专利名称:全自动探针台图像定位装置及视觉对准方法专利类型:发明专利 发明人:郭剑飞,方兆文,赵轶,胡东辉,姚建强
申请号:CN201510895432.8安全审计系统
申请日:20151207
公开号:CN105486995A
公开日:
20160413
专利内容由知识产权出版社提供
摘要:本发明公开了一种全自动探针台图像定位装置及视觉对准方法,包括基座,设于基座上的XY平台、第一相机支架和向下开口的U形支撑架;第一相机支架上设有第一相机,XY平台上设有载片台和第二相机支架,U形支撑架上设有探针卡,载片台上设有晶圆,晶圆上设有m块被检测芯片,每块芯片设有n个焊盘,第二相机支架上设有第二相机和可水平伸缩的气缸。本发明具有能够根据针痕的位置对探针台的运动部件误差进行补偿,提高了设备的精度;能够自主完成对针操作,对针成功率高,效率高,为准确检测芯片提供了可靠基础的特点。 门襟衬衫申请人:杭州长川科技股份有限公司
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国籍:CN
代理机构:杭州杭诚专利事务所有限公司
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