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空间转换器、探针卡及其制造方法[发明专利]

专利名称：空间转换器、探针卡及其制造方法

烧烤车专利类型：发明专利

发明人：黄建名，黄则修，简志忠，杨惠彬，刘家宏，黄朝敬，林松柏，王千魁

大锅灶申请号：CN201910435481.1

申请日：20190523

公开号：CN110531125A自动面膜机

公开日：

20191203

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明公开一种空间转换器、探针卡及其制造方法。所提出的空间转换器与探针卡适用于探测晶圆，所述晶圆包含多个晶粒，各晶粒可与集成电路载板封装成集成电路芯片，且所述集成电路载板的上表面与下表面之间具有一电路布局。所述空间转换器包含增厚层体与第一多层体。增厚层体包含多个中间连接区块，第一多层体设置于增厚层体的下表面。第一多层体包含彼此间隔排列的多个空间转换区块，且各空间转换区块包含彼此相对的第一上接触区与第一下接触区，各第一上接触区分别电性连接于各中间连接区块。彼此相对的第一上接触区与第一下接触区之间具有一电路布局，且各空间转换区块的电路布局相同于所述集成电路载板的电路布局。此外，相邻二第一下接触区沿一轴向具有间距D，各第一下接触区沿上述轴向具有宽度W，其中D＝n×W，且n为大于或等于2的正整数。

申请人：旺矽科技股份有限公司

地址：新竹县竹北巿中和街155号55cao

国籍：TW

代理机构：北京律诚同业知识产权代理有限公司

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本文发布于:2024-09-23 03:32:28，感谢您对本站的认可！

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