BMpeeling的改善报告

BMpeeling的改善报告升华仪
空调用制冷技术CF BM peeling 就是在制造BM的过程中,由于BM 光阻基板附着力不够,造成BM 大面积缺失的现象。由于BM peeling 会造成基板和材料的浪费,影响产线的产能,BM peeling改善就是一个急需解决的问题。
标签: BM peeling 光阻材料 基板 附着力 预烘烤 曝光 显影
在彩膜制造过程中,由于BM 相对于其他制程的线宽较小,出现peeling的概率大大增加。为了减少材料和产能的浪费,就必须解决BM peeling的问题。BM制程之所以出现peeling,就是光阻材料与基板的附着力不够,导致在显影过程中BM制成剥落,出现peeling。因此,提高光阻材料和基板的附着力就是一个解决BM peeling的重要的方向。本文主要从BM制程前基板处理、光阻选择、BM制程条件控制三个方面阐述BM peeling改善的方法。
附着力介绍
光阻对基板的附着力就是光阻对基板粘着能力的大小,即光阻和基板化学键合力和物理咬合力作用下的结合强度,影响附着力的主要因素就是:基板的洁净程度、光阻类型、预烘烤的
时间温度和曝光量等。
无压锅炉电石生产工艺>视频直播技术方案1.基板涂布前的清洗处理
基板的洁净程度直接影响光阻在基板上的附着力。为了保证基板的洁净程度,在涂布前都会对基板进行清洗。基板清洗主要包括碱清洗、紫外光清洗、纯水清洗以及干燥。碱清洗能够去除大部分残留的异物,紫外光清洗能够去除有机物,纯水清洗能够去除残留的清洗剂。碱清洗需要适当的浓度清洗,浓度太高,容易形成碱残留,增加后段的清洗力度。需选用浓度适当的碱清洗,严格控制清洗过程的各个工艺参数,避免药液和油污残留,提高清洗质量,能够大大降低BM peeling的产生。
薄板焊接2.光阻材料的选择
由于不同的光阻材料的成分有差异,所以不同光阻与基板的附着力也是不同的。
如图2所示,添加剂1的增加和添加剂2的减少能增加湿膜附着力,减少BM peeling的发生。

本文发布于:2024-09-21 19:31:48,感谢您对本站的认可!

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