一种加工硅片抛光用的真空吸盘的制作方法

1.本实用新型属于硅片加工技术领域，具体涉及一种加工硅片抛光用的真空吸盘。

背景技术：

2.在抛光硅片加工制造过程中，未抛光硅片贴合于载体之后，需要由机械手取出运输至8英寸单片式抛光机，进行抛光工序，此时机械手上的真空吸盘质量尤为重要，因贴合好硅片之载体(陶瓷盘)需要机械手用真空吸盘从贴片区吸附运送至抛光区，故真空吸盘之可靠性直接影响产能及质量。
3.现有技术中真空吸盘一般包括内侧的固定盘和外侧的倒v型外圈，倒v型外圈与内侧的固定盘一般是通过粘接在一起，使用一段时间后容易出现开胶、脱胶或破损，导致不能有效保持真空密封，从而不能良好的吸附载体，导致机械手臂报警，影响正常生产。

技术实现要素：

4.本实用新型的目的就在于为解决现有技术的不足而提供一种加工硅片抛光用的真空吸盘。
5.本实用新型的目的是以下述技术方案实现的：
6.一种加工硅片抛光用的真空吸盘，包括吸附盘、位于所述吸附盘外侧的密封圈、以及用于固定所述吸附盘和所述密封圈的固定装置；
7.所述吸附盘上设有真空连接口，且下表面上设有多个与所述真空连接口连通的透气吸附孔；
8.所述密封圈的下表面与所述吸附盘的下表面高度一致或略低于所述吸附盘的下表面，用于密封所述吸附盘的真空；所述吸附盘在所述密封圈的作用下，可通过所述透气吸附孔吸附物品。
9.优选的，所述吸附盘的外周面上设有环形的卡槽以及位于所述卡槽的上、下两侧的上侧壁和下侧壁；
10.所述密封圈由上至下依次包括连接部和密封部，所述连接部和所述密封部内均设有轴向通孔，使所述连接部和密封部可分别套设于所述卡槽和所述下侧壁的外侧；
11.所述固定装置为u型固定卡扣；
12.当所述卡槽与所述连接部配合时，所述u型固定卡扣的两端分别抵接于所述上侧壁的上表面和所述连接部的下表面，将所述吸附盘与所述密封圈夹紧固定。
13.优选的，所述u型固定卡扣为多个，沿所述吸附盘的周向均匀分布。
14.优选的，所述上侧壁与所述u型固定卡扣的一端通过螺丝固定连接。
15.优选的，所述密封部的外截面呈倒v型，而且其内部的轴向通孔的孔径由上至下也逐渐增大。
16.优选的，所述u型固定卡扣材质为不锈钢。
17.优选的，所述密封圈的下表面高度略低于所述吸附盘的下表面，当吸附物品时，所
述密封圈的下表面在按压作用下向上收缩，与所述吸附盘的下表面处于同一水平面。
18.优选的，所述吸附盘材质为塑料，所述密封圈材质为橡胶。
19.本实用新型提供的真空吸盘可有效降低设备故障率，进而提升抛光机产能及提高产品质量，有较好实用推广应用价值。
附图说明
20.图1是本实用新型提供的真空吸盘中的吸附盘的结构示意图；
21.图2是本实用新型提供的真空吸盘中的密封圈的结构示意图；
22.图3是本实用新型提供的真空吸盘的立体结构示意图；
23.图4是本实用新型提供的真空吸盘的主视结构示意图；
24.图5是本实用新型提供的另一视角的真空吸盘的立体结构示意图；
25.其中，1-吸附盘；2-密封圈；3-u型固定卡扣；4-连接、导向组件；5-上侧壁；6-下侧壁；7-卡槽；8-连接部；9-密封部；10-透气吸附孔；11-螺丝。
具体实施方式
26.本实用新型提供了一种加工硅片抛光用的真空吸盘，如图1～5所示，包括吸附盘1、位于吸附盘外侧的密封圈2、以及用于固定吸附盘1和密封圈的固定装置；
27.吸附盘1上设有真空连接口，且下表面上设有多个与真空连接口连通的透气吸附孔10；
28.密封圈2的下表面与吸附盘1的下表面高度一致或略低于吸附盘1的下表面，用于密封吸附盘1的真空；吸附盘1在密封圈2的作用下，可通过透气吸附孔吸附物品。
29.本实用新型使用时，将吸附盘上端与连接、导向组件等现有部件连接，安装于机械手上，并使真空连接口与真空装置连通，在外侧密封圈的密封作用下，通过抽真空，分布于吸附盘下表面的透气吸附孔将真空作用范围扩大于整个吸盘，从而可以使吸附盘牢牢抓取硅片载体(陶瓷盘)，而固定装置可以将密封圈2和吸附盘1紧密连接在一起，保证密封圈2不会脱离吸附盘1，真空不易泄漏，从而增强了吸盘可靠性。
30.作为其中一个优选的实施例，吸附盘2的外周面上设有环形的卡槽7以及位于卡槽的上、下两侧的上侧壁5和下侧壁6；
31.密封圈由上至下依次包括连接部8和密封部9，连接部和密封部内均设有轴向通孔，使连接部8和密封部9可分别套设于卡槽和下侧壁的外侧；固定装置为u型固定卡扣3；
32.当卡槽与连接部配合时，u型固定卡扣的两端分别抵接于上侧壁上表面和连接部下表面，将吸附盘与密封圈夹紧固定。
33.当然，也可采用其他固定装置将密封圈和吸附盘固定，比如，在密封圈上部的内侧壁和吸附盘的外周面上设有连接螺纹，密封圈和吸附盘通过螺纹连接。
34.进一步优选的，u型固定卡扣3为多个，沿吸附盘的周向均匀分布。
35.优选的，上侧壁与u型固定卡扣的一端通过螺丝11固定连接，可防止u型固定卡扣脱落。
36.优选的，密封部的外截面呈倒v型，而且其内部的轴向通孔的孔径由上至下也逐渐增大。
37.优选的，密封圈的下表面高度略低于吸附盘的下表面，当吸附物品时，密封圈的下表面在按压作用下可向上收缩，与物品紧密接触，并与吸附盘的下表面处于同一水平面，从而良好的将吸附盘与物品密封。
38.优选的，吸附盘材质为塑料，密封圈材质为橡胶，u型固定卡扣采用不锈钢材质。
39.尽管已描述了本实用新型的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本实用新型范围的所有变更和修改。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

技术特征：

1.一种加工硅片抛光用的真空吸盘，其特征在于，包括吸附盘、位于所述吸附盘外侧的密封圈、以及用于固定所述吸附盘和所述密封圈的固定装置；所述吸附盘上设有真空连接口，且下表面上设有多个与所述真空连接口连通的透气吸附孔；所述密封圈的下表面与所述吸附盘的下表面高度一致或略低于所述吸附盘的下表面，用于密封所述吸附盘的真空；所述吸附盘在所述密封圈的作用下，可通过所述透气吸附孔吸附物品。2.如权利要求1所述的加工硅片抛光用的真空吸盘，其特征在于，所述吸附盘的外周面上设有环形的卡槽以及位于所述卡槽的上、下两侧的上侧壁和下侧壁；所述密封圈由上至下依次包括连接部和密封部，所述连接部和所述密封部内均设有轴向通孔，使所述连接部和密封部可分别套设于所述卡槽和所述下侧壁的外侧；所述固定装置为u型固定卡扣；当所述卡槽与所述连接部配合时，所述u型固定卡扣的两端分别抵接于所述上侧壁的上表面和所述连接部的下表面，将所述吸附盘与所述密封圈夹紧固定。3.如权利要求2所述的加工硅片抛光用的真空吸盘，其特征在于，所述u型固定卡扣为多个，沿所述吸附盘的周向均匀分布。4.如权利要求2所述的加工硅片抛光用的真空吸盘，其特征在于，所述上侧壁与所述u型固定卡扣的一端通过螺丝固定连接。5.如权利要求2所述的加工硅片抛光用的真空吸盘，其特征在于，所述密封部的外截面呈倒v型，而且其内部的轴向通孔的孔径由上至下也逐渐增大。6.如权利要求2所述的加工硅片抛光用的真空吸盘，其特征在于，所述u型固定卡扣材质为不锈钢。7.如权利要求1所述的加工硅片抛光用的真空吸盘，其特征在于，所述密封圈的下表面高度略低于所述吸附盘的下表面，当吸附物品时，所述密封圈的下表面在按压作用下向上收缩，与所述吸附盘的下表面处于同一水平面。8.如权利要求1所述的加工硅片抛光用的真空吸盘，其特征在于，所述吸附盘材质为塑料，所述密封圈材质为橡胶。

技术总结

本实用新型公开了一种加工硅片抛光用的真空吸盘，包括吸附盘、位于所述吸附盘外侧的密封圈、以及用于固定所述吸附盘和所述密封圈的固定装置；所述吸附盘上设有真空连接口，且下表面上设有多个与所述真空连接口连通的透气吸附孔；所述密封圈的下表面与所述吸附盘的下表面高度一致或略低于所述吸附盘的下表面，用于密封所述吸附盘的真空；所述吸附盘在所述密封圈的作用下，可通过所述透气吸附孔吸附物品。品。品。