加热使药液混合均匀；
7.1.2.5除钯缸
7.1.2.5.1 加入2/3缸体积之自来水；
7.1.2.5.2 加入钯灭活剂ST807M 25L，搅拌均匀；
7.1.2.5.3 加加水至标准液位，搅拌均匀；
7.1.2.6 退锡缸
7.1.2.6.1 加入退锡液正确液位；
7.1.2.6.2 开启过滤及加热使药液混合均匀；
7.2药水缸溶液维护
名称 | 维护项目 | 维护频率 |
退膜缸 | 清洗缸体、过滤网、换缸 | 一次/周 |
检查，清洗喷嘴、行辘 | 一次/每天 |
蚀刻缸 | 倒缸、清洗缸体、过滤网、喷嘴、行辘 | 一次/每月 |
检查过滤网、喷嘴 | 一次/每天 |
氨水洗缸 | 换缸 | 一次/每班 |
清洗缸体、过滤网、喷嘴、行辘 | 换缸时 |
除钯缸 | 换缸 | 1次/15天 |
清洗缸体、过滤网、喷嘴、行辘ic卡智能门锁 | 换缸时 |
退锡缸 | 换缸 | 1#退锡分析更换 2#退锡2天一次 |
清洗缸体、过滤网、喷嘴、行辘 | 换缸时 |
干板组合 | 粗效过滤器吹洗 | web前端性能优化一次/每月 |
粗效过滤器更换 | 破损时更换或每季度更换 |
中效过滤器吹洗 | 一次/每月 |
中效过滤器更换 | 破损时更换或每半年更换 |
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7.分液罐3生产操作指示
7.3.1开机前准备工作：
7.3.1.1保持机体表面与工作环境整洁、检查紧急开关是否处于正常状态；
7.3.1.2检查各药液及水槽液位是否正常，药水浓度是否符合要求，药水的温度（用水银温度计测量）与实际设定值正负2度以内；
7.3.1.3检查所有喷管、喷嘴、压力表是否正常；
7.3.1.4检查所有过滤泵盖是否已经拧紧、球阀开关位置是否正确；
汽车报警系统7.3.1.5检查各段前窗玻璃是否已经盖好；
7.3.1.6检查电热、抽风系统是否正常；检查子液桶有无药水，并作补充；
7.3.1.7检查蚀刻、退锡冷却水供给是否正常；保持吸水海棉充分湿润；
7.3.1.8检查各药水缸、水洗缸是否按规定频率更换好；
7.3.1.9全面检查及排除传送系统的故障，清除传行辘上的结晶，确保传送畅通；
7.3.2退膜机开机操作
7.3.2.1在电控箱，将总电源开关向上扳至“ON”位；
7.3.2.2排风和电机控制电源开关向上扳至“ON”位；旋转“电源”开关至“ON”位，按下“自动”键后，打开“预温启动”开关，使药水达到所需设定的温度；
7.3.2.3依次打开“退膜输送”、“退膜泵浦”、“退膜滚筒”、“水洗1”、“水洗2”、“高压水洗”“水洗3”开关；（备注：“退膜搅拌”、“退膜加热”在配槽时需打开，“退膜添加”在从配药副槽抽至主槽时需打开，退膜输送调速在调节退膜速度时使用）；
7.3.2.4打开自来水控制阀，各药水缸约循环半小时后通知化验室取样分析；
7.3.3蚀刻机开机步骤
7.3.3.1在电控箱，将总电源开关向上扳至“ON”位；
7.3.3.2将排风和电机控制电源开关向上扳至“ON”位；旋转“电源”开关至“ON”位，按下“自动”键后，打开“预温启动”开关，使药水达到所需设定的温度；
7.3.3.3依次打开“蚀刻输送”、“蚀刻一”、“蚀刻二”、“子液泵浦”、“水洗4”、“水洗5”、“水洗6”、“水洗7”开关；（备注：蚀刻输送调速在调节蚀刻速度时使用）；
7.3.3.4打开自来水控制开关，各药水缸约循环半小时后通知化验室取样分析；
7.3.4退锡机开机步骤
7.3.4.1在电控箱，将总电源开关向上扳至“ON”位；
7.3.4.2将排风和电机控制电源开关向上扳至“ON”位；旋转“电源”开关至“ON”位，按下“自动”键后,打开“预温启动”开关，使药水达到所需设定的温度
7.3.4.3依次打开“退锡输送”、“退锡1”、“退锡2”、“水洗8”、 “水洗10”、“水洗11”、“强风吹干”、“冷风吹干”、“热风烘干”、 “烘 干风机”开关；（备注：退锡输送调速在调节剥锡速度时使用；未避免退锡不净，生产时高压水洗关闭）；
7.3.4.4打开自来水控制阀，各药水缸约循环半小时后通知化验室取样分析。
7.3.5批量生产
7.3.5.1放板时必须自检板面有无锡面氧化、擦花及前工序流程是否完成等不良缺陷，将检查合格之板放在机器入口处；
7.3.5.2生产过程中需频繁检查剥膜后板，保证板面退膜干净及无脏物残留。并频繁检查蚀刻后板确认板面无蚀刻不净及脏物残留，转换另一型号板必须重做首板、调试传速；
7.3.5.3蚀刻线图电锡板退膜后待蚀刻允许停放时间：≤2H；
7.3.5.4蚀刻板做首件确认品质时，按要求退膜两块做首件，品质确认首件合格后，方可批量退膜，并在要求停放时间内完成蚀刻生产；
7.3.5.5批量做板时每蚀刻25块板需用百倍放大镜测量线宽、线距一次，若测量结果达不到MI要求，应及时进行调整生产参数；
7.3.5.6 经常检查传送运行情况，以防止叠板；
7.3.5.7 如实做好生产记录；
7.3.5.8每天各段温度(用水银温度计检测)、液位、喷淋压力一次，如温度偏差超出工艺控制范围时应及时通知维修部进行修理调整；
7.3.5.9操作过程中要戴干净的防静电手套，并注意操作手势，不可大力取板，不可拖板，必须轻拿轻放，避免擦花板面，不允许裸手拿板。
7.3.6检查
7.3.6.1目检板面剥膜品质:有否擦花、溶锡、退膜不净、夹膜、及板面有无污染物，膜碎残留等；
7.3.6.2目检板面蚀刻品质:有否擦花、溶锡、蚀刻不净、夹膜、氧化及板面有无药水、污染物残留等；
7.3.6.3目检板面退锡品质:有无擦花、退锡不净、蚀刻不净、毛刺、缺口、狗牙、断线，铜面有无发红、烧焦、起砂以及药水残留等现象；
7.3.6.4检板时拿板边，要戴干净的防静电手套，并注意操作手势，不允许裸手取放板。
7.3.6.5退锡后处理:检查合格的板插好框架移至QC处检查，线宽≤4mil且板数量≥10片的产品插猪笼架放置，防止擦花线条。
7.3.7退膜机关机操作
7.3.7.1检查确认机内无板时方可关机，关闭自来水控制阀；
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