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一种掺杂结构阵列及光调制器[发明专利]

专利名称：一种掺杂结构阵列及光调制器专利类型：发明专利

发明人：郑俊守，黄小伟，夏晓亮

申请号：CN202010998456.7

申请日：20200922

公开号：CN112068335A

公开日：

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20201211

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摘要：本发明公开了一种掺杂结构阵列及光调制器，掺杂结构阵列包括基板，设置在基板上面的第一半导体、第二半导体；第一半导体外接电极平行设置于第一方向，且与第一半导体接触；第二半导体外接电极与所述第一半导体外接电极平行于同一平面，且与第二半导体接触；所述第一半导体与第二半导体交错排列为第一半导体、第二半导体阵列，以使阵列中的第一半导体两两接触、第二半导体两两接触，通过增大/多载流子耗散区，从而增大光场所在区域与载流子耗散区重合面积，以提高电光调制器的调制效率。同时优化了外接电极结构，减小了调制器芯片体积，能够很好的适应高集成度芯片发展趋势。真空过滤装置

申请人：杭州芯耘光电科技有限公司

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地址：311100 浙江省杭州市余杭区余杭经济开发区超峰东路2号南楼511室

国籍：CN

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