G e n T e c h 区域系统类别规格
锁架备注土建气体房必须设置泄爆面，如采用外墙作为泄爆面，则泄爆面主要道路不小于5M ，泄压面积参照GB50016-2006《建筑设计防火规范》第3.6条设计， 除泄爆面外，其余面墙体(含顶)防火2小时，紧急出口门宜采用推杆型门锁且直通至室外，门大小不应小于 1.5x2.5M ( 宽 x 高 )。房间尺寸：5M （长）×3M （宽）×3.5M （高） 地面要求
地面载荷大于1.5t/M 2，地面应作不发火花处理；
地面需留有不小于0.5%斜度，便于排水；
地面高度需满足雨季无积水进入气体设备种类
GC-SiH4-01/GC-H2-01/GC-NH3-01消防-环境气体房按照国家消防规范设置环境喷淋 消防-气体设备1)设备预留1/2"FNPT 消防接口，设备内部需要消防水接入点，每个接口流量为145slpm，压力不小于2.1kg/cm2，闭式;
2)GC-SiH4-01需2路消防水接入点;
3)GC-H2-01需1路消防水接入点;
4)GC-NH3-01需1路消防水接入点;
消防-烟雾监测气体房按照国家消防规范设置烟雾探测
气体泄漏监测1)GC-SiH4-01抽风配置1个SiH4 Detector ，气体房配置1个SiH4 Detector
2)GC-H2-01抽风配置1个H2 Detector ，气体房配置1个H2 Detector
3)GC-NH3-01抽风配置1个NH3 Detector ，气体房配置1个NH3 Detector
4)PECVD-01抽风配置1个SiH4、1个H2、1个NH3侦测器
5)PECVD-01环境配置1个SiH4、1个H2、1个NH3侦测器
通风-环境换气次数大于每小时10次，环境负压不小于10Pa ， 房间墙体底部需设置新风进风口(进风口应安装可拆缷式初级过滤器)或空调新风补风口
通风-气体设备1)GC-SiH4-01的抽风量为810NM3/H，负压为不小于250Pa，接口Φ150mm，数量一个；一般排风，不锈钢风管，独立排风;
2)GC-H2-01的抽风量为250NM3/H，负压不小于250Pa，接口Φ150mm，数量一个，一般排风，不锈钢风管;
3)GC-NH3-01的抽风量为250NM3/H，负压不小于250Pa，接口Φ150mm，数量一个，一般排风，不锈钢风管;
4)环境温度:5-35度;
5)环境湿度:0-80%，无凝结;
电力-气体系统
1)GC-SiH4-01的UPS 电：0.5KW
纤维素水解2)GC-H2-01的UPS 电：0.5KW
3)GSCS-1000Ⅱ柜UPS 电：0.5KW 照明
操作区域照度不小于200LUX ，照明设施应选用防爆型；照明系统应设计成双路双电源的独立照明，或单路单电源加紧急照明装置接地-气体设备
微冻技术
依国家规范，接地电阻不得大于4Ω，且接地线直径不小于6mm2；建议设备周围设置接地联接点或接地母排氮气
流量: >200slpm @100psi, Particle: <10pcs @0.5um /SCF 管道材质: SS316L BA 规格工艺排放
1)GC-SiH4-01排至尾气处理器;2)GC-H2-01排至尾气处理器;3)GC-NH3-01排至尾气处理器；自来水给排水
气体房内应满足尾气处理器的要求；PPE 清单
面罩、安全眼镜、皮手套、防火服、安全鞋中国物理研究院特种气体系统辅助设施规格表
可燃性气体房
G e n T e c h 区域系统类别规格
备注土建气体房防火等级：乙类，各墙体(含顶)防火1小时，紧急出口门宜采用推杆型门锁且直通至室外，门大小不应小于 1.5x2.5M ( 宽 x 高 )。
金属弯管房间尺寸：5M （长）×3M （宽）×3.5M （高）
地面要求地面载荷大于1.5t/M 2，地面应作防腐蚀处理，涂层厚度不应小于3mm ；
地面需留有不小于0.5%斜度，便于排水；
地面高度需满足雨季无积水进入
气体设备种类
GC-BCL3-01/GC-CL2-01/GR-CHF3-01/GR-SF6-01/GR-O2-01/GR-N2-01/GR-Ar-01消防-环境
气体房按照国家消防规范设置环境喷淋消防-气体设备
1)设备预留1/2"FNPT 消防接口，设备内部需要消防水接入点，每个接口流量为145slpm，压力不小于2.1kg/cm2，闭式;2)GC-BCL3-01需1路消防水接入点；消防-烟雾监测气体房按照国家消防规范设置烟雾探测
高效渗透剂
气体泄漏监测1)GC-CL2-01抽风配置1个CL2 Detector ，气体房配置1个CL2 Detector
2)GC-BCL3-01抽风配置1个BCL3 Detector ，气体房配置1个BCL3 Detector
3)PECVD-01抽风配置1个CL2、1个BCL3侦测器
隔热杯
4)PECVD-01抽风配置1个BCL3、1个BCL3侦测器
通风-环境换气次数大于每小时10次，环境负压不小于10Pa ， 房间墙体底部需设置新风进风口(进风口应安装可拆缷式初级过滤器)或空调新风补风口
通风-气体设备1)GC-BCL3-01的抽风量为250NM3/H，负压为不小于200Pa，接口Φ150mm，数量一个；一般排风,PP 风管;
2)GC-CL2-01的抽风量为250NM3/H，负压不小于200Pa，接口Φ150mm，数量一个，一般排风,PP 风管;
3)环境温度:5-35度;
4)环境湿度:0-80%无凝结；电力-气体系统1)GC-BCL3-01的UPS 电：0.5KW
2)GC-CL2-01的UPS 电：0.5KW
照明操作区域照度不小于200LUX ，照明设施应选用防爆型；
照明系统应设计成双路双电源的独立照明，或单路单电源加紧急照明装置
接地-气体设备
依国家规范，接地电阻不得大于4Ω，且接地线直径不小于6mm2；
建议设备周围设置接地联接点或接地母排氮气
流量: >200slpm @100psi, Particle: <10pcs @0.5um /SCF 管道材质: SS316L BA 规格工艺排放
1)GC-BCL3-01排至尾气处理器;2)GC-CL2-01排至尾气处理器;3)尾气处理器废液排至废液处理中心自来水给排水
气体房内应满足尾气处理器的要求；气体房外满足紧急洗眼器与冲淋装置的要求PPE 清单
正压式空气呼吸器、皮手套、防火服、双人工制、安全眼镜、安全鞋腐蚀性气体房
豫公网安备41160202000603
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